Drei-Target-Magnetron-Sputteranlage
1. Die Drei-Ziel-Beschichtungsanlage zeichnet sich durch hohe Präzision, geringe Ergebnisfehler und mehr Sicherheit bei der Anwendung aus.
2. Die Beschichtungsanlage mit drei Zielen ist einfach zu bedienen und reduziert die Einarbeitungszeit.
3. Die Drei-Ziel-Beschichtungsanlage eignet sich für eine Vielzahl von Materialien und reduziert den Verbrauch mehrerer Geräte.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Arbeitstage
- 50 Sets
- Information
Einführung einer Vakuumbeschichtungsanlage mit drei Zielvorrichtungen:
Die VTC-600-3HD-1000 ist eine von unserem Unternehmen neu entwickelte Hochvakuum-Beschichtungsanlage mit drei Targets. Sie eignet sich zur Herstellung von ein- oder mehrlagigen ferroelektrischen, leitfähigen, Legierungs-, Halbleiter-, Keramik-, dielektrischen, optischen, Oxid-, Hart- und Polytetrafluorethylen-Filmen sowie weiteren Materialien. Die Anlage ist mit drei Targetkanonen und drei Netzteilen ausgestattet: einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung nichtleitender Materialien, einem DC-Netzteil für leitfähige Materialien und einem starken Magnettarget für die Sputterbeschichtung ferromagnetischer Materialien. Im Vergleich zu ähnlichen Anlagen zeichnet sich die VTC-600-3HD-1000 durch ihre kompakte Bauweise, einfache Bedienung und die Eignung für ein breites Materialspektrum aus. Sie ist die ideale Anlage zur Herstellung verschiedenster Materialfilme im Labor.
Hauptmerkmale des Hochvakuum-Dreifach-Target-Sputterbeschichters:
1. Die Hochvakuum-Dreifach-Target-Sputteranlage ist mit drei Targetkanonen ausgestattet. Für die Sputterbeschichtung von nichtleitenden Targetmaterialien werden zwei aufeinander abgestimmte HF-Netzteile verwendet, für die Sputterbeschichtung von leitfähigen Materialien ein aufeinander abgestimmtes Gleichstromnetzteil.
2. Mit einer Hochvakuum-Dreifachtarget-Sputteranlage lassen sich verschiedene Dünnschichten herstellen; sie findet breite Anwendung.
3. Der Hochvakuum-Dreifach-Target-Sputterbeschichter ist klein und einfach zu bedienen.
Technische Parameter der Drei-Ziel-Beschichtungsanlage:
| Produktname | VTC-600-3HD-1000 Drei-Zielet Magnetron-Sputterinstrument |
Produktmodell | VTC-600-3HD-1000 |
| Installationsbedingungen | Dieses Gerät sollte unter folgenden Bedingungen betrieben werden: Temperatur 25 ℃ ± 15 ℃ und relative Luftfeuchtigkeit 55 % ± 10 % RH. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einem Umwälzkühler ausgestattet (mit gereinigtem oder deionisiertem Wasser befüllen). 2. Stromversorgung: Wechselstrom 220 V, 50 Hz, ordnungsgemäße Erdung erforderlich. 3. Gas: Die Kammer muss mit Argon (Reinheit ≥ 99,99 %) gefüllt werden. Eine Argonflasche (mit Ø 6 mm Doppelklemmringverschraubung) und ein Druckregler sind vom Benutzer bereitzustellen. 4. Werkbank: Abmessungen 1500 mm × 600 mm × 700 mm, mit einer Tragfähigkeit von ≥ 200 kg. 5. Belüftung: Erforderlich. |
Hauptparameter | 1. Eingangsleistung: 220 V/50 Hz. 2. Anzahl der Sputtertargets: 3. 3. Innendurchmesser der Kammer: Ø300mm. 4. Kühlmethode der Zielkanone: Wasserkühlung. 5. Ultimativer Vakuumgrad: 7,4E-5 Pa. 6. Spezifikationen der Vakuumkammer: Φ300×330 mm. 7. Vakuumsystem: Mechanische Pumpe VRD-16, Turbomolekularpumpe FF-100/150. 8. Wiederherstellung des Vakuums: Das System wird von der Atmosphäre auf 5,0E-3pa≤30 min evakuiert (das System wird für kurze Zeit der Atmosphäre ausgesetzt). 9. Aufblassystem: 2-Wege-Massenstrommesser (1 Weg Argon 100scc, 1 Weg Argon 200scc) Sondergas auf Anfrage. 10. Spezifikationen des Sputtertargets: Φ2", Dicke 0,1-5 mm (die Dicke variiert aufgrund unterschiedlicher Targetmaterialien). 11. Probentisch: Φ70mm//beheizbar (Raumtemperatur ~ 1000℃). |
Produktspezifikationen | Abmessungen des Hauptgeräts: Breite 900 mm × Tiefe 650 mm × Höhe 1100 mm |
Optionales Zubehör
| NEIN. | Name | Funktionskategorie | Bild |
| 1 | Verschiedene Zielmetalle (Gold, Indium, Silber, Platin usw.). | Optional | - |
| 2 | Starkes Magnettarget (für das Sputtern ferromagnetischer Materialien) | Optional | - |
| 3 | Maske | Optional | - |
| 4 | Vibrationsprobentisch | Optional | - |
| 5 | Doppelschicht-Drehbeschichtungsvorrichtung | Optional |  |
Garantie:
Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support (ausgenommen sind durch unzureichende Lagerbedingungen verursachte Rostschäden).
Logistik
Über uns:
Unser Unternehmen ist seit vielen Jahren in der Filmproduktion tätig und verfügt über umfassende Erfahrung. Wir bieten Ihnen eine breite Palette an Geräten für verschiedene Materialien, um Ihren unterschiedlichen Bedürfnissen gerecht zu werden. Gerne unterstützen wir Sie auch bei der Funktionsprüfung unserer Geräte. Sie können uns Muster zur Verfügung stellen, und wir erstellen Ihnen gerne ein Muster, damit Sie sich von der Wirkung unserer Produkte überzeugen können. Sollten Sie mit unseren Produkten zufrieden sein, können Sie diese erwerben und Ihre Arbeit effizienter gestalten.
Von der Beratung bis zum After-Sales-Service bieten wir jedem Kunden erstklassigen Service. Unser professionelles Team empfiehlt Ihnen die passende Ausrüstung, leistet technischen Support während der Produktnutzung, beantwortet Ihre Fragen und unterstützt Sie bei der reibungslosen Projektabwicklung. Wir sind überzeugt, dass wir mit unserer langjährigen Erfahrung noch mehr Unternehmen beim Erreichen ihrer Ziele unterstützen können.
