Vakuumfähiger und atmosphärisch gesteuerter Spin Coater
Der VTC-200PV Vakuum-Spincoater eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie für die Oberflächenbeschichtung. Die Kammer des VTC-200PV Vakuum-Spincoaters kann vakuumiert werden, um die Probe unter Vakuumbedingungen zu beschichten. Dies eignet sich für Filmmaterialien, die an der Luft leicht oxidieren und zerfallen. Eine Klammer fixiert die Probe im Vakuum. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Produkteinführung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200PV ist für Oberflächenbeschichtungsprozesse in Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern, der Lithografie und verwandten Anwendungen konzipiert. Er eignet sich für die Herstellung von Beschichtungen mit starken Säuren oder starken alkalischen Lösungen.
Dieses System ermöglicht die Evakuierung der Beschichtungskammer, sodass Proben unter vollständigem Vakuum beschichtet werden können. Diese Funktion eignet sich besonders für Dünnschichtmaterialien, die an der Luft zu Oxidation oder Zersetzung neigen. Im Vakuumbetrieb werden die Proben mit einem Probenhalter fixiert.
Ohne Vakuumevakuierung werden die Proben durch Vakuumadsorption auf dem Substrathalter gehalten. Das System kann bis zu 12 Programme mit jeweils sechs aufeinanderfolgenden Stufen speichern. Für jede Stufe können unterschiedliche Drehzahlen eingestellt werden, sodass der Beschichter schrittweise auf seine Höchstgeschwindigkeit beschleunigt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dünnschichtbildung auf der Probenoberfläche bei minimalem Materialverlust.
Mit Vorteilen wie einfacher Bedienung, bequemer Reinigung und kompaktem Design wird der Vakuum-Spin-Coater VTC-200PV häufig in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.
Hauptmerkmale
1. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Der Einstellbereich der Beschleunigungs- und Verzögerungsrate für jede Stufe: 100 U/min/s – 2000 U/min/s, der Zeitbereich für jede Stufe: 0 – 60 s
2. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption. Alternativ kann die Fixierung mittels Kleben oder Klemmen erfolgen, was einfach durchzuführen ist.
3. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.
4. Proben können mithilfe des Positionierungswerkzeugs einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.
5. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.
6. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet, der die Vorteile hoher Zuverlässigkeit, starker Anpassungsfähigkeit, einfacher Reparatur und Wartung, geringer Geräuschentwicklung und geringer Vibration, stabilen Betrieb, schnellen und stabilen Start sowie stabilen Betrieb nach der Beschleunigung bietet, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.
7. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe wird verwendet, wenn die Probe mittels Vakuumabsorption fixiert wird. Sie bietet die Vorteile einer geringen Größe, einfachen Struktur, einfachen Bedienung, bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.
8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar, N2) durchgeführt werden.
9. Bei der Beschichtung unter Vakuumbedingungen wird das Probensubstrat durch Kleben oder Klemmen fixiert.
10. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.
11. Englisches Betriebssystem
12. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.
13. Der Controller verfügt über eine Steuerbox mit numerischer LCD-Anzeige, die intuitiver und zuverlässiger ist.
TTechnische Parameter
Produktname | VTC-200PV Vakuum-Spin-Coater |
Produktmodell | VTC-200PV |
Installationsbedingungen | 1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation). Temperatur: 0–45 °C. 2. In der Umgebung der Ausrüstung gibt es keine starken Erdbebenquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abwasseranschluss ausgestattet 4. Strom: Einphasig: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: Die Abgasdurchflussrate des Vakuumunterdrucks (Vakuumpumpe) beträgt nicht weniger als 70 l/min (das Gerät kann Schutzgas durchlassen). 6. Werkbank: Es wird empfohlen, 1500 mm × 600 zu seinmm×700 mm und kann einer Belastung von mehr als 100 kg standhalten (eine solide Zementplattform ist besser) 7. Lüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Sicherung: AC 220 V, 50 Hz; Sicherungsspezifikation: 10 A, φ5 × 20 mm. 2. Gesamtleistung: ≤600 W (einschließlich 450 W angeschlossener ölfreier Vakuumpumpe). 3. Hauptkammer (Material): Polypropylen. 4. Substrathalter (Spannfutter + Vakuumspannfutter): Standardkonfiguration: 1 Substrathalter vom Spannfuttertyp (anpassbar für 2″, 3″, 4″ Proben) und 1 Ø100 mm Polypropylen-Vakuumspannfutter. 5. Betriebsmodus: Speichert bis zu 12 Programme, die jeweils 6 aufeinanderfolgende Stufen enthalten. 6. Schleuderdrehzahl: 500–6000 U/min (effektiv). 7. Beschleunigungs-/Verzögerungsrate pro Stufe: Einstellbarer Bereich: 100–2000 U/min/s. 8. Zeit pro Stufe: Einstellbarer Bereich: 0–60 s. 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1 %. 10. Steuerungssystem: PCB-Mikrocontroller mit Tastaturbedienung und LMC-LCD-Display. 11. Produktabmessungen und -gewicht: · Haupteinheit: Ø250 mm × 360 mm · Steuerkasten: 330 mm × 380 mm × 150 mm · Gewicht: 25 kg 12. Unterstützende Ausrüstung: · Modell: AP-1400C/V, Stromversorgung über die mit dem Hauptgerät verbundene Buchse · Spannung: AC220V, 50/60Hz, 2A, 0,45 kW · Endvakuum: –0,0933 MPa · Pumpgeschwindigkeit: 150 l/min · Mechanische Vakuumpumpe (zum Evakuieren der Beschichtungskammer) · Modell: VRD-8, Stromversorgung über separate Steckdose · Spannung: AC220V, 50Hz, 2,5A, 0,4 kW · Endvakuum: 5×10⁻² Pa · Saugvermögen: 8 m³/h |
SStandardzubehör
NEIN. | Name | Menge | Bild |
1 | Vakuumspannfutter (φ100 mm) | 1 Stck. | |
2 | Klemmplatte 2”, 3”, 4” | 1 Stck. | |
3 | Zentraler Positionierer/Positionierer (einschließlich 4 Positionierungsbolzen) | 1 Stck. | |
4 | Epoxid-Injektor/Spritze | 1 Stck. |
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5 | Ölfreie Vakuumpumpe | 1 Stck. | |
6 | Double-Click Drehschieber-Vakuumpumpe VRD-8 | 1 Stck. |
DEROptionales Zubehör
NEIN. | Name | Funktionstyp | Bild |
1 | Vakuumspannfutter anderer Spezifikationen | (optional) |
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2 | Pipette (hergestellt in China) | (optional) |
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3 | Pipette (importiert) | (optional) |
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4 | VRD-16 Mechanische Pumpe | (optional) |
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Garantie
Ein Jahr eingeschränkter Support mit lebenslanger Garantie (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
