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Vakuumierbarer und atmosphärisch gesteuerter Spin Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200PV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Kammer des Vakuum-Spin-Coaters VTC-200PV kann vakuumiert werden, um die Probe unter vollständigen Vakuumbedingungen zu beschichten, was für Filmmaterialien geeignet ist, die an der Luft leicht oxidieren und sich zersetzen. Eine Klammer wird verwendet, um die Probe zu fixieren, wenn die Kammer vakuumiert wird. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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10000 U/min Ultra-Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAX ist eine leistungsstarke, präzise Maschine zum Nivellierverfahren von Klebstoffen. Er verwendet ein fortschrittliches Designkonzept und arbeitet mit einem präzisen Bewegungssteuerungssystem zusammen, um einen hochpräzisen und gleichmäßigen Klebstoffauftrag zu gewährleisten. Es können 6 Programmgruppen gespeichert werden, wobei jedes Programm 9 Schritte umfassen kann. Alle Betriebsparameter wie Geschwindigkeit, Beschleunigung, Rotationszeit usw. können einfach am Gerät eingestellt werden.
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20000 U/min Ultra-Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAH eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Probe wird mittels Vakuumadsorption fixiert, sodass die Proben frei entnommen und platziert werden können. Der Motor startet schnell und stabil, wodurch die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sichergestellt werden kann.
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Vakuumloser Desktop-Spin-Coater zur Verwendung in Handschuhboxen
Der VTC-50A-DC Spin Coater verwendet unabhängige Stromversorgungssysteme für Motorteil und Steuerteil, und das Geschwindigkeitskontrollsystem verwendet einen Single-Chip-Mikrocomputer mit hoher Entstörungsfestigkeit zur Steuerung, sodass die Rotationsgeschwindigkeit im Bereich von 1000-8000 U/min sehr hoch und stabil ist. Der Coater hat während des Betriebs zwei Stufen, nämlich Stufe T1 bei niedriger Geschwindigkeit und Stufe T2 bei hoher Geschwindigkeit.
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und max. 5 Zoll) Verwendung in Handschuhbox
Der Vakuum-Spincoater VTC-100PA-DC ist standardmäßig mit 3 Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet. Je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spincoater VTC-100-DC die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Steuerung der Geschwindigkeit.
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Spin-Spray-Coater (2000 U/min und max. 6 Zoll) mit Heizabdeckung
Der Infrarot-Heiz-Sprüh-Spin-Coater (Klebstoffnivellierer, Entwickler, Klebeschleuder, Spin-Coater) VTC-200-4P mit Heizfunktion der oberen Abdeckung wird hauptsächlich für die Entwicklung von Grafiken und Oberflächenbeschichtungen in der Halbleiter- und Plattenherstellungstechnologie verwendet. Nach dem Klebenivellierungs- oder Entwicklungsprozess verdampft das Lösungsmittel im Kolloidfilm auf den niedrigsten Gehalt. Während des Arbeitsprozesses wird die Entwicklungsflüssigkeit oder das Kolloid in Form von Nebel auf die Probe gesprüht, sodass die Lösung gleichmäßig auf der Probenoberfläche verteilt wird, was der reibungslosen Leistung des Films und des Entwicklungsprozesses förderlich ist.
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Korrosionsschutz-Spin-Coater (6.000 U/min und max. 6-Zoll-Wafer) -
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200P eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern und jeder Satz enthält 6 Laufstufen. Die obere Abdeckung der Kammer kann die Probe erhitzen (optionale Funktion), was für den Beschichtungsprozess von Dünnschichtmaterialien mit hoher Viskosität von Vorteil ist.
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