Spin Coater (8.000 U/min, 4" Wafer max.) mit 3 Vakuum-Chucks
Der VTC-100 Vakuum-Spincoater ist standardmäßig mit drei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet. Je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs fixiert der VTC-100 Vakuum-Spincoater die Probe mittels Vakuumplattenadsorption auf der Probenplatte. Das Gerät verfügt über ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Produkteinführung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100 eignet sich für Prozesse wie Halbleiterfertigung, Fotolithografie und Oberflächenbeschichtung. Dank seiner einfachen Bedienung, bequemen Reinigung und kompakten Bauweise wird er vor allem in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.
Das Gerät verwendet zur Probenfixierung eine Vakuumspannmethode, die ein einfaches Be- und Entladen der Proben ermöglicht und gleichzeitig die Anzahl bisher komplexer Arbeitsschritte reduziert. Es wird standardmäßig mit drei Polypropylen-Vakuumspannplatten (φ25 mm, φ50 mm und φ100 mm) geliefert und eignet sich daher für die Beschichtung von Silizium-Wafern und anderen Materialien unterschiedlicher Größe.
Das interne Stromversorgungssystem trennt den Motorteil vom Steuerteil, beide verfügen über eine unabhängige Stromversorgung. Die Drehzahlregelung nutzt einen hochstörfesten Mikrocontroller, der eine stabile Rotation im Bereich von 1000–8000 U/min gewährleistet. Der Spincoater startet schnell und hält die Drehzahl konstant, wodurch eine gleichmäßige und konsistente Schichtdicke gewährleistet wird. Zusätzlich wurden schwingungsdämpfende Maßnahmen in der Installationsstruktur umgesetzt, die die Anlage im Betrieb stabiler machen und die Geräuschentwicklung reduzieren.
Hauptmerkmale
1. Die Geschwindigkeit wird durch ein zweistufiges Programm gesteuert: In der ersten Stufe mit niedriger Geschwindigkeit wird der Klebstoff eingespritzt und in der zweiten Stufe mit hoher Geschwindigkeit wird der Klebstoff eingeebnet.
2. Die Probe wird durch Vakuumadsorption fixiert, was eine einfache Handhabung und bequeme Entnahme und Platzierung der Probe ermöglicht.
3. Aluminiumgussstruktur, stabiler Betrieb und geringe Geräuschentwicklung
4. Die Stromversorgung für Motor und Steuerung erfolgt unabhängig voneinander.
5. Die Geschwindigkeitsregelung wird von einem Einchip-Computer mit hoher Entstörungsfestigkeit gesteuert und die Geschwindigkeit ist im Bereich von 1000 bis 8000 U/min sehr stabil.
6. LED-Digitalanzeige mit Countdown-Anzeigefunktion für die Schleuderbeschichtung
7. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.
TTechnische Parameter
Produktname | VTC-100 Vakuum-Spin-Coater | |
Produktmodell | VTC-100 | |
Installationsbedingungen | 1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation). Temperatur: 0–45 °C. 2. In der Umgebung des Geräts gibt es keine starken Vibrationsquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser wird nicht benötigt 4. Strom: Einphasig: AC 220 V, 50 Hz, 10 A. 5. Gas: Die Abgasdurchflussrate des Vakuumunterdrucks (Vakuumpumpe) beträgt nicht weniger als 70 l/min 6. Werkbank: 800 mm × 600mm×700 mm, empfohlenes Traggewicht von mehr als 100 kg (feste Zementplattform ist besser) 7. Lüftungsgerät: keine besonderen Anforderungen | |
Die wichtigsten Parameter | 1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220/110V 50/60Hz, Versicherungsröhrenspezifikation ist 10A, φ5×20mm 2. Gesamtleistung: ≤150W 3. Probenschale (Saugnapf): Polypropylen-Vakuum-Saugnapf Φ25 mm φ50 mm φ100 mm, jeweils einer 4. Betriebsart: Linkslauf, mit zwei Betriebsstufen 5. Beschichtungsgeschwindigkeit: SPD1-Geschwindigkeit: 500-8000 U/min effektiv SPD2-Geschwindigkeit: 500–8000 U/min effektiv 6. Beschichtungszeit: T1-Zeit: 1-600 s effektiv T2-Zeit: 1–600 s effektiv 7. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 8. Steuermodus: PCB-Einzelchip-Mikrocomputer, Tastensteuerung, digitale Röhrenanzeige | |
9. Produktspezifikationen: · Abmessungen: 380 mm × 260 mm × 330 mm · Gewicht: 12kg |
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SStandardzubehör
NEIN. | Name | Menge | Bild |
1 | Vakuumspannfutter (PP,Ø25 mm,Ø50 mm,Ø100 mm) | je 1 Stück | |
2 | Injektor/Spritze | 1 Stck. | |
3 | Ölfreie Vakuumpumpe | 1 Stck. |  |
DEROptionales Zubehör
NEIN. | Name | Funktionstyp | Bild |
1 | Spezieller Vakuum-Spannfutter (PTFE, Aluminiumlegierung) | (optional) | - |
2 | Mikro-Spannfutter | (optional) | |
3 | Filter (für Vakuumpumpe) | (optional) | - |
4 | Pipette (hergestellt in China) | (optional) | |
5 | Pipette (importiert) | (optional) | |
6 | Probenklemmplatte | (optional) |
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Garantie
Ein Jahr eingeschränkter Support mit lebenslanger Garantie (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
