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Vakuumierbarer und atmosphärengesteuerter Spin Coater
Der Vakuum-Schleuderbeschichter VTC-200PV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Kammer des Vakuum-Schleuderbeschichters VTC-200PV kann vakuumiert werden, um die Probe unter vollständig vakuumierten Bedingungen zu beschichten, was für geeignet ist Filmmaterialien, die an der Luft leicht oxidieren und sich zersetzen. Beim Vakuumieren der Kammer wird die Probe mit einer Klemme fixiert. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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