20.000 U/min Ultra-Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAH eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie Oberflächenbeschichtungen. Die Probe wird mittels Vakuumadsorption fixiert, sodass sie frei entnommen und platziert werden kann. Der Motor startet schnell und stabil, wodurch die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke gewährleistet wird.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Produkteinführung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAH ist für die Oberflächenbeschichtung in Halbleiterprozessen, Kristallen, optischen Datenträgern und Lithografieanwendungen konzipiert. Als Hochleistungs-Präzisions-Spin-Coater verfügt der VTC-100PAH über ein fortschrittliches Designkonzept in Kombination mit einem präzisen Bewegungssteuerungssystem, das hochpräzise und gleichmäßige Spin-Coating-Vorgänge ermöglicht.
Die Kammer besteht aus Polypropylen und zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit, elektrische Isolierung und hohe Verschleißfestigkeit aus. Die Kammer selbst kann nicht vakuumiert werden. Stattdessen sind Vakuumspannfutter und Gasleitung während des Betriebs an eine externe Vakuumpumpe angeschlossen, die die Probe fest auf dem Substrathalter hält. Dieser Aufbau ermöglicht eine einfache Bedienung sowie einfaches Be- und Entladen der Probe, wobei das Spannfuttervakuum bis zu –0,08 MPa erreicht.
Die rotierende Spindel wird von einem bürstenlosen Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor angetrieben. Dieser zeichnet sich durch geringe Geräuschentwicklung, minimale Vibrationen, einen reibungslosen Betrieb, hohe Zuverlässigkeit, breite Anpassungsfähigkeit und einfache Wartung aus. Der Motor startet schnell und läuft nach der Beschleunigung stabil, wodurch eine gleichmäßige und gleichmäßige Beschichtungsdicke gewährleistet wird.
Dank seiner einfachen Bedienung, bequemen Reinigung und kompakten Bauweise wird der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAH häufig in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.
Hauptmerkmale:
1. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, die einfach durchzuführen ist.
2. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.
3. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.
4. Hohe Zuverlässigkeit, starke Anpassungsfähigkeit, einfache Reparatur und Wartung, geringe Geräuschentwicklung, geringe Vibration, stabiler Betrieb, schneller und stabiler Start, stabiler Betrieb nach der Beschleunigung und Gewährleistung der Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke
5. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.
6. Die Kammer besteht aus Polypropylenmaterial mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.
7. Es verfügt über die Funktionen der Vakuumerkennung und der Erkennung offener Abdeckungen und die obere Abdeckung verfügt über eine Schutzverriegelung.
8. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.
9. Chinesisch/Englisch umschaltbares Betriebssystem
10. Die Steuerschnittstelle verfügt über einen Touchscreen und die numerische Anzeige ist intuitiver und zuverlässiger.
TTechnische Parameter:
Produktname | VTC-100PAH Vakuum-Spin-Coater | |
Produktmodell | VTC-100PAH | |
1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C, nicht kondensierend); Temperatur: 0–45 °C. 2. Umgebung: Keine starken Vibrationsquellen oder korrosiven Gase in der Nähe des Geräts. 4. Stromversorgung: AC100–240 V, 50/60 Hz. 5. Luftversorgung: Vakuum-Unterdruck (Vakuumpumpe) mit einer Pumpgeschwindigkeit von mindestens 70 l/min. 6. Arbeitstisch: Empfohlene Größe 800 × 600 × 700 mm, Tragkraft ≥ 50 kg (ein massiver Betontisch wird bevorzugt). 7. Belüftung: Keine besonderen Anforderungen. | ||
Die wichtigsten Parameter | 1. Stromversorgung des Geräts: DC24V Standardadapter: IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2. Leistung: 150 W (externe Vakuumpumpe nicht im Lieferumfang enthalten) 3. Hauptkammer (Material): Polypropylen + Acryl 4.Saugnapf-Spezifikationen: 2 Zoll, 4 Zoll 5. Betriebsprogramm: enthält 16 Betriebsstufen 6. Drehzahlbereich: Einstellung: 1500–20000 U/min (inkrementelle Erhöhung: 100 U/min als Einheit) 7. Einstellbereich für die Erhöhungsrate jedes Abschnitts: 100 U/min – 6000 U/min. 8. Verzögerungs- und Parkgeschwindigkeitsbereich: 100 U/min – 3000 U/min. 9. Zeitbereich: 1–99 s (eingestellter Geschwindigkeitsbereich: 1500–10000 U/min) 1–60 s (eingestellter Drehzahlbereich: größer als 10.000 – 20.000 U/min) 10. Vakuumschnittstelle: Schnellanschluss, verbunden mit φ8 PU-Rohr. 11. Bedienoberfläche: 7-Zoll-Touchscreen | |
Produktabmessungen und Gewicht | 12. Produktspezifikationen · Abmessungen: 250 mm × 340 mm × 320 mm · Gewicht: 12kg |
|
Standardzubehör:
| NEIN. | Name | Menge | Bild |
| 1 | Vakuumspannfutter (inkl. O-Ring) (2 Zoll und 4 Zoll) | 2 Stck. |  |
| 2 | Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml) | 1 Stck. |  |
| 3 | Öllose Vakuumpumpe | 1 Stck. |  |
| 4 | Adapter 24V/15A | 1 Stck. |  |
Optionales Zubehör:
| NEIN. | Name | Funktionstyp | Bild |
| 1 | Vakuumspannfutter anderer Spezifikationen | (optional) |  |
| 2 | Pipette (hergestellt in China) | (optional) |  |
| 3 | Pipette (importiert) | (optional) |  |
Garantie:
Ein Jahr eingeschränkter Support mit lebenslanger Garantie (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik:
