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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 200ºC Heizabdeckung
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 200ºC Heizabdeckung

Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater mit 200ºC Heizabdeckung

Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-II eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie für die Oberflächenbeschichtung. Er kann für stark saure und stark alkalische Beschichtungslösungen verwendet werden. Das Gerät ist standardmäßig mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet, die je nach Probengröße angepasst werden. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, wobei jeder Satz sechs Betriebsphasen umfasst.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 10 Arbeitstage
Die fähigkeit,: 50 Sätze

Information

Produkteinführung

Der beheizte Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-II ist für die Oberflächenbeschichtung von Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern, der Fotolithografie und verwandten Anwendungen konzipiert. Er ermöglicht die Herstellung von Beschichtungen mit stark sauren und alkalischen Lösungen.

Das System ist mit zwei Vakuumspannfuttern unterschiedlicher Größe ausgestattet, sodass der Benutzer je nach Probenabmessungen das passende Spannfutter auswählen kann. Während des Betriebs wird die Probe durch Vakuumsaugen sicher auf dem Halter fixiert. Der Coater unterstützt bis zu 12 programmierbare Rezepte, wobei jedes Rezept sechs aufeinanderfolgende Stufen umfasst. In jeder Stufe kann die Schleudergeschwindigkeit unabhängig eingestellt werden, sodass das System schrittweise auf die Höchstgeschwindigkeit beschleunigt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dünnschichtbildung auf der Probenoberfläche, minimiert den Materialabfall und verbessert die Effizienz.

Der beheizte Vakuum-Spin-Coater VTC-100PA-II zeichnet sich durch eine benutzerfreundliche Bedienung, einfache Reinigung und ein kompaktes Design aus und ist daher die ideale Wahl für Labore an Universitäten und Forschungsinstituten, die sich mit der Herstellung dünner Filme beschäftigen.

Hauptmerkmale

1. Die Fixierung der Probe erfolgt mittels Vakuumadsorption, die einfach durchzuführen ist.

2. Der Vakuumgrad kann -0,08 MPa erreichen.

3. Proben können mithilfe des Positionierungswerkzeugs einfach zentriert werden, um Vibrationen oder Herausfliegen durch Fehlausrichtung zu reduzieren.

4. Je nach Probenspezifikation können unterschiedliche Spannfutter verwendet werden, und der Austausch ist bequem und einfach.

5. Es wird ein bürstenloser 24-V-Gleichstrommotor verwendet, der die Vorteile hoher Zuverlässigkeit, starker Anpassungsfähigkeit, einfacher Reparatur und Wartung, geringer Geräuschentwicklung und geringer Vibration, stabilen Betrieb, schnellen und stabilen Start sowie stabilen Betrieb nach der Beschleunigung bietet, um die Konsistenz und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsdicke sicherzustellen.

6. Die ölfreie Parallelstangen-Vakuumpumpe hat die Vorteile einer geringen Größe, einer einfachen Struktur, einer einfachen Bedienung, einer bequemen Wartung und keiner Umweltverschmutzung.

7. Die Kammer besteht aus Polypropylenmaterial mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

8. Die Beschichtung kann in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar, N₂).

9. Englisches Betriebssystem

10. Es verfügt über die Funktion eines offenen Abdeckungsschutzes. Wenn die obere Abdeckung während des Beschichtungsprozesses oder am Ende der Beschichtung geöffnet wird, bremst die Maschine sofort schnell ab, bis sie stoppt.

11. Die Steuerschnittstelle verfügt über einen Touchscreen und ein Einplatinencomputer-Steuersystem, und die numerische Anzeige ist intuitiver und zuverlässiger.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-100PA-II Vakuum-Spin-Coater mit Heizfunktion
Produktmodell	VTC-100PA-II
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C, nicht kondensierend); Betriebstemperatur: 0–45 °C. 2. Umgebung: Frei von starken Vibrationsquellen und korrosiven Gasen. 3. Wasserversorgung: Ausgestattet mit einem Abwasserauslass. 4. Stromversorgung: Einphasig AC 220 V, 50 Hz, 10 A. 5. Gasversorgung: Vakuumunterdruck (Vakuumpumpe) mit einer Pumpgeschwindigkeit ≥70 l/min. Das System kann auch mit Schutzinertgasen wie Ar oder N₂ gespült werden. 6. Werkbank: Empfohlene Größe 800 mm × 600 mm × 700 mm, mit einer Tragfähigkeit von ≥ 50 kg (vorzugsweise eine Werkbank aus massivem Zement). 7. Belüftung: Keine besonderen Anforderungen.
Hauptparameter (Spezifikation)	1. Stromversorgungsschnittstelle: Hauptgerät: AC220V 50Hz 10A; Heizung: AC220V 50Hz 10A 2. Gesamtleistung: ≤1150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungskammer (Material): PTFE 4. Probenhalter (Vakuum-Spannfutter): PTFE-Spannfutter Φ19 mm und Φ60 mm, jeweils eines 5. Betriebsmodus: Bis zu 12 speicherbare Programme; jedes Programm enthält 6 Betriebsstufen 6. Schleuderdrehzahl: 500 U/min – 10.000 U/min (effektiv) 7. Beschleunigungs-/Verzögerungsrate: Einstellbarer Bereich pro Stufe: 100 U/min – 2000 U/min 8. Schleuderzeit: Einstellbereich pro Stufe: 0 – 60 s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuerungssystem: PCB-Mikrocontroller, Tastatursteuerung, LMC-LCD-Display 11. Heizmethode: Kohlefaser-Heizrohr mit unabhängigem Temperaturkontrollsystem, nicht mit der Hauptgerätesteuerung verbunden 12. Heiztemperatur: Raumtemperatur – 200℃ 13. Heizleistung: AC220V 1000W 14. Genauigkeit der Temperaturregelung: ±2℃
	15. Produktspezifikationen: · Abmessungen: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Gewicht: 20 kg

SStandardzubehör

NEIN.	Name	Menge	Bild
1	Vakuumspannfutter (inkl. O-Ring) (Ø19 mm UndØ60 mm)	2 Stck.
2	Zentraler Positionierer/Positionierer (einschließlich 4 Positionierungsbolzen)	1 Stck.
3	Epoxid-Injektor/Spritze (20 ml)	1 Stck.
4	Injektor-/Spritzenhalterung	1 Stck.	-
5	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Stck.
6	Gummirohr (inkl. Klemme)	1 Stck.	-