Plasmareiniger mit Vakuumpumpe
marke Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China
Die lieferzeit 10 Arbeitstage
Die fähigkeit, 50 Sätze
Die Plasmakammer des kleinen Plasmareinigers PCE-6 ist eine Quarzkammer mit den Abmessungen Ø160 mm × 190 mm. Die verwendete HF-Leistung beträgt 3,0 MHz (1 %) und die Ausgangsleistung ist in drei Stufen einstellbar: 7,2 W, 10,2 W und 29,6 W. Diese Maschine entfernt hauptsächlich die Oxidschicht und Verunreinigungen auf den Substraten durch Plasma aus Luft, Sauerstoff oder Argon und anderen Gasen und kann auch die Eigenschaften der Oberfläche von Objekten ändern (wie Hydrophilie und Hydrophobie usw.).
Haupteigenschaften
1. Über die Tasten und Schalter des Bedienfelds können die HF-Leistung, das Öffnen und Schließen der Vakuumpumpe sowie die Reinigungszeit gesteuert und eingestellt werden.
2. Zeit, Leistung, Vakuumgrad und andere Informationen werden auf einer Gruppe von 4 digitalen Röhren angezeigt.
3. Ausgestattet mit einem Dreiwegeventil, das den Ansaugluftstrom präzise steuern und die Kammer mit atmosphärischer Luft reinigen kann. Die Ansaugschnittstelle ist eine 6-mm-Kartenhülsenschnittstelle.
4. Zur Durchführung von Plasmaätz- und Veraschungsexperimenten wird ein HF-Stromversorgungsgerät mit hoher Leistung ausgewählt.
TTechnische Parameter
Produktname | Plasmareiniger PCE-6 Klein |
Produktmodell | PCE-6 |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Stromversorgung: AC220V 50/60Hz 2. Ausgangsleistung: 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Leistung der Vakuumpumpe: <500 W 4. Gesamtleistung: <600W 5. HF-Frequenz: 3,0 MHz, Leistung kann manuell in 3 Stufen eingestellt werden 6. Plasmakammer: hochreine Quarzkammer mit Ø160mm×190mm, abgedichtet mit Aluminium-Faltflansch mit einem Sichtfenster von Ø45mm auf dem Flansch 7. Vakuumpumpe: 120 l/min, direkt angeschlossene zweistufige Rotationsvakuumpumpe 8. Endvakuum: 50 mTorr 9. Gaseinleitung: Zur Erzeugung von Plasma können verschiedene Gase eingeleitet werden, wie z. B. N2, Ar, H2, O2, Luft und Mischgase (ausgewählt nach Materialeigenschaften) zum Reinigen und Ätzen |
Produktabmessungen und Gewicht | Abmessungen: 400 mm × 300 mm × 300 mm INacht:10,2 kg
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Optionales Zubehör | 1. 2"-6"Quarzschiffchen/-träger (zur Aufnahme des Substrats) 2. 2-4-Kanal-Protonen- oder Float-Gasmischsystem |
Garantie
Ein Jahr eingeschränkt mit lebenslangem Support (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
