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Vakuumierbarer und atmosphärisch gesteuerter Spin Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200PV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Kammer des Vakuum-Spin-Coaters VTC-200PV kann vakuumiert werden, um die Probe unter vollständigen Vakuumbedingungen zu beschichten, was für Filmmaterialien geeignet ist, die an der Luft leicht oxidieren und sich zersetzen. Eine Klammer wird verwendet, um die Probe zu fixieren, wenn die Kammer vakuumiert wird. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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