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Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und max. 6-Zoll-Wafer)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was für den Beschichtungsprozess von Dünnschichtmaterialien mit hoher Viskosität von Vorteil ist.
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Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und max. 6-Zoll-Wafer) -
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was für den Beschichtungsprozess von Dünnschichtmaterialien mit hoher Viskosität von Vorteil ist.
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