Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und max. 6-Zoll-Wafer) -

marke Shenyang Kejing

Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China

Die lieferzeit 22 Arbeitstage

Die fähigkeit, 50 Sätze

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was für den Beschichtungsprozess von Dünnschichtmaterialien mit hoher Viskosität von Vorteil ist.

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Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und max. 6-Zoll-Wafer) -

Haupteigenschaften

1. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Der Einstellbereich der Beschleunigungs- und Verzögerungsrate für jede Stufe: 100 U/min/s – 2000 U/min/s, Zeitbereich für jede Stufe: 0 – 60 s

2. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, was einfach durchzuführen ist.

3. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

4. Proben können mit dem Positionierungswerkzeug einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

5. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden und der Austausch ist bequem und einfach.

6. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet. Dieser bietet die Vorteile einer hohen Zuverlässigkeit, starken Anpassungsfähigkeit, einfachen Reparatur und Wartung, geringen Geräuschentwicklung und geringer Vibration, eines stabilen Betriebs, eines schnellen und stabilen Starts sowie eines stabilen Betriebs nach der Beschleunigung, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.

7. Diese Maschine kann in einer Handschuhbox verwendet werden, aber das Bedienteil und die Vakuumpumpe sollten außerhalb der Box platziert werden.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (wie Ar, N2) durchgeführt werden.

9. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile der geringen Größe, der einfachen Struktur, der einfachen Bedienung, der bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

10. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

11. Englisches Betriebssystem

12. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsvorgangs oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

13. Der Controller verfügt über eine einzelne Steuerbox mit numerischer LCD-Anzeige, die intuitiver und zuverlässiger ist.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-200P Vakuum-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-200P
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10 – 85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation) Temperatur: 0 – 45 °C. 2. In der Umgebung des Geräts gibt es keine starken Erdbebenquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abwasserauslass ausgestattet 4. Elektrizität: Einphasig: AC220V 50Hz Nationale Standard-Dreipolsteckdose 10A muss gut geerdet sein 5. Gas: Der Abgasdurchfluss bei Vakuumunterdruck (Vakuumpumpe) beträgt nicht weniger als 70 l/min (das Gerät kann Schutzgas durchlassen). 6. Werkbank: Es werden Abmessungen von 800 x 600 x 700 mm und eine Tragfähigkeit von mehr als 100 kg empfohlen (eine solide Zementplattform ist besser). 7. Lüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220V 50Hz, Versicherungsrohrspezifikation ist 10A, φ5×20mm (dieses Gerät unterstützt die Produktanpassung AC110V 50/60Hz.) 2. Gesamtleistung: ≤150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungshohlraum (Material): Polypropylen 4. Probenschale (Saugnapf): Φ100 Polypropylen-Vakuumsaugnapf 1 (mit Heizfunktion, aus Polytetrafluorethylen) 5. Betriebsmodus: Es können 12 Programmsätze gespeichert werden, jeder Programmsatz enthält 6 Betriebsstufen 6. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500 U/min-6000 U/min 7. Beschleunigungs- und Verzögerungsrate: Jeder Beschleunigungs- und Verzögerungseinstellbereich: 100 U/min — 2000 U/min 8. Beschichtungszeit: Jeder Zeitbereich: 0-60s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuermodus: PCB Single-Chip-Mikrocomputer-Tastensteuerung LMC LCD-Display 11. Heizmodus: Standardausrüstung verfügt nicht über diese Funktion (diese Maschine kann mit einer Heizfunktion und einem unabhängigen Temperaturkontrollsystem angepasst werden, das nicht mit der Host-Steuerung zusammenhängt). 12. Heiztemperatur: Anpassbare Temperaturobergrenze: RT-100℃ 13. Heizleistung: AC220V 1000W 14. Genauigkeit der Temperaturregelung: ±2℃
Produktabmessungen und Gewicht	Abmessungen: Haupteinheit: Φ250mmX360mm Steuerkasten: 330 mm x 380 mm x 150 mm Gewicht: 15kg

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (φ100mm)	1 Stück
2	O-Ring	1 Stück
3	Zentraler Positionierer/Lokalisierer (inkl. 4 Positionierungsbolzen)	1 Stück
4	Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml)	1 Stück
5	Injektor-/Spritzenhalterung	1 Stück
6	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stück