Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und 5 Zoll max.)

Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und 5 Zoll max.)

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie für die Oberflächenbeschichtung. Er kann für stark saure und stark alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist standardmäßig mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet, die je nach Probengröße angepasst werden. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, wobei jeder Satz sechs Betriebsphasen umfasst.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 10 Arbeitstage
Die fähigkeit,: 50 Sätze

Information

Produkteinführung

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA ist für die Oberflächenbeschichtung von Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern und die Fotolithografie konzipiert. Er eignet sich auch für die Herstellung von Filmen mit stark sauren oder stark alkalischen Beschichtungslösungen.

Das Gerät wird standardmäßig mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe geliefert, sodass der Benutzer je nach Probenabmessungen das passende Spannfutter auswählen kann. Während des Betriebs fixiert der VTC-100PA die Probe per Vakuumsauger auf dem Spannfutter. Das Gerät kann bis zu 12 Programme speichern, wobei jedes Programm sechs Betriebsstufen umfasst. Verschiedene Stufen entsprechen unterschiedlichen Schleuderdrehzahlen, sodass der Beschichter schrittweise auf die Höchstgeschwindigkeit hochgefahren werden kann. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Filmbildung auf der Probenoberfläche, reduziert Materialabfall und verbessert die Effizienz.

Mit Funktionen wie einfacher Bedienung, bequemer Reinigung und kompakter Stellfläche wird der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA häufig in Laboren von Universitäten, Forschungsinstituten und F&E-Einrichtungen zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.

Hauptmerkmale

1. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, die einfach durchzuführen ist.

2. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

3. Proben können mithilfe des Positionierungswerkzeugs einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

4. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.

5. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet, der die Vorteile hoher Zuverlässigkeit, starker Anpassungsfähigkeit, einfacher Reparatur und Wartung, geringer Geräuschentwicklung, geringer Vibration, stabilem Betrieb, schnellem und stabilem Start sowie stabilem Betrieb nach der Beschleunigung bietet, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen

6. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

7. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar, N₂).

9. Englisches Betriebssystem

10. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

11. Die Steuerschnittstelle verfügt über einen Touchscreen und ein Einplatinencomputer-Steuersystem, und die numerische Anzeige ist intuitiver und zuverlässiger.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-100PA Vakuum-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-100PA
Installationsbedingungen	Dieses Gerät muss in einer Höhe von 1000 m oder weniger, bei einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % RH ± 10 % RH verwendet werden. 1. Wasser: ausgestattet mit Wassereinlass und -auslass 2. Strom: AC220V 50Hz, muss gut geerdet sein 3. Gas: N/A 4. Werkbank: Größe 600 mm × 600 mm × 700 mm, Tragkraft über 50 kg (ein solider Zementtisch wird bevorzugt). 5. Lüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: AC220V, 50Hz, 10A 2. Gesamtleistung: ≤150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungskammer (Material): Polypropylen 4. Probenhalter (Vakuum-Spannfutter): Polypropylen-Spannfutter, Φ19 mm und Φ60 mm, jeweils eines 5. Betriebsmodus: Bis zu 12 speicherbare Programme; jedes Programm umfasst 6 Betriebsstufen 6. Schleuderdrehzahl: 500 U/min – 10.000 U/min effektiv 7. Beschleunigungs-/Verzögerungsrate: Einstellbarer Bereich pro Stufe: 100 U/min – 2000 U/min 8. Beschichtungszeit: Zeitbereich pro Stufe: 0–60s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuermodus: PCB-Mikrocontroller, Tastatursteuerung, LMC-LCD-Display 11. Heizmethode: Nicht verfügbar
Produktabmessungen und Gewicht	12. Produktspezifikationen: · Abmessungen: 450 mm × 280 mm × 340 mm · Gewicht: 18 kg

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (inkl. O-Ring) (Ø19 mm UndØ60 mm)	2 Stck.
2	Zentraler Positionierer/Positionierer (einschließlich 4 Positionierungsbolzen)	1 Stck.
3	Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml)	1 Stck.
4	Injektor-/Spritzenhalterung	1 Stck.
5	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stck.
6	Gummirohr (inkl. Klemme)	1 Stck.