Vakuumierbarer und atmosphärisch gesteuerter Spin Coater

marke Shenyang Kejing

Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China

Die lieferzeit 10 Arbeitstage

Die fähigkeit, 50 Sätze

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200PV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Kammer des Vakuum-Spin-Coaters VTC-200PV kann vakuumiert werden, um die Probe unter vollständigen Vakuumbedingungen zu beschichten, was für Filmmaterialien geeignet ist, die an der Luft leicht oxidieren und sich zersetzen. Eine Klammer wird verwendet, um die Probe zu fixieren, wenn die Kammer vakuumiert wird. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.

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Vakuumierbarer und atmosphärisch gesteuerter Spin Coater

Haupteigenschaften

1. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Der Einstellbereich der Beschleunigungs- und Verzögerungsrate für jede Stufe: 100 U/min/s – 2000 U/min/s, Zeitbereich für jede Stufe: 0 – 60 s

2. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption. Die Fixierung kann auch mittels Kleben oder Klemmen erfolgen, was einfach durchzuführen ist.

3. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

4. Proben können mit dem Positionierungswerkzeug einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

5. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden und der Austausch ist bequem und einfach.

6. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet. Dieser bietet die Vorteile einer hohen Zuverlässigkeit, starken Anpassungsfähigkeit, einfachen Reparatur und Wartung, geringen Geräuschentwicklung und geringer Vibration, eines stabilen Betriebs, eines schnellen und stabilen Starts sowie eines stabilen Betriebs nach der Beschleunigung, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.

7. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe wird verwendet, wenn die Probe mittels Vakuumabsorption fixiert wird, und sie hat die Vorteile der geringen Größe, einfachen Struktur, einfachen Bedienung, bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (wie Ar, N2) durchgeführt werden.

9. Bei der Beschichtung unter Vakuumbedingungen wird das Probensubstrat mittels Kleben oder Klemmen fixiert.

10. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

11. Englisches Betriebssystem

12. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsvorgangs oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

13. Der Controller verfügt über eine Steuerbox mit numerischer LCD-Anzeige, die intuitiver und zuverlässiger ist.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-200PV Vakuum-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-200PV
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10 – 85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation) Temperatur: 0 – 45 °C. 2. In der Umgebung des Geräts gibt es keine starken Erdbebenquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abwasserauslass ausgestattet 4. Elektrizität: Einphasig: AC220V 50Hz Nationale Standard-Dreipolsteckdose 10A muss gut geerdet sein 5. Gas: Der Abgasdurchfluss bei Vakuumunterdruck (Vakuumpumpe) beträgt nicht weniger als 70 l/min (das Gerät kann Schutzgas durchlassen). 6. Werkbank: Es werden Abmessungen von 1500 x 600 x 700 mm und eine Tragfähigkeit von mehr als 100 kg empfohlen (eine solide Zementplattform ist besser). 7. Lüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220V 50Hz, Versicherungsrohrspezifikation ist 10A, φ5×20mm (dieses Gerät unterstützt AC110V50/60Hz Produktanpassung) 2. Gesamtleistung: ≤150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungshohlraum (Material): Polypropylen 4. Probenschale (Spannfutter + Saugnapf): Probenschale vom Spannfuttertyp: Φ100 Polypropylen-Vakuumsaugnapf: 1 5. Betriebsmodus: Es können 12 Programmsätze gespeichert werden, jeder Programmsatz enthält 6 Betriebsstufen 6. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500 U/min-6000 U/min 7. Beschleunigungs- und Verzögerungsrate: Jeder Beschleunigungs- und Verzögerungseinstellbereich: 100 U/min — 2000 U/min 8. Beschichtungszeit: Jeder Zeitbereich: 0-60s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuermodus: PCB Single-Chip-Mikrocomputer-Tastensteuerung LMC LCD-Display 11. Ölfreie Vakuumpumpe (Probenahmevakuum): Modell: AP-1400C/V Verbunden mit dem Host Stromversorgung: AC220V 50/60Hz 2A 0,45KW Endvakuum: -0,0933 MPa Rate: 150 l/min 12. Mechanische Vakuumpumpe (zum Absaugen der Beschichtungskammer): Modell: VRD-8 Unabhängige Stromversorgung: AC220V 50Hz 2,5A 0,4KW Enddruck: 5X10-²Pa

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (φ100mm)	1 Stück
2	Klemmplatte 2”, 3”, 4”	1 Stück
3	Zentraler Positionierer/Lokalisierer (inkl. 4 Positionierungsbolzen)	1 Stück
4	Epoxid-Injektor/Spritze	1 Stück
5	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stück
6	Double-Click Drehschieber-Vakuumpumpe VRD-8	1 Stück

ÖOptionales Zubehör

NEIN.	Name	Funktionstyp	Bild
1	Vakuumspannfutter anderer Spezifikationen	(Optional)
2	Pipette (hergestellt in China)	(Optional)
3	Pipette (importiert)	(Optional)
4	VRD-16 Mechanische Pumpe	(Optional)