Ultraschall-Schleuder-Sprühbeschichtungsanlage (300-3000 U/min, max. 12"-Wafer)

Produkteinführung:

Die Ultraschall-Spritzbeschichtungsanlage VTC-300USS vereint die Vorteile des Schleuderbeschichtens und des Ultraschallspritzens. Das Gerät wandelt Standard-Wechselstrom (50–60 Hz) in eine hochfrequente (15 kHz–100 kHz) Hochleistungsleistung um, um den Ultraschallzerstäuberkopf anzutreiben. Dieser wiederum wandelt die hochfrequente elektrische Energie in mechanische Schwingungsenergie um.

Das System ermöglicht die Herstellung dichter und gleichmäßiger Flüssigphasenbeschichtungen auf großen Substraten, darunter Niedertemperatur-Fällungsbeschichtungen (z. B. HF-/Mikrowellen-Ferritabscheidung), Polymerbeschichtungen, Pulver- und Kompositbeschichtungen sowie Beschichtungen auf strukturierten oder unregelmäßigen Substraten. Es erlaubt die präzise Steuerung der Lösungsstöchiometrie, der Zerstäubungsrate und der Tröpfchengröße. Das System kann zudem im unabhängigen Schleuder- oder Sprühmodus betrieben werden.

Das VTC-300USS-System verwendet einen Schrittmotor und eine mikroprozessorgesteuerte Volumenpumpe zur präzisen Dosierung der Beschichtungslösung, die wahlweise erwärmt oder unbeheizt sein kann. Der auf einem schwenkbaren Tragarm montierte Ultraschallzerstäuber gewährleistet eine hervorragende Beschichtungsgleichmäßigkeit. Die vom Zerstäuber ausgestoßenen Nebelpartikel werden auf dem Substrat abgeschieden und bilden die gewünschte Materialstruktur. Dies ermöglicht die Herstellung dünner Mikro- und Nanofilme.

Die Beschichtungsanlage kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll (305 mm) aufnehmen und unterstützt die Substratheizung für eine schnelle Filmtrocknung (optional).Heiz- und Backmodul).

Dieses Abscheidungsverfahren eignet sich besonders zur Herstellung von Oxidschichten und hat eine lange Tradition in der Fertigung transparenter Elektroden. Es findet heute breite Anwendung bei der Herstellung von Perowskit-Solarzellen und anderen fortschrittlichen Dünnschichtmaterialien.

HauptstraßeArbeitslosigkeit

1. Ultraschallzerstäubungsverfahren – Die Lösung wird zerstäubt und auf das Substrat gesprüht, um die gewünschte Materialstruktur zu erzeugen. Optional kann ein oberes Heiz- und Trocknungsmodul zur Verbesserung der Filmbildung eingesetzt werden. Dieses Materialpräparationsverfahren eignet sich besonders für die Oxidabscheidung und wird seit Langem in der Herstellung transparenter Elektroden angewendet. Es findet heute breite Anwendung in der Produktion von Perowskit-Solarzellen.

2. Vereint die Vorteile des Schleuder- und Sprühbeschichtens und ermöglicht so die Bildung dichter und gleichmäßiger Flüssigphasenbeschichtungen auf großen Substraten.

3. Anwendbar auf eine breite Palette von Verfahren, einschließlich Niedertemperatur-Fällung (z. B. für die HF-/Mikrowellen-Ferritabscheidung), Polymerbeschichtungen, Pulver- und Verbundbeschichtungen sowie Beschichtungen auf strukturierten oder unebenen Substraten.

4. Das System unterstützt den Betrieb im unabhängigen Schleuder- und Sprühmodus.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-300USS Ultraschall-Schleuder-Sprühgerät/Klebstoffsprühgerät
Produktmodell	VTC-300USS
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10-85%RH (bei 25℃ ohne Kondensation) Temperatur: 0-45℃. 2. Es gibt keine starke Erdbebenquelle und keine korrosiven Gase in der Umgebung der Geräte. 3. Wasser: Abwasserentsorgung 4. Stromversorgung: einphasig: Wechselstrom 220 V, 50 Hz, 10 A. 5. Gas: ① Vakuum-Unterdruck (Vakuumpumpe), Saugvolumenstrom mindestens 70 l/min                ② Druckgas (Luftkompressor) 6. Werkbank: empfohlene Größe 1500 mm × 600mm×700 mm Tragfähigkeit, 100 kg oder mehr (eine massive Betonplattform ist besser) 7. Belüftungsgerät: keine besonderen Anforderungen
Die wichtigsten Parameter	Rotierender Host 1. Stromversorgungsanschluss des Hosts: Steckdose mit Sicherung: AC 220 V, 50 Hz, 10 A 2. Host-Leistung ≤ 300 W 3. Probenhalter (Saugnapf) Vakuum-Saugnapf aus Polypropylen: φ203 mm, obere Grenze des Durchmessers des Adsorptionssubstrats: φ305 mm 4. Betriebsart: Einseitiger Betrieb gegen den Uhrzeigersinn 5. Spindeldrehzahl: 100–3000 U/min (effektiv) 6. Geschwindigkeitsstabilität: ±2 % 7. Spindelsteuerungsmodus: Stufenlose Drehzahlregelung 8. Schwingarm-Schwingwinkel: 30°-75° 9. Schwingarm-Steuerungsmodus: Stufenlose Geschwindigkeitsregelung 10. Gesamtgewicht: 65 kg 11. Geräteabmessungen: 540 mm × 720 mm × 240 mm
	Ultraschallzerstäubung 1. Ultraschall-Netzteilanschluss: Wechselstrom 220 V, 50 Hz 2. Ultraschallleistung: 200 W 3. Partikelgröße: 10–20 µm 4. Durchflussrate: 0,6 pl-4 ml/min 5. Viskosität: ≤100 cP 6. Feststoffgehalt: ≤10% 7. Viskositätsbereich der Flüssigkeit: 1-50 MPa·s (cP) 8. Empfohlener Druckluftbereich für wässrige Lösungen: ~2 psi 9. Zerstäubungsdüse: Zylindrische Spitze: engerer Sprühdurchmesser ~20 mm, 1 Stück 10. Ultraschalldüsenfrequenz: 40 kHz ± 10 %; Amplitudenleistung: 1, 2, 3 Stufen einstellbar
	Einspritzpumpensystem 1. Pumpenstromanschluss DC24V (Standard-Netzteil "Netzteil" IN: AC100-240V 50/60Hz OUT: DC24V 3,75A) 2. Pumpenleistung: ≤50 W 3. Abmessungen: 250 × 65 × 50 mm 4. Einspritzgeschwindigkeit: 0,001–20 mm/min 5. Feinjustiergeschwindigkeit: 0,001–10 mm/min 6. Spritzendurchmesser: 0,04–30 mm 7. Standard-Nadelvolumen: 20 ml 8. Hubeinstellbereich: 0,01–90 mm
	Backlampe - optional 1. Heizleistung: 2 kW 2. Stromversorgung der Heizung: Wechselstrom 220 V, 50 Hz 3. Abmessungen des Hauptgeräts: 660 mm × 410 mm × 635 mm 4. Heizmethode: Infrarot-Heizlampe: Strahlungsbacken 5. Heiztemperatur: RT-80℃

Standardzubehör:

Optionales Zubehör:

Seriennummer	Name	Funktionskategorie	Bildlink
1	Mehrkanaliges (beheizbares) Flüssigkeitszufuhrsystem, Trocknungsvorrichtung usw.	(Optional)	-
2	Heizlampen und Steuerungen Zwei Heizlampen (bis zu 1000 W, bis zu 80ºC) mit Thermoelementen und Temperaturreglern zum Erhitzen des Substrats durch Strahlung (bis zu 65ºC auf 12" Metallsubstraten)	(Optional)
3	Es wird empfohlen, den Spin-Coater in einem Abzug aufzustellen, um Gesundheits- und Sicherheitsrisiken zu begegnen.	(Optional)
4	Druckgaszerstäubungsdüsen sind mit NRTL-Zertifizierung erhältlich.	(Optional)
5	Kundenspezifische Mehrfachdüsen sind auf Anfrage erhältlich.	(Optional)

Garantie

    Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslangem Support (ausgenommen sind durch unzureichende Lagerbedingungen verursachte Rostschäden).

Logistik