Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen und Handschuhfach
marke Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China
Die lieferzeit 44 Werktage
Die fähigkeit, 50 Sätze
Das Dünnschicht-Batterievorbereitungssystem VGB-600-3HD kann experimentelle Vorgänge in einer Handschuhbox durchführen und wird zur Vorbereitung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen usw. verwendet. optischer Film, Oxidfilm, Hartfilm, PTFE-Film usw. Das System ist mit drei Zielkanonen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Zielmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Zielkopf angeschlossen werden.
Haupteigenschaften
1. Das System ist mit drei Zielkanonen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Zielmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Zielkopf angeschlossen werden. (Die Zielwaffe kann je nach Kundenwunsch ausgetauscht werden).
2. Es kann eine Vielzahl dünner Filme mit einem breiten Anwendungsspektrum hergestellt werden.
3. Klein und einfach zu bedienen
4. Modularer Aufbau der gesamten Maschine; Separates/geteiltes Design von Vakuumkammer, Vakuumpumpengruppe und Steuerstromversorgung, das an die tatsächlichen Bedürfnisse der Benutzer angepasst werden kann. (Optional)
5. Die Stromversorgung kann entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers ausgewählt werden. Eine Stromversorgung kann mehrere Zielgeschütze steuern, oder mehrere Stromquellen können ein einzelnes Zielgeschütz steuern.
6. Der experimentelle Vorgang kann in der Handschuhbox durchgeführt werden und verschiedene Arten leicht oxidierter Targets können für Beschichtungsexperimente ersetzt werden.
TTechnische Parameter
Produktname | VGB-600-3HD Dünnschicht-Batterievorbereitungssystem |
Produktmodell | VGB-600-3HD |
Hauptparameter (Spezifikation) | Drei-Kopf-Magnetron-Sputterteil: 1. Versorgungsspannung: 220 V 50 Hz 2. Gesamtleistung: 2,5 kW 3. Grenze des Vakuumgrades: E-6 mbar (E-3 mbar kann bei Verwendung mit der mechanischen Pumpenausrüstung unseres Unternehmens erreicht werden) 4. Heiztemperatur: RT-500℃, Genauigkeit ±1℃ (Temperatur kann je nach tatsächlichem Bedarf erhöht werden.) 5. Anzahl der Zielgeschütze: 3 Stk 6. Kühlmethode der Zielwaffe: Wasserkühlung 7. Größe des Zielmaterials: Ø2″, Dicke 0,1–5 mm (unterschiedliche Dicken aufgrund unterschiedlicher Zielmaterialien) 8. Sputter-Stromversorgung: 300 W (RF)/500 W (DC) 9. Probentisch: Ø140 mm 10. Geschwindigkeit des Probentisches: einstellbar zwischen 1 und 20 U/min 11. Arbeitsgas: Ar, N2und andere Inertgase 12. Ansaugluftpfad: Der Massendurchflussmesser steuert zwei Luftansaugpfade, einer für 100 SCCM und der andere für 200 SCCM. Handschuhfachteil: 1. Stromversorgung: einphasig AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Gehäusematerial: Edelstahl 304 3. Handschuhfachkammer: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Vordere Kammer: Es gibt 2 vordere Kammern, die große vordere Kammer hat einen Durchmesser von 360 mm x 600 mm und die kleine vordere Kammer hat einen Durchmesser von 150 mm x 300 mm. 5. Kammerumgebung: Wassergehalt <1 ppm (20℃, 1 atm), Sauerstoffgehalt <1 ppm (20℃, 1 atm) 6. Arbeitsgas: N2, Ar, He und andere Inertgase 7. Steuergas: Druckluft oder Inertgas 8. Reduziergas: eine Mischung aus Arbeitsgas und H2 (Wenn das Reinigungssystem nur die Funktion hat, Wasser zu entfernen, ist das reduzierende Gas dasselbe wie das Arbeitsgas.) 9. Gasreinigungssystem: Deutsches BASF-Desoxidationsmaterial, hocheffizientes wasserabsorbierendes amerikanisches UOP-Material, automatische Steuerung des Regenerationsprozesses des Reinigungssystems, automatische Wasser- und Sauerstoffentfernungsfunktionen, in der Lage, die Gasreinheit kontinuierlich aufrechtzuerhalten (bei einem Wassergehalt von <1 ppm und einem Sauerstoffgehalt von <1 ppm). ) auf Dauer 10. Druckkontrollsystem: Der Luftdruck der Kammer kann automatisch über einen SPS-Touchscreen gesteuert werden, die Regelgenauigkeit beträgt ±1Pa und er kann auch manuell über einen Fußschalter gesteuert werden. 11. Filtersystem: Am Einlass- und Auslassende sind Filter installiert, und die Filtergenauigkeit beträgt 0,3 μm. 12. Steuerungssystem: SIEMENS-Farb-Touchscreen (6 Zoll), SPS-Steuerungssystem, zweisprachig auf Chinesisch und Englisch umgeschaltet * Die Wassersonde übernimmt die amerikanische Marke GE, mit einem Touchscreen-Display von 0–1000 ppm und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Sauerstoffsender übernimmt die amerikanische Marke AII mit einem Touchscreen-Display von 0–1000 ppm und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Drucksensor übernimmt die amerikanische Marke Setra mit einem Touchscreen-Display von -2500–2500 Pa und einer Genauigkeit von ±1 Pa. 13. Vakuumpumpe: Britische Marke EDWARDS mit einer Pumpgeschwindigkeit von 8,4 m3/h-12 m3/H 14. Handschuhe: Amerikanische Marke NORTH (Butyl-Synthesekautschuk) 15. Beleuchtungssystem: Marke Philips (Leuchtstoffröhre) |
Produktabmessung | Dreikopf-Magnetron-Sputterteil: 950 mm × 460 mm × 810 mm Handschuhfachteil: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garantie
Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
