Hochvakuum-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter
1. Die Eingangsleistung der Magnetron-Sputteranlage mit zwei Targets beträgt 220 V/50 Hz, und der Innendurchmesser des Hohlraums beträgt Ø300 mm.
2. Die Zielkanone des Doppelziel-Magnetron-Sputter-Coaters wird mittels Wasserkühlung gekühlt.
3. Das Gasfüllsystem der Magnetron-Sputteranlage mit zwei Targets verwendet einen Zweiwege-Massenstrommesser (Einwege-Argon 100 scc, Zweiwege-Argon 200 scc). Sondergase sind auf Anfrage erhältlich.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Werktage
- 50 Sets
- Information
Einführung einer Magnetron-Sputteranlage mit zwei Köpfen:
Die VTC-600-2HD-1000 Dual-Head-Magnetron-Sputteranlage ist eine von unserem Unternehmen neu entwickelte Hochvakuum-Beschichtungsanlage. Sie eignet sich zur Herstellung von ein- oder mehrlagigen ferroelektrischen, leitfähigen, Legierungs-, Halbleiter-, Keramik-, dielektrischen, optischen, Oxid-, Hart- und Polytetrafluorethylen-Filmen sowie weiteren Materialien. Die Anlage ist mit zwei Targetkanonen und zwei Netzteilen ausgestattet: einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung nichtleitender und einem DC-Netzteil für leitfähige Materialien. Für die Sputterbeschichtung ferromagnetischer Materialien können starke Magnettargets verwendet werden. Im Vergleich zu ähnlichen Anlagen zeichnet sich die Dual-Head-Magnetron-Sputteranlage durch ihre kompakte Bauweise, einfache Bedienung und die breite Materialvielfalt aus. Sie ist die ideale Anlage zur Herstellung verschiedenster Materialfilme im Labor.
Vorteile der Magnetron-Plasma-Sputteranlage mit zwei Köpfen:
1. Die Magnetron-Plasma-Sputteranlage mit zwei Köpfen ist mit zwei Targetkanonen ausgestattet, eine mit einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung von nichtleitenden Targetmaterialien und die andere mit einer Gleichstromversorgung für die Sputterbeschichtung von leitfähigen Materialien.
2. Mit der Magnetron-Plasma-Sputteranlage mit zwei Köpfen lassen sich verschiedene Dünnschichten herstellen, und sie hat ein breites Anwendungsspektrum.
3. Die Magnetron-Plasma-Sputteranlage mit zwei Köpfen ist klein und sehr einfach zu bedienen.
Technische Parameter der Magnetron-Sputteranlage mit zwei Targets:
| Produktname | VTC-600-2HD-1000 Doppelkopf-Magnetron-Sputteranlage |
| Produktmodell | VTC-600-2HD-1000 |
| Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss bei einer Temperatur von 25℃±15℃ und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 55%Rh±10%Rh betrieben werden. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einer selbstzirkulierenden Kühlwasseranlage ausgestattet (gefüllt mit reinem Wasser oder deionisiertem Wasser). 2. Stromversorgung: Wechselstrom 220 V, 50 Hz, muss ordnungsgemäß geerdet sein. 3. Gas: Die Gerätekammer muss mit Argon (Reinheit über 99,99 %) gefüllt werden. Sie benötigen eine eigene Argon-Gasflasche (mit Ø6mm Doppelklemmringverbinder) und ein Druckminderungsventil. 4. Werkbank: Größe 1500mm×600mm×700mm, Tragfähigkeit über 200kg. 5. Belüftungsgerät: erforderlich. |
| Hauptparameter | 1. Eingangsleistung: 220 V/50 Hz. 2. Anzahl der Sputtertargets: 2. 3. Innendurchmesser der Kammer: Ø300mm. 4. Kühlmethode der Zielkanone: Wasserkühlung. 5. Maximaler Vakuumgrad: 9,0×10-4Also. 6. Spezifikationen der Vakuumkammer: Φ300×330 mm. 7. Vakuumsystem: Mechanische Pumpe VRD-16, Turbomolekularpumpe FF-100/150. 8. Vakuum wiederherstellen: Das System wird von der Atmosphäre auf 5,0E evakuiert.-3pa≤30 min (das System ist für kurze Zeit der Atmosphäre ausgesetzt). 9. Aufblassystem: 2-Wege-Massenstrommesser (1-Wege Argon 100scc, 2-Wege Argon 200scc) Sondergase können kundenspezifisch angepasst werden. 10. Spezifikationen des Sputtertargets: Φ2", Dicke 0,1-5 mm (die Dicke variiert aufgrund unterschiedlicher Targetmaterialien). 11. Probentisch: Φ140mm/drehbar (1-20 U/min)/beheizbar (Raumtemperatur-1000℃). |
| Produktspezifikationen | Abmessungen des Hauptgeräts: Breite 900 mm × Tiefe 650 mm × Höhe 1100 mm |
Über uns:
Bevor das Produkt unser Werk verlässt, führt unser Personal umfassende Tests durch, um Genauigkeit und Stabilität zu gewährleisten. Darüber hinaus steht Ihnen unser professionelles Kundendienstteam jederzeit zur Verfügung. Bei Fragen zum Produkt hilft Ihnen unser Team umgehend weiter, damit Ihre Geräte lange Zeit zuverlässig funktionieren.
