Plasma-Sputteranlage mit 3 Sputterquellen und Handschuhkasten

Plasma-Sputteranlage mit 3 Sputterquellen und Handschuhkasten

Das Dünnschichtbatterie-Präparationssystem VGB-600-3HD ermöglicht experimentelle Arbeiten in einer Glovebox und dient zur Herstellung von ein- oder mehrlagigen ferroelektrischen, leitfähigen, Legierungs-, Halbleiter-, Keramik-, dielektrischen, optischen, Oxid-, Hart- und PTFE-Filmen. Das System ist mit drei Targetkanonen und einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung verschiedener Targetmaterialien ausgestattet. Das HF-Netzteil kann über einen Umschalter mit jedem Targetkopf verbunden werden.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 44 Werktage
Die fähigkeit,: 50 Sets

Information

Produkteinführung

DerVGB-600-3HD Dünnschichtbatterie-Abscheidungssystemist für den Einsatz in einer Glovebox konzipiert und ermöglicht die Herstellung von ein- oder mehrlagigen Dünnschichten wie ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartbeschichtungen und PTFE-Filmen.

Dieses System ist ausgestattet mitdrei stotternde Gewehre, mit einemHF-StromversorgungDas Ziel kann mittels eines Umschalters auf jedes der drei Targets umgeschaltet werden, was ein flexibles Sputtern verschiedener Targetmaterialien ermöglicht.

Im Vergleich zu ähnlichen Geräten bietet das VGB-600-3HDbreitere Anwendungsvielfalt,kompakte Struktur, Undeinfache Bedienung, wodurch es zu einemideales Instrument zur Herstellung von Dünnschichten im LaborEs eignet sich besonders fürForschung zu Dünnschichtbatterien, Festkörperelektrolyten und OLED-MaterialienDie

Im Gegensatz zu herkömmlichen Magnetron-Sputteranlagen unterstützt dieses Modell das Sputtern mitLithium- und lithiumbasierte Zielmaterialienwodurch es zu einer bevorzugten Lösung wird fürDünnschichtbeschichtungsexperimente in neuen EnergielaborenDie

Hauptmerkmale

1. Das System ist mit drei Targetkanonen und einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung verschiedener Targetmaterialien ausgestattet. Das HF-Netzteil kann über einen Umschalter mit jedem Targetkopf verbunden werden. (Die Targetkanone kann je nach Kundenwunsch ausgetauscht werden.)

2. Es können verschiedene Dünnschichten mit einem breiten Anwendungsspektrum hergestellt werden.

3. Kleine Größe und einfache Bedienung

4. Modulares Design der gesamten Maschine; separate/geteilte Bauweise von Vakuumkammer, Vakuumpumpengruppe und Steuerstromversorgung, die an die tatsächlichen Bedürfnisse der Benutzer angepasst werden kann. (optional)

5. Die Stromversorgung kann entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers ausgewählt werden. Eine Stromversorgung kann mehrere Zielkanonen steuern, oder mehrere Stromquellen können eine einzelne Zielkanone steuern.

6. Die experimentelle Durchführung kann in der Glovebox erfolgen, und für Beschichtungsexperimente können verschiedene Arten von leicht oxidierbaren Targets verwendet werden.

TTechnische Parameter

Produktname	VGB-600-3HD Dünnschichtbatterie-Vorbereitungssystem
Produktmodell	VGB-600-3HD
Hauptparameter (Spezifikation)	Dreikopf-Magnetron-Sputteranlage: 1. Netzspannung: 220 V, 50 Hz 2. Gesamtleistung: 2,5 kW 3. Vakuumgrenze: E-6 mbar (E-3 mbar kann bei Verwendung der mechanischen Pumpenausrüstung unseres Unternehmens erreicht werden) 4. Heiztemperatur: RT-500℃, Genauigkeit ±1℃ (Die Temperatur kann je nach Bedarf erhöht werden.) 5. Anzahl der Zielpistolen: 3 Stück 6. Kühlmethode der Zielkanone: Wasserkühlung 7. Größe des Zielmaterials: Ø2″, Dicke 0,1-5 mm (unterschiedliche Dicken aufgrund unterschiedlicher Zielmaterialien) 8. Sputter-Netzteil: 300 W (RF)/500 W (DC) 9. Probentisch: Ø140 mm 10. Drehzahl des Probentisches: einstellbar von 1 U/min bis 20 U/min 11. Arbeitsgas: Ar, N₂und andere Edelgase 12. Ansaugluftweg: Der Massenstrommesser steuert 2 Ansaugluftwege, einen mit 100 SCCM und den anderen mit 200 SCCM. Handschuhfachteil: 1. Stromversorgung: einphasig Wechselstrom 110–220 V, 50 Hz/60 Hz 2. Gehäusematerial: Edelstahl 304 3. Handschuhfach: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Vorderkammer: Es gibt 2 Vorderkammern, die große Vorderkammer ist Ø360mm×600mm und die kleine Vorderkammer ist Ø150mm×300mm. 5. Kammerumgebung: Wassergehalt <1 ppm (20℃, 1 atm), Sauerstoffgehalt <1 ppm (20℃, 1 atm) 6. Arbeitsgas: N₂, Ar, He und andere Edelgase 7. Steuergas: Druckluft oder Inertgas 8. Reduktionsgas: ein Gemisch aus Arbeitsgas und H₂₂(Wenn das Reinigungssystem nur die Funktion der Wasserentfernung hat, ist das Reduktionsgas dasselbe wie das Arbeitsgas.) 9. Gasreinigungssystem: Deutsches BASF-Desoxidationsmittel, amerikanisches UOP-Hochleistungs-Wasserabsorptionsmittel, automatische Steuerung des Regenerationsprozesses des Reinigungssystems, automatische Wasser- und Sauerstoffentfernungsfunktionen, die in der Lage sind, die Gasreinheit (bei einem Wassergehalt von <1 ppm und einem Sauerstoffgehalt von <1 ppm) langfristig kontinuierlich aufrechtzuerhalten. 10. Druckregelungssystem: Der Luftdruck in der Kammer kann automatisch über einen SPS-Touchscreen geregelt werden, die Regelgenauigkeit beträgt ±1 Pa, und er kann auch manuell über einen Fußschalter gesteuert werden. 11. Filtrationssystem: Am Ein- und Auslass sind Filter installiert, die Filtrationsgenauigkeit beträgt 0,3 μm. 12. Steuerungssystem: SIEMENS-Farb-Touchscreen (6 Zoll), SPS-Steuerung, zweisprachige Umschaltung zwischen Chinesisch und Englisch * Die Wassersonde stammt von der amerikanischen Marke GE und verfügt über ein Touchscreen-Display mit einem Messbereich von 0-1000 ppm und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Sauerstofftransmitter ist von der amerikanischen Marke AII und verfügt über ein Touchscreen-Display mit einem Messbereich von 0-1000 ppm und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Drucksensor stammt von der amerikanischen Marke Setra und verfügt über ein Touchscreen-Display mit einem Messbereich von -2500-2500Pa und einer Genauigkeit von ±1Pa. 13. Vakuumpumpe: Britische Marke EDWARDS mit einer Förderleistung von 8,4 m³/h - 12 m³/h³/H 14. Handschuhe: Amerikanische Marke NORTH (Butyl-Synthesekautschuk) 15. Beleuchtungssystem: Marke Philips (Leuchtstoffröhre)
Produktabmessungen	Dreikopf-Magnetron-Sputteranlage: 950 mm × 460 mm × 810 mm Handschuhfach: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm