Plasmareiniger mit Vakuumpumpe
marke Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China
Die lieferzeit 10 Werktage
Die fähigkeit, 50 Sätze
Die Plasmakammer des kleinen Plasmareinigers PCE-6 ist eine Quarzkammer mit einem Durchmesser von 160 mm × 190 mm. Die verwendete HF-Leistung beträgt 3,0 MHz (1 %), und die Ausgangsleistung ist in drei Stufen einstellbar: 7,2 W, 10,2 W und 29,6 W. Diese Maschine entfernt hauptsächlich die Oxidschicht und Verunreinigungen auf den Substraten durch Plasma aus Luft, Sauerstoff oder Argon und anderen Gasen und kann auch die Eigenschaften der Oberfläche von Objekten (wie Hydrophilie und Hydrophobie usw.) verändern.
Haupteigenschaften
1. Über die Tasten und Schalter des Bedienfelds können die HF-Leistung, das Öffnen und Schließen der Vakuumpumpe und die Reinigungszeit gesteuert und eingestellt werden.
2. Zeit, Leistung, Vakuumgrad und andere Informationen werden auf einer Gruppe von 4 digitalen Röhren angezeigt.
3. Ausgestattet mit einem Dreiwegeventil, das den Ansaugluftstrom präzise steuern und die Kammer mit atmosphärischer Luft reinigen kann. Die Einlassschnittstelle ist eine 6-mm-Kartenhülsenschnittstelle.
4. Zur Durchführung von Plasmaätz- und Veraschungsexperimenten wird ein hochleistungsfähiges HF-Stromversorgungsgerät ausgewählt.
TTechnische Parameter
Produktname | PCE-6 Kleiner Plasmareiniger |
Produktmodell | PCE-6 |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Stromversorgung: AC220V 50/60Hz 2. Ausgangsleistung: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Leistung der Vakuumpumpe: <500 W 4. Gesamtleistung: <600W 5. HF-Frequenz: 3,0 MHz, Leistung kann manuell in 3 Stufen eingestellt werden 6. Plasmakammer: hochreine Quarzkammer von Ø 160 mm × 190 mm, abgedichtet mit einem gefalteten Aluminiumflansch mit einem Beobachtungsfenster von Ø 45 mm auf dem Flansch 7. Vakuumpumpe: 120 l/min, direkt angeschlossene zweistufige Rotationsvakuumpumpe 8. Endvakuum: 50 mTorr 9. Gaseinleitung: Zur Plasmaerzeugung können verschiedene Gase eingebracht werden, wie z. B. N2, Ar, H2, O2, Luft und Mischgase (ausgewählt nach Materialeigenschaften) zum Reinigen und Ätzen |
Produktabmessungen und -gewicht | Abmessungen: 400 mm × 300 mm × 300 mm INacht:10,2kg
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Optionales Zubehör | 1. 2"-6"Quarzschiffchen/Träger (zum Halten des Substrats) 2. 2-4-Kanal-Protonen- oder Floatgas-Mischsystem |
Garantie
Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support (ohne verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
