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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 100ºC Heizabdeckung
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 100ºC Heizabdeckung

Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 100ºC Heizabdeckung

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-I eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie für die Oberflächenbeschichtung. Er kann für stark saure und stark alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist standardmäßig mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet, die je nach Probengröße angepasst werden. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, wobei jeder Satz sechs Betriebsphasen umfasst.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 10 Arbeitstage
Die fähigkeit,: 50 Sätze

Information

Produkteinführung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-I ist für die Oberflächenbeschichtung von Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern und die Fotolithografie konzipiert. Er eignet sich für die Herstellung von Beschichtungen mit starken Säuren oder Laugen. Das System wird standardmäßig mit zwei Vakuum-Chucks unterschiedlicher Größe geliefert, sodass der Benutzer je nach Probenabmessungen den passenden Chuck auswählen kann.

Während des Betriebs wird die Probe mithilfe einer Vakuumhalterung sicher auf dem Probentisch fixiert. Der VTC-100PA-I kann bis zu 12 Programme speichern, wobei jedes Programm aus sechs aufeinanderfolgenden Schritten besteht. Die Rotationsgeschwindigkeit variiert zwischen den einzelnen Stufen, sodass das Gerät schrittweise seine Höchstgeschwindigkeit erreichen kann. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dünnschichtbildung auf der Probenoberfläche, minimiert Materialverlust und verbessert die Effizienz.

Der VTC-100PA-I zeichnet sich durch einfache Bedienung, einfache Reinigung und ein kompaktes Design aus. Er wird häufig in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten für Dünnschichtabscheidungsprozesse eingesetzt.

Hauptmerkmale

1. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, die einfach durchzuführen ist.

2. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

3. Proben können mithilfe des Positionierungswerkzeugs einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

4. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.

5. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet, der die Vorteile hoher Zuverlässigkeit, starker Anpassungsfähigkeit, einfacher Reparatur und Wartung, geringer Geräuschentwicklung und geringer Vibration, stabilen Betrieb, schnellen und stabilen Start sowie stabilen Betrieb nach der Beschleunigung bietet, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.

6. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

7. Die Kammer besteht aus Polypropylenmaterial mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar, N2) durchgeführt werden.

9. Englisches Betriebssystem

10. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

11. Die Steuerschnittstelle verfügt über einen Touchscreen und ein Einplatinencomputer-Steuersystem, und die numerische Anzeige ist intuitiver und zuverlässiger.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-100PA-I Vakuum-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-100PA-I
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C, nicht kondensierend); Betriebstemperatur: 0–45 °C. 2. Umgebung: Frei von starken Vibrationsquellen und korrosiven Gasen. 3. Wasser: Ausgestattet mit einem Abfluss. 4. Stromversorgung: Einphasig AC 220 V, 50 Hz, 10 A. 5. Gas: Vakuum (Unterdruck) mit einem Saugvermögen ≥70 L/min, das System kann auch an Schutzgase (z. B. Ar, N₂) angeschlossen werden. 6. Werkbank: Empfohlene Größe 800 mm × 600 mm × 700 mm, Tragfähigkeit ≥50 kg (massiver Betontisch bevorzugt). 7. Belüftung: Keine besonderen Anforderungen.
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: · Hauptgerät: AC220V 50Hz 10A · Heizung: AC220V 50Hz 10A 2. Gesamtstromverbrauch: ≤1150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungskammer (Material): Polypropylen 4. Probenhalter (Vakuum-Chuck): PTFE-Vakuum-Chucks, Ø19 mm und Ø60 mm (je einer) 5. Betriebsmodus: Bis zu 12 programmierbare Rezepte; jedes Rezept umfasst 6 aufeinanderfolgende Stufen 6. Schleuderdrehzahlbereich: 500–10.000 U/min (effektiv) 7. Beschleunigungs-/Verzögerungsrate: Einstellbar von 100 U/min bis 2000 U/min pro Stufe 8. Beschichtungszeit: 0–60 Sekunden pro Stufe 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1 % 10. Steuerungssystem: PCB-Mikrocontroller mit Tastatursteuerung und LMC-LCD-Display 11. Heizmethode: Unabhängiges Heizrohrsystem aus Kohlefaser (getrennt von der Steuerung der Haupteinheit) 12. Heiztemperaturbereich: Raumtemperatur bis 100 °C 13. Heizleistung: AC220V, 1000W 14. Genauigkeit der Temperaturregelung: ±2 °C
	15. Produktspezifikationen: · Abmessungen: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Gewicht: 20kg

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (inkl. O-Ring) (Ø19 mm UndØ60 mm)	2 Stck.
2	Zentraler Positionierer/Positionierer (einschließlich 4 Positionierungsbolzen)	1 Stck.
3	Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml)	1 Stck.
4	Injektor-/Spritzenhalterung	1 Stck.	-
5	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stck.
6	Gummirohr (inkl. Klemme)	1 Stck.	-