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Anti-Korrosions-Spin-Coater (6.000 U/min und 6-Zoll-Wafer max.)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was sich positiv auf den Beschichtungsprozess dünnschichtiger Materialien mit hoher Viskosität auswirkt.
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Anti-Korrosions-Spin-Coater (6.000 U/min und 6-Zoll-Wafer max.) –
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was sich positiv auf den Beschichtungsprozess dünnschichtiger Materialien mit hoher Viskosität auswirkt.
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