Plasma-Drei-Ziel-Sputtergerät
1. Der Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Coater ist mit einem Vakuummeter und einem Sputterstrommeter ausgestattet, die den Betrieb des Geräts jederzeit überwachen können, um einen stabilen und zuverlässigen Beschichtungseffekt zu erzielen.
2. Der Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Beschichter kann den Vakuumkammerdruck und den Ionisierungsstrom einstellen und das geeignete Ionisierungsgas über den Sputterstromregler und das Mikrovakuum-Luftventil auswählen, um den Beschichtungseffekt zu optimieren.
3. Die speziell entwickelte Gummidichtung am Rand der Glasglocke verhindert, dass die Glasglocke auch bei längerem Gebrauch reißt, und verbessert so die Haltbarkeit des Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Coaters.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Liaoning
- 10 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Einführung eines Sputtercoaters mit drei Targets:
Der Drei-Target-Sputtercoater GSL-1100X-SPC-16-3 ist eine einfache, zuverlässige und wirtschaftliche Beschichtungsanlage, die auf dem Prinzip des Dioden-Gleichstrom-Sputterns basiert (DC-Dioden-Sputterbeschichtung bezeichnet den Prozess, bei dem der durch Partikelbeschuss des Targetmaterials in einer Vakuumumgebung erzeugte Sputtereffekt genutzt wird, um Atome oder Moleküle des Targetmaterials von der festen Oberfläche abzustoßen und auf dem Substrat abzulagern, wo sie einen dünnen Film bilden. Es handelt sich um eine Art Technologie zur Herstellung von Dünnschichten durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).). Das Besondere an dem Drei-Target-Sputtercoater ist, dass drei Targets in einer Vakuumkammer installiert sind und der rotierende Probentisch nacheinander drei Materialien auf dieselbe Probe auftragen kann. Daher eignet er sich für die Herstellung verschiedener Verbundfilmproben im Labor und die Herstellung experimenteller Elektroden für Nichtleitermaterialien. Der Drei-Target-Sputtercoater ist klein, spart Laborplatz, ist einfach zu bedienen und eignet sich besonders für den Laboreinsatz.
Vorteile des Plasma-Sputter-Beschichters mit drei Targetköpfen:
1. Der Plasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielköpfen verwendet keramikversiegelte Hochspannungselektrodenverbindungen, die im Vergleich zu herkömmlichen Gummidichtungen langlebiger sind und die Wartungskosten senken.
2. Der Plasma-Sputter-Beschichter mit drei Targetköpfen verwendet eine Sputter-Vakuumkammer mit großer Kapazität und ein Sputter-Target mit entsprechender Fläche, wodurch die Gleichmäßigkeit und Reinheit der Beschichtung verbessert werden kann.
3. Der Plasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielköpfen hat die CE-Zertifizierung bestanden und erfüllt die Sicherheitsstandards.
Technische Parameter des Drei-Target-Plasma-Sputter-Beschichters:
| Produktname | GSL-1100X-SPC-16-3 Plasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielköpfen |
| Produktmodell | GSL-1100X-SPC-16-3 |
| Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss in einer Höhe von weniger als 1000 m, bei einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % RH ± 10 % RH verwendet werden. 1. Wasser: Nicht erforderlich. 2. Strom: AC 220 V, 50 Hz, muss gut geerdet sein. 3. Gas: Die Gerätekammer muss mit Argon (Reinheit über 99,99 %) gefüllt werden, und Sie müssen Ihre eigene Argongasflasche (mit einem Druckminderventil) vorbereiten. 4. Werkbank: Größe 600 mm × 600 mm × 700 mm, Tragfähigkeit über 50 kg. 5. Belüftungsgerät: Nicht erforderlich. |
| Hauptparameter | 1. Zieldurchmesser: Ø45mm. 2. Vakuumkammer: Ø160mm×120mm. 3. Vakuumgrad: ≤4×10-2mbar. 4. Zielposition: 3. 5. Maximaler Strom: 50 mA. 6. Einstellbare Grenzzeit: 900 s. 7. Mikro-Vakuum-Luftventil: verbunden mit Ø3mm-Schlauch. 8. Grenzspannung: 1600 V DC. 9. Mechanische Pumpe: 2 l/s. |
Standardzubehör des Drei-Target-Plasma-Sputter-Beschichters:
| NEIN. | Name | Menge | Bild |
| 1 | Gold-Sputtertarget | 1 Stück | -- |
| 2 | Kupfer-Sputtertarget | 1 Stück | -- |
| 3 | Aluminium-Sputtertarget | 1 Stück | -- |
| 4 | Zubehör für die thermische Verdampfung | 1 Stück | -- |
| 5 | Sicherung | 2 Stück | -- |
Optionales Zubehör für den Sputtercoater mit drei Targets:
| NEIN. | Name | Funktion | Bild |
| 1 | Verschiedene Sputtertargets wie Gold, Indium, Silber, Platin usw. | (Optional) | -- |
Über uns:
Kundenzufriedenheit ist unser unermüdliches Ziel. Wir halten stets an unserem kundenorientierten Servicekonzept fest und bieten umfassenden technischen Support und Kundendienst. Ob Produktauswahlvorschläge, Bedienerschulungen, Fehlerdiagnose oder Wartungsservices – unser Serviceteam kann umgehend auf Kundenbedürfnisse reagieren.
