Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und 6-Zoll-Wafer max.) –

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie für die Oberflächenbeschichtung. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, von denen jeder sechs Betriebsphasen umfasst. Die obere Kammerabdeckung kann die Probe erwärmen (optionale Funktion), was sich positiv auf den Beschichtungsprozess von Dünnschichtmaterialien mit hoher Viskosität auswirkt.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 22 Arbeitstage
Die fähigkeit,: 50 Sätze

Information

Produkteinführung

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P ist für Oberflächenbeschichtungsprozesse in Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern, der Lithografie und verwandten Anwendungen konzipiert. Er eignet sich für die Herstellung von Beschichtungen mit starken Säuren oder starken Laugen.

Die Kammer selbst kann nicht evakuiert werden. Stattdessen wird die Probe während des Betriebs durch Vakuumadsorption auf dem Substrathalter fixiert. Das System kann bis zu 12 Programme mit jeweils sechs aufeinanderfolgenden Stufen speichern. Für jede Stufe können unterschiedliche Rotationsgeschwindigkeiten eingestellt werden, sodass der Beschichter schrittweise auf seine Höchstgeschwindigkeit beschleunigt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dünnschichtbildung auf der Probenoberfläche bei minimalem Materialverlust.

Der obere Deckel der Kammer kann optional mit einer Heizfunktion ausgestattet werden, die das Beschichten hochviskoser Folienmaterialien erleichtert.

Mit Vorteilen wie einfacher Bedienung, bequemer Reinigung und kompaktem Design wird der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P häufig in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.

Hauptmerkmale

1. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Der Einstellbereich der Beschleunigungs- und Verzögerungsrate für jede Stufe: 100 U/min/s – 2000 U/min/s, der Zeitbereich für jede Stufe: 0 – 60 s

2. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, die einfach durchzuführen ist.

3. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

4. Proben können mithilfe des Positionierungswerkzeugs einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

5. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.

6. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet, der die Vorteile hoher Zuverlässigkeit, starker Anpassungsfähigkeit, einfacher Reparatur und Wartung, geringer Geräuschentwicklung und geringer Vibration, stabilen Betrieb, schnellen und stabilen Start sowie stabilen Betrieb nach der Beschleunigung bietet, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.

7. Diese Maschine kann in einer Handschuhbox verwendet werden, aber das Steuerteil und die Vakuumpumpe sollten außerhalb der Box platziert werden.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar, N2) durchgeführt werden.

9. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

10. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

11. Englisches Betriebssystem

12. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

13. Der Controller verfügt über eine einzelne Steuerbox mit numerischer LCD-Anzeige, die intuitiver und zuverlässiger ist.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-200P Vakuum-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-200P
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation). Temperatur: 0–45 °C. 2. In der Umgebung der Ausrüstung gibt es keine starken Erdbebenquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abwasseranschluss ausgestattet 4. Strom: Einphasig: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: Die Abgasdurchflussrate des Vakuumunterdrucks (Vakuumpumpe) beträgt nicht weniger als 70 l/min (das Gerät kann Schutzgas durchlassen). 6. Werkbank: Es wird empfohlen, 800 mm × 600 zu seinmm×700 mm und kann einer Belastung von mehr als 100 kg standhalten (eine solide Zementplattform ist besser) 7. Lüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220V 50Hz, Versicherungsröhrenspezifikation ist 10A, φ5×20mm. 2. Gesamtleistung: ≤150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungsaufnahmehohlraum (Material): Polypropylen 4. Probenschale (Saugnapf): Φ100 Polypropylen-Vakuumsaugnapf 1 (mit Heizfunktion, besteht aus Polytetrafluorethylen) 5. Betriebsmodus: 12 Programmsätze können gespeichert werden, jeder Programmsatz enthält 6 Betriebsstufen 6. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500 U/min-6000 U/min 7. Beschleunigungs- und Verzögerungsrate: Jeder Beschleunigungs- und Verzögerungseinstellbereich: 100 U/min – 2000 U/min 8. Beschichtungszeit: Jeder Zeitbereich: 0-60s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuermodus: PCB-Einzelchip-Mikrocomputer-Tastensteuerung LMC-LCD-Display 11. Heizmodus: Standardausrüstung verfügt nicht über diese Funktion (diese Maschine kann mit Heizfunktion, unabhängigem Temperaturkontrollsystem, unabhängig von der Host-Steuerung, angepasst werden) 12. Heiztemperatur: Anpassbare Temperaturobergrenze: RT-100℃ 13. Heizleistung: AC220V 1000W 14. Genauigkeit der Temperaturregelung: ±2℃
	15. Produktspezifikationen: · Abmessungen: · Haupteinheit: Φ250 mm × 360 mm · Steuerkasten: 330 mm×380 mm×150 mm · Gewicht: 15kg

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (φ100 mm)	1 Stck.
2	O-Ring	1 Stck.
3	Zentraler Positionierer/Positionierer (einschließlich 4 Positionierungsbolzen)	1 Stck.
4	Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml)	1 Stck.
5	Injektor-/Spritzenhalterung	1 Stck.
6	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stck.