Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen

marke Shenyang Kejing

Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China

Die lieferzeit 22 Arbeitstage

Die fähigkeit, 50 Sätze

Der Dreikopf-Magnetron-Sputtercoater VTC-600-3HD ist ein von unserem Unternehmen neu entwickeltes Beschichtungsgerät und wird zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartfilmen, PTFE-Filmen usw. verwendet. Der Dreikopf-Magnetron-Sputtercoater VTC-600-3HD ist mit drei Target-Kanonen, einer HF-Stromversorgung zum Sputtern von nichtleitenden Materialien und zwei Gleichstromversorgungen zum Sputtern von leitenden Materialien ausgestattet.

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Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen

Haupteigenschaften

1. Es ist mit drei Zielpistolen ausgestattet, eine HF-Stromversorgung wird zum Sputtern von nichtleitenden Materialien verwendet und zwei Gleichstrom-Stromversorgungen werden zum Sputtern von leitenden Materialien verwendet (die Zielpistolen können je nach Kundenbedarf ausgetauscht werden).

2. Es können verschiedene Dünnschichten für ein breites Anwendungsspektrum hergestellt werden.

3. Kleine Größe und einfach zu bedienen

4. Modularer Aufbau der gesamten Maschine; separater/geteilter Aufbau von Vakuumkammer, Vakuumpumpengruppe und Steuerstromversorgung, der entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen der Benutzer angepasst werden kann.

5. Die Stromversorgung kann entsprechend den tatsächlichen Anforderungen des Benutzers ausgewählt werden. Eine Stromversorgung kann mehrere Zielpistolen steuern, oder mehrere Stromquellen können eine einzelne Zielpistole steuern.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-600-3HD Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage mit drei Köpfen
Produktmodell	VTC-600-3HD
Installationsbedingungen	Dieses Gerät muss in einer Höhe von 1000 m oder weniger, bei einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % relativer Luftfeuchtigkeit ± 10 % relativer Luftfeuchtigkeit verwendet werden. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einem selbstzirkulierenden Wasserkühler ausgestattet (Füllung mit reinem Wasser oder deionisiertem Wasser) 2. Elektrizität: AC220V 50Hz, muss gut geerdet sein 3. Gas: Die Gerätekammer muss mit Argongas (Reinheit 99,99 % oder mehr) gefüllt werden. Argongasflaschen (mit Doppelklemmringverbindungen Ø 6 mm) und ein Druckminderventil müssen vom Benutzer bereitgestellt werden. 4. Werkbank: Größe 1500 mm × 600 mm × 700 mm, trägt mehr als 200 kg 5. Belüftungsgerät: erforderlich
Wichtige Parameter (Spezifikation)	1. Versorgungsspannung: 220 V, 50 Hz 2. Leistung: ＜2,5 kW 3. Vakuumgradgrenze: E-6mbar (E-5mbar können bei Verwendung von Geräten unserer Firma erreicht werden) 4. Heiztemperatur: RT-500 °C, Genauigkeit ±1 °C (Die Temperatur kann je nach Bedarf erhöht werden.) 5. Anzahl der Zielpistolen: 3 Stück 6. Kühlmethode der Zielwaffe: Wasserkühlung 7. Größe des Zielmaterials: Ø2″, Dicke 0,1–5 mm (unterschiedliche Dicken aufgrund unterschiedlicher Zielmaterialien) 8. DC-Sputterleistung: 500 W (optional) 9. HF-Sputterleistung: 300 W/500 W (optional) 10. Probentisch: Ø 140 mm, optionale Vorspannungsfunktion kann je nach Kundenwunsch installiert werden, um eine höhere Beschichtungsqualität zu erreichen. 11. Geschwindigkeit des Probentisches: einstellbar im Bereich von 1 U/min bis 20 U/min 12. Arbeitsgas: Ar, N₂und andere Inertgase 13. Ansaugluftweg: Der Massendurchflussmesser steuert zwei Luftansaugwege, einer ist 100 SCCM und der andere ist 200 SCCM.
Produktabmessungen und Gewicht	Abmessungen der Hauptmaschine: 500 mm × 560 mm × 660 mm Gesamtmaße: 1300 mm × 660 mm × 1200 mm Gewicht: 160kg
Standardzubehör	1. DC-Stromversorgungs-Steuerungssystem: 2 Satz 2. HF-Leistungskontrollsystem: 1 Satz 3. Filmdickenüberwachungssystem: 1 Satz 4. Molekularpumpe (aus Deutschland importiert): 1 Stück 5. Wasserkühler: 1 Stück 6.Polyester-PU-Rohr (Ø6mm): 4m
Optionales Zubehör	1. Verschiedene Zielmaterialien wie Gold, Indium, Silber, Platin usw. 2. Maske 3. Vibrierender Probentisch