Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen und Handschuhbox
Das VGB-600-3HD-System zur Vorbereitung von Dünnschichtbatterien kann experimentelle Vorgänge in einer Handschuhbox durchführen und wird zur Vorbereitung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartfilmen, PTFE-Filmen usw. verwendet. Das System ist mit drei Zielpistolen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Zielmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Zielkopf angeschlossen werden.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 44 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Haupteigenschaften
1. Das System ist mit drei Targetpistolen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Targetmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Targetkopf angeschlossen werden. (Die Targetpistole kann je nach Kundenwunsch ausgetauscht werden).
2. Es können verschiedene Dünnschichten für ein breites Anwendungsspektrum hergestellt werden.
3. Kleine Größe und einfach zu bedienen
4. Modularer Aufbau der gesamten Maschine; separates/geteiltes Design von Vakuumkammer, Vakuumpumpengruppe und Steuerstromversorgung, das an die tatsächlichen Bedürfnisse der Benutzer angepasst werden kann. (optional)
5. Die Stromversorgung kann entsprechend den tatsächlichen Anforderungen des Benutzers ausgewählt werden. Eine Stromversorgung kann mehrere Zielpistolen steuern, oder mehrere Stromquellen können eine einzelne Zielpistole steuern.
6. Der Versuchsvorgang kann in der Handschuhbox durchgeführt werden, und verschiedene Arten leicht oxidierbarer Ziele können für Beschichtungsexperimente ausgetauscht werden.
TTechnische Parameter
Produktname | VGB-600-3HD Dünnschichtbatterie-Vorbereitungssystem |
Produktmodell | VGB-600-3HD |
Wichtige Parameter (Spezifikation) | Dreikopf-Magnetron-Sputterteil: 1. Versorgungsspannung: 220 V, 50 Hz 2. Gesamtleistung: 2,5 kW 3. Vakuumgradgrenze: E-6mbar (E-3mbar können bei Verwendung der mechanischen Pumpausrüstung unseres Unternehmens erreicht werden) 4. Heiztemperatur: RT-500 °C, Genauigkeit ±1 °C (Die Temperatur kann je nach Bedarf erhöht werden.) 5. Anzahl der Zielpistolen: 3 Stück 6. Kühlmethode der Zielwaffe: Wasserkühlung 7. Größe des Zielmaterials: Ø2″, Dicke 0,1–5 mm (unterschiedliche Dicken aufgrund unterschiedlicher Zielmaterialien) 8. Sputter-Stromversorgung: 300 W (RF)/500 W (DC) 9. Probentisch: Ø140mm 10. Geschwindigkeit des Probentisches: einstellbar im Bereich von 1 bis 20 U/min 11. Arbeitsgas: Ar, N2und andere Inertgase 12. Ansaugluftweg: Der Massendurchflussmesser steuert zwei Luftansaugwege, einer ist 100 SCCM und der andere ist 200 SCCM. Handschuhfachteil: 1. Stromversorgung: einphasig AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Schalenmaterial: 304 Edelstahl 3. Handschuhfachkammer: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Vordere Kammer: Es gibt zwei vordere Kammern, die große vordere Kammer ist Ø360mm×600mm und die kleine vordere Kammer ist Ø150mm×300mm. 5. Kammerumgebung: Wassergehalt <1 ppm (20 °C, 1 atm), Sauerstoffgehalt <1 ppm (20 °C, 1 atm) 6. Arbeitsgas: N2, Ar, He und andere Edelgase 7. Steuergas: Druckluft oder Inertgas 8. Reduktionsgas: eine Mischung aus Arbeitsgas und H2 (Wenn das Reinigungssystem nur die Funktion der Wasserentfernung hat, ist das Reduktionsgas dasselbe wie das Arbeitsgas.) 9. Gasreinigungssystem: Deutsches Desoxidationsmaterial von BASF, hocheffizientes Wasserabsorptionsmaterial von UOP aus den USA, automatische Steuerung des Regenerationsprozesses des Reinigungssystems, automatische Wasser- und Sauerstoffentfernungsfunktionen, die die Gasreinheit (auf dem Niveau von Wasser <1 ppm und Sauerstoff <1 ppm) langfristig aufrechterhalten können. 10. Druckkontrollsystem: Der Luftdruck der Kammer kann automatisch über den PLC-Touchscreen gesteuert werden, die Regelgenauigkeit beträgt ±1 Pa, und er kann auch manuell über einen Fußschalter gesteuert werden. 11. Filtersystem: An den Einlass- und Auslassenden sind Filter installiert und die Filtergenauigkeit beträgt 0,3 μm. 12. Steuerungssystem: SIEMENS Farb-Touchscreen (6 Zoll), SPS-Steuerung, Chinesisch und Englisch zweisprachig umgeschaltet * Die Wassersonde ist von der amerikanischen Marke GE und verfügt über ein Touchscreen-Display mit 0–1000 ppm und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Sauerstofftransmitter ist von der amerikanischen Marke AII, mit 0–1000 ppm Touchscreen-Anzeige und einer Genauigkeit von 0,1 ppm. * Der Drucksensor ist von der amerikanischen Marke Setra, mit einem Touchscreen-Display von -2500–2500 Pa und einer Genauigkeit von ±1 Pa. 13. Vakuumpumpe: Britische Marke EDWARDS mit Pumpgeschwindigkeit 8,4 m3/h-12 m3/H 14. Handschuhe: Amerikanische Marke NORTH (Butyl-Synthesekautschuk) 15. Beleuchtungssystem: Marke Philips (Leuchtstoffröhre) |
Produktabmessung | Dreikopf-Magnetron-Sputterteil: 950 mm × 460 mm × 810 mm Handschuhfachteil: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garantie
Ein Jahr eingeschränkt mit lebenslangem Support (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
