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Vakuumloser Tischschleuderbeschichter
Der VTC-50A Spin Coater verwendet unabhängige Stromversorgungssysteme für Motorteil und Steuerteil, und das Geschwindigkeitskontrollsystem verwendet einen Single-Chip-Mikrocomputer mit hoher Anti-Interferenz zur Steuerung, sodass die Rotationsgeschwindigkeit sehr hoch und stabil im Bereich von 1000 ist -8000 U/min. Der Beschichter verfügt während des Betriebs über zwei Stufen, nämlich T1-Stufe mit niedriger Geschwindigkeit und T2-Stufe mit hoher Geschwindigkeit.
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Desktop-Tauchlackierer mit variabler Geschwindigkeit (1-200 mm/min)
Der Tauchbeschichter PTL-MM01 zieht die Probe vertikal, indem er den Draht zieht. Die Probe wird für eine gewisse Zeit in das flüssige Filmmaterial getaucht und dann herausgezogen, sodass ein Film einer bestimmten Dicke auf der Oberfläche der Probe wächst. Der Tauchbeschichter PTL-MM01 verwendet einen Einplatinencomputer, um die Ziehgeschwindigkeit des Drahtes zu steuern und so dafür zu sorgen, dass der Heber reibungslos und präzise läuft.
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Spin Coater (8.000 U/min, max. 4-Zoll-Wafer) mit 3 Vakuum-Chucks
Der Vakuum-Spincoater VTC-100 ist standardmäßig mit 3 Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet. Je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spincoater VTC-100 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Steuerung der Geschwindigkeit.
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Programmierbarer Tauchbeschichter in Millimeterqualität (1-200 mm/min)
Der programmgesteuerte Tauchbeschichter PTL-MM02 zieht die Probe vertikal, indem er den Draht zieht. Der programmierbare Tauchbeschichter PTL-MM02 verwendet eine SPS-Programmsteuerung, um die Ziehgeschwindigkeit, die Eintauchzeit der Probe in das flüssige Beschichtungsmaterial, die Eintauchgeschwindigkeit der Probe in die Flüssigkeit, die Zykluszeiten des Ein- und Austritts der Probe in das flüssige Beschichtungsmaterial sowie die Trocknungszeit der Probe einzustellen und anzupassen.
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Kompakter Spin Coater (8.000 U/min, max. 4-Zoll-Wafer) Low Chuck Design
Der Vakuum-Spincoater VTC-100B ist eine verbesserte Version des Vakuum-Spincoaters VTC-100. Die obere Abdeckung lässt sich zum Öffnen und Schließen zusammenklappen und ist mit einem Sicherheitsschloss ausgestattet. Gleichzeitig verfügt er über eine Funktion zum Schutz der offenen Abdeckung, um die Sicherheit des Bedieners besser zu gewährleisten.
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SPS-gesteuerter Präzisions-Tauchbeschichter (1-200 mm/min)
Der programmgesteuerte vertikale Tauchbeschichter PTL-MM02-200 ist ein Präzisionsgerät, das speziell für die Untersuchung von Flüssigkeitsfilmen entwickelt wurde. Der Film wächst, indem die Probe vertikal gezogen wird, die in flüssiges Beschichtungsmaterial getaucht wird. Es können größere Proben beschichtet werden, und die Größe der Proben kann 310 mm × 260 mm bei einer Dicke von 1 mm bis 5 mm erreichen.
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Programmierbarer Vakuum-Chuck-Spin-Coater (500–6000 U/min, max. 20,3 cm)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 bietet die Vorteile einer einfachen Bedienung, einer bequemen Reinigung und einer geringen Größe. Es wird hauptsächlich im Filmzüchtungsprozess in Labors von Hochschulen und Universitäten sowie wissenschaftlichen Forschungsinstituten eingesetzt. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
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SPS-gesteuerter Präzisions-Tauchbeschichter (1-500 mm/min)
Der programmgesteuerte vertikale Tauchbeschichter PTL-MM02-500 ist ein Präzisionsgerät, das speziell für die Untersuchung von Flüssigkeitsfilmen auf Substraten entwickelt wurde. Der Film wird durch vertikales Ziehen der in flüssiges Beschichtungsmaterial getauchten Probe gebildet. Die Ziehgeschwindigkeit, die Eintauchzeit, die Geschwindigkeit, mit der die Probe in die Flüssigkeit eintritt, die Zykluszeiten der Probenbeschichtung und die Trocknungszeit der Probe können über das Steuersystem gesteuert werden.
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und 5 Zoll max.)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Er kann für stark saure und stark alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe (für Standard) ausgestattet, die je nach Größe der Probe angepasst sind. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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