Plasmareiniger mit Vakuumpumpe

Die Plasmakammer des kleinen Plasmareinigers PCE-6 ist eine Quarzkammer mit einem Durchmesser von 160 mm × 190 mm. Die verwendete HF-Leistung beträgt 3,0 MHz (1 %), und die Ausgangsleistung ist in drei Stufen einstellbar: 7,2 W, 10,2 W und 29,6 W. Diese Maschine entfernt hauptsächlich die Oxidschicht und Verunreinigungen auf den Substraten durch Plasma aus Luft, Sauerstoff oder Argon und anderen Gasen und kann auch die Eigenschaften der Oberfläche von Objekten (wie Hydrophilie und Hydrophobie usw.) verändern.

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