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Vakuumloser Tischschleuderbeschichter
Der VTC-50A Spin Coater verwendet unabhängige Stromversorgungssysteme für Motorteil und Steuerteil, und das Geschwindigkeitskontrollsystem verwendet einen Single-Chip-Mikrocomputer mit hoher Anti-Interferenz zur Steuerung, sodass die Rotationsgeschwindigkeit sehr hoch und stabil im Bereich von 1000 ist -8000 U/min. Der Beschichter verfügt während des Betriebs über zwei Stufen, nämlich T1-Stufe mit niedriger Geschwindigkeit und T2-Stufe mit hoher Geschwindigkeit.
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Tisch-Tauchbeschichter mit variabler Geschwindigkeit (1–200 mm/min)
Der PTL-MM01 Dip Coater zieht die Probe vertikal, indem er am Draht zieht. Die Probe wird eine Zeit lang in das flüssige Filmmaterial eingetaucht und dann herausgezogen, sodass auf der Oberfläche der Probe ein Film einer bestimmten Dicke wächst. Der Tauchbeschichter PTL-MM01 verwendet einen Einplatinencomputer, um die Zuggeschwindigkeit des Drahtes zu steuern und einen reibungslosen und präzisen Betrieb des Hebers zu gewährleisten.
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Spin Coater (8.000 U/min, max. 4 Zoll Wafer) mit 3 Vakuumspannfuttern
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100 ist mit 3 Vakuumspannfuttern (Standard) unterschiedlicher Größe ausgestattet, und je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spin-Coater VTC-100 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
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Programmierbarer Tauchbeschichter im Millimeterbereich (1–200 mm/min)
Der programmgesteuerte Tauchbeschichter PTL-MM02 zieht die Probe vertikal, indem er am Draht zieht. Der programmierbare Tauchbeschichter PTL-MM02 übernimmt die SPS-Programmsteuerung zum Einstellen und Anpassen der Ziehgeschwindigkeit, der Eintauchzeit der Probe in das flüssige Beschichtungsmaterial, der Geschwindigkeit, mit der die Probe in die Flüssigkeit eintritt, und der Zykluszeiten des Ein- und Austritts der Probe flüssiges Beschichtungsmaterial sowie die Trocknungszeit der Probe.
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Kompakter Spin Coater (8.000 U/min, 4" Wafer max.) Design mit niedrigem Spannfutter
Der Vakuum-Schleuderbeschichter VTC-100B ist eine verbesserte Version des Vakuum-Schleuderbeschichters VTC-100. Die obere Abdeckung lässt sich zum Öffnen und Schließen zusammenklappen und ist mit einem Sicherheitsschloss ausgestattet. Gleichzeitig verfügt es über die Funktion eines Schutzes bei geöffneter Abdeckung, um die Sicherheit des Bedieners besser zu gewährleisten.
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SPS-gesteuerter Präzisions-Tauchbeschichter (1-200 mm/min)
Der programmgesteuerte vertikale Tauchbeschichter PTL-MM02-200 ist ein Präzisionsgerät, das speziell für die Untersuchung flüssiger wachsender Filme entwickelt wurde. Der Film wird durch vertikales Ziehen der in flüssiges Beschichtungsmaterial getauchten Probe gezüchtet. Größere Proben können beschichtet werden, und die Größe der Proben kann 310 mm x 260 mm bei einer Dicke von 1 mm bis 5 mm erreichen.
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Programmierbarer Vakuum-Chuck-Spin-Coater (500–6000 U/min, max. 20,3 cm)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 bietet die Vorteile einer einfachen Bedienung, einer bequemen Reinigung und einer geringen Größe. Es wird hauptsächlich im Filmzüchtungsprozess in Labors von Hochschulen und Universitäten sowie wissenschaftlichen Forschungsinstituten eingesetzt. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
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SPS-gesteuerter Präzisions-Tauchbeschichter (1-500 mm/min)
Der programmgesteuerte vertikale Tauchbeschichter PTL-MM02-500 ist ein Präzisionsgerät, das speziell für die Untersuchung flüssig wachsender Substratfilme entwickelt wurde. Der Film wird durch vertikales Ziehen der in flüssiges Beschichtungsmaterial getauchten Probe gezüchtet. Die Ziehgeschwindigkeit, die Eintauchzeit, die Geschwindigkeit des Probeneintritts in die Flüssigkeit, die Zykluszeiten der Probenbeschichtung und die Trocknungszeit der Probe können durch das Steuersystem gesteuert werden.
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und 5 Zoll max.)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Platten, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Er kann für starke saure und starke alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe (für Standard) ausgestattet, die entsprechend der Probengröße angepasst werden. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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