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Spin Coater (8.000 U/min, max. 4-Zoll-Wafer) mit 3 Vakuum-Chucks
Der Vakuum-Spincoater VTC-100 ist standardmäßig mit 3 Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet. Je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spincoater VTC-100 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Steuerung der Geschwindigkeit.
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Kompakter Spin Coater (8.000 U/min, max. 4-Zoll-Wafer) Low Chuck Design
Der Vakuum-Spincoater VTC-100B ist eine verbesserte Version des Vakuum-Spincoaters VTC-100. Die obere Abdeckung lässt sich zum Öffnen und Schließen zusammenklappen und ist mit einem Sicherheitsschloss ausgestattet. Gleichzeitig verfügt er über eine Funktion zum Schutz der offenen Abdeckung, um die Sicherheit des Bedieners besser zu gewährleisten.
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