Plasmareiniger mit Vakuumpumpe
Die Plasmakammer des kleinen Plasmareinigers PCE-6 ist eine Quarzkammer mit den Abmessungen Ø 160 mm × 190 mm. Die verwendete HF-Leistung beträgt 3,0 MHz (1 %), und die Ausgangsleistung ist in drei Stufen einstellbar: 7,2 W, 10,2 W und 29,6 W. Das Gerät entfernt hauptsächlich Oxidschichten und Verunreinigungen von Substraten mittels Plasma aus Luft, Sauerstoff, Argon und anderen Gasen und kann zudem die Oberflächeneigenschaften von Objekten verändern (z. B. Hydrophilie oder Hydrophobie).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Werktage
- 50 Sets
- Information
Produkteinführung
DerPCE-6 Kompakt-PlasmareinigerVerfügt über eine Quarzplasmakammer mit den Abmessungen Ø160 mm × 190 mm und ist mit einem HF-Netzteil ausgestattet, das mit 3,0 MHz (±1%) arbeitet und über drei einstellbare Ausgangsleistungsstufen verfügt: 7,2 W, 10,2 W und 29,6 W.
Dieses System nutzt Plasma aus Gasen wie Luft, Sauerstoff oder Argon, um Oxide und Verunreinigungen von Substraten zu entfernen und gleichzeitig deren Eigenschaften (z. B. hydrophile oder hydrophobe Merkmale) zu modifizieren. Es eignet sich ideal zur Substratreinigung und Dünnschichtbehandlung.
Das PCE-6 ist kompakt und platzsparend und eignet sich daher ideal für Laborumgebungen. Es ist mit einer Doppelrotations-Vakuumpumpe ausgestattet, die das Evakuieren der Kammer ermöglicht und gleichzeitig die Zufuhr von Gasen wie Argon erlaubt. Dadurch ist es besonders geeignet für die Reinigung leicht oxidierbarer Materialien.
Hauptmerkmale
1. Über die Tasten und Schalter des Bedienfelds können die HF-Leistung, das Öffnen und Schließen der Vakuumpumpe sowie die Reinigungszeit gesteuert und eingestellt werden.
2. Zeit, Leistung, Vakuumgrad und weitere Informationen werden auf einer Gruppe von 4 Digitalröhren angezeigt.
3. Ausgestattet mit einem Dreiwegeventil, das den Ansaugluftstrom präzise steuert und den Brennraum mit Umgebungsluft reinigt. Die Ansaugschnittstelle ist eine 6-mm-Steckdosenhülse.
4. Zur Durchführung von Plasmaätz- und Veraschungsexperimenten wird ein Hochleistungs-HF-Stromversorgungsgerät ausgewählt.
TTechnische Parameter
Produktname | PCE-6 Kleiner Plasmareiniger |
Produktmodell | PCE-6 |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Stromversorgung: Wechselstrom 220 V, 50/60 Hz 2. Ausgangsleistung: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Leistung der Vakuumpumpe: <500 W 4. Gesamtleistungsaufnahme: <600 W 5. HF-Frequenz: 3,0 MHz, Leistung manuell in 3 Stufen einstellbar 6. Plasmakammer: Hochreine Quarzglaskammer (Ø 160 mm × 190 mm), abgedichtet mit einem gefalteten Aluminiumflansch mit einem Sichtfenster (Ø 45 mm) am Flansch. 7. Vakuumpumpe: 120 l/min, direkt angeschlossene zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe 8. Ultimatives Vakuum: 50 mTorr 9. Gaseinleitung: Zur Plasmaerzeugung können verschiedene Gase eingeleitet werden, z. B. N₂.2, Ar, H2O2, Luft und Gasmischungen (ausgewählt nach Materialeigenschaften) zum Reinigen und Ätzen |
Produktabmessungen und Gewicht | Abmessungen: 400 mm × 300 mm × 300 mm INacht:10,2 kg |
Optionales Zubehör
| NEIN. | Name | Funktionskategorie | Bild |
| 1 | 2"-6" Quarzschiffchen/Träger (zur Aufnahme des Substrats) | Optional | - |
| 2 | 2-4-Kanal-Protonen- oder Schwimmgasmischsystem | Optional | - |
Garantie
Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslangem Support (ausgenommen sind durch unzureichende Lagerbedingungen verursachte Rostschäden).
Logistik
