Hochvakuum-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter
1. Die Eingangsleistung des Dual-Target-Magnetron-Sputter-Coaters beträgt 220 V/50 Hz und der Innendurchmesser des Hohlraums beträgt Ø300 mm.
2. Die Kühlmethode der Zielpistole des Doppelziel-Magnetron-Sputter-Beschichters erfolgt mittels Wasserkühlung.
3. Das Gasfüllsystem des Dual-Target-Magnetron-Sputter-Coaters verwendet einen 2-Wege-Massendurchflussmesser (1-Wege-Argon 100 scc, 2-Wege-Argon 200 scc). Spezialgase können angepasst werden.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Einführung des Doppelkopf-Magnetron-Sputter-Beschichters:
Der Doppelkopf-Magnetron-Sputtercoater VTC-600-2HD-1000 ist ein Hochvakuum-Beschichtungsgerät, das von unserem Unternehmen neu entwickelt wurde. Es kann zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartfilmen, Polytetrafluorethylenfilmen usw. verwendet werden. Der Doppelkopf-Magnetron-Sputtercoater ist mit zwei Targetkanonen und zwei Stromversorgungen ausgestattet, eine HF-Stromversorgung wird zum Sputtern von nichtleitenden Materialien verwendet und eine Gleichstromversorgung wird zum Sputtern von leitfähigen Materialien verwendet. Der Doppelkopf-Magnetron-Sputtercoater kann mit starken magnetischen Targets zum Sputtern von ferromagnetischen Materialien ausgestattet werden. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten hat der Doppelkopf-Magnetron-Sputtercoater die Vorteile einer geringen Größe und einfachen Bedienung sowie einer breiten Palette von Materialien, die verwendet werden können. Er ist ein ideales Gerät zur Herstellung verschiedener Materialfilme im Labor.
Vorteile des Doppelkopf-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichters:
1. Der Doppelkopf-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter ist mit zwei Zielpistolen ausgestattet, eine mit einer HF-Stromversorgung zum Sputtern von nichtleitenden Zielmaterialien und die andere mit einer Gleichstromversorgung zum Sputtern von leitenden Materialien.
2. Der Doppelkopf-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter kann eine Vielzahl von Dünnfilmen herstellen und hat ein breites Anwendungsspektrum.
3. Der Doppelkopf-Magnetron-Plasma-Sputter-Coater ist klein und sehr einfach zu bedienen.
Technische Parameter des Dual-Target-Magnetron-Sputter-Beschichters:
| Produktname | VTC-600-2HD-1000 Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage mit Doppelkopf |
| Produktmodell | VTC-600-2HD-1000 |
| Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss bei einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % relativer Luftfeuchtigkeit ± 10 % relativer Luftfeuchtigkeit verwendet werden. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einer selbstzirkulierenden Kühlwassermaschine ausgestattet (gefüllt mit reinem Wasser oder deionisiertem Wasser). 2. Strom: AC 220 V, 50 Hz, muss gut geerdet sein. 3. Gas: Die Gerätekammer muss mit Argon (Reinheit über 99,99 %) gefüllt werden, und Sie müssen Ihre eigene Argon-Gasflasche (mit Ø6 mm Doppelklemmring-Anschluss) und ein Druckminderventil vorbereiten. 4. Werkbank: Größe 1500 mm × 600 mm × 700 mm, Tragfähigkeit über 200 kg. 5. Belüftungsgerät: erforderlich. |
| Hauptparameter | 1. Eingangsleistung: 220 V/50 Hz. 2. Anzahl der Sputtertargets: 2. 3. Innendurchmesser der Kammer: Ø300mm. 4. Kühlmethode der Zielwaffe: Wasserkühlung. 5. Endvakuumgrad: 9,0 x 10-4 Pa. 6. Vakuumkammerspezifikationen: Φ300×330 mm. 7. Vakuumsystem: mechanische Pumpe VRD-16, Turbomolekularpumpe FF-100/150. 8. Vakuum wiederherstellen: Das System wird aus der Atmosphäre auf 5,0E-3pa≤30 min gepumpt (das System wird für kurze Zeit der Atmosphäre ausgesetzt). 9. Aufblassystem: 2-Wege-Massendurchflussmesser (1-Wege-Argon 100 scc, 2-Wege-Argon 200 scc). Spezialgase können individuell angepasst werden. 10. Spezifikationen des Sputtertargets: Φ2", Dicke 0,1–5 mm (Dicke variiert aufgrund unterschiedlicher Targetmaterialien). 11. Probentisch: Φ140 mm/drehbar (1–20 U/min)/beheizbar (Raumtemperatur –1000 °C). |
| Produktdetails | Hostgröße: Breite 900 mm × Tiefe 650 mm × Höhe 1100 mm |
Über uns:
Bevor das Produkt das Werk verlässt, führen unsere Mitarbeiter umfassende Tests durch, um die Genauigkeit und Stabilität des Produkts sicherzustellen. Gleichzeitig verfügen wir auch über ein professionelles Kundendienstteam. Wenn Sie Fragen zum Produkt haben, wird Ihnen unser Team rechtzeitig antworten, damit Ihre Geräte lange Zeit stabil laufen können.
