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Einkopf-Hochvakuum-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter
Der Einkopf-Magnetron-Sputter-Beschichter VTC-600-1HD ist eine von unserem Unternehmen neu entwickelte Hochvakuum-Beschichtungsanlage, die zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen usw. verwendet wird. dielektrischer Film, optischer Film, Oxidfilm, Hartfilm, PTFE-Film usw. Der Einkopf-Magnetron-Sputter-Beschichter VTC-600-1HD ist mit einer Zielkanone ausgestattet und kann zwischen einem starken magnetischen Ziel und einem schwach magnetischen Ziel wählen.
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Doppelkopf-Hochvakuum-Magnetron-Plasma-Sputter-Beschichter
Der VTC-600-2HD Dual-Head Magnetron Sputtering Coater ist ein von unserem Unternehmen neu entwickeltes Hochvakuum-Beschichtungsgerät und wird zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen usw. verwendet. dielektrischer Film, optischer Film, Oxidfilm, Hartfilm, PTFE-Film usw. Der Doppelkopf-Magnetron-Sputterbeschichter VTC-600-2HD ist mit zwei Zielkanonen und zwei Netzteilen sowie einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung von nichtleitendem Material ausgestattet Materialien und ein Gleichstromnetzteil für die Sputterbeschichtung leitfähiger Materialien.
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Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen
Der Dreikopf-Magnetron-Sputterbeschichter VTC-600-3HD ist eine von unserem Unternehmen neu entwickelte Beschichtungsanlage, die zur Herstellung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen und dielektrischen Filmen verwendet wird , optischer Film, Oxidfilm, Hartfilm, PTFE-Film usw. Der dreiköpfige Magnetron-Sputterbeschichter VTC-600-3HD ist mit drei Zielkanonen, einem HF-Netzteil für die Sputterbeschichtung nichtleitender Materialien und zwei Gleichstromversorgungen ausgestattet Zubehör für die Sputterbeschichtung leitfähiger Materialien.
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Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen und Handschuhfach
Das Dünnschicht-Batterievorbereitungssystem VGB-600-3HD kann experimentelle Vorgänge in einer Handschuhbox durchführen und wird zur Vorbereitung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen usw. verwendet. optischer Film, Oxidfilm, Hartfilm, PTFE-Film usw. Das System ist mit drei Zielkanonen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Zielmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Zielkopf angeschlossen werden.
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