10.000 U/min Ultra-Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAX ist eine leistungsstarke Präzisions-Kleber-Nivelliermaschine. Er verfügt über ein fortschrittliches Designkonzept und arbeitet mit einem präzisen Bewegungssteuerungssystem für hochpräzisen und gleichmäßigen Klebstoffauftrag. Sechs Programmgruppen mit jeweils neun Schritten können gespeichert werden. Alle Betriebsparameter wie Geschwindigkeit, Beschleunigung, Rotationszeit usw. lassen sich einfach am Gerät einstellen.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Produkteinführung
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAX ist für die Oberflächenbeschichtung in Halbleiterprozessen, Kristallen, optischen Datenträgern, der Lithografie und verwandten Anwendungen konzipiert. Als Hochleistungs-Präzisions-Spin-Coater vereint der VTC-100PAX ein fortschrittliches Designkonzept mit einem präzisen Bewegungssteuerungssystem und ermöglicht so hochpräzise und gleichmäßige Beschichtungsvorgänge.
Das System kann sechs Programme mit jeweils neun aufeinanderfolgenden Stufen speichern. Die Parameter jeder Stufe können unabhängig voneinander eingestellt werden, sodass der Beschichter schrittweise auf seine Höchstgeschwindigkeit beschleunigt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dünnschichtbildung auf der Probenoberfläche bei minimalem Materialverlust.
Die Kammer besteht aus Polypropylen und zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit, elektrische Isolierung und hohe Verschleißfestigkeit aus. Die Kammer selbst kann nicht evakuiert werden; während des Betriebs wird die Probe über einen Vakuumspanner, der über die Gasleitung der Rotorwelle mit einer externen Vakuumpumpe verbunden ist, fest auf dem Substrathalter gehalten. Dieser Aufbau ermöglicht eine einfache Bedienung und bequemes Be- und Entladen der Probe, wobei das Vakuum des Spanners bis zu –0,08 MPa erreicht.
Die rotierende Spindel wird von einem bürstenlosen Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor angetrieben. Dieser zeichnet sich durch geringe Geräuschentwicklung, minimale Vibrationen, einen reibungslosen Betrieb, hohe Zuverlässigkeit, hohe Anpassungsfähigkeit und einfache Wartung aus. Der Motor startet schnell und läuft nach der Beschleunigung stabil, wodurch eine gleichmäßige und gleichmäßige Beschichtungsdicke gewährleistet wird.
Mit Vorteilen wie einfacher Bedienung, einfacher Reinigung und kompaktem Design wird der Vakuum-Spin-Coater VTC-100PAX häufig in Laboren von Universitäten und Forschungsinstituten zur Dünnschichtherstellung eingesetzt.
TICHtechnische Parameter
Produktname | VTC-100PAX Vakuum-Spin-Coater | |
Produktmodell | VTC-100PAX | |
Installationsbedingungen | 1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation). Temperatur: 0–45 °C. 2. In der Umgebung des Geräts gibt es keine starken Vibrationsquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abwasseranschluss ausgestattet 4. Strom: Einphasig: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: Vakuum-Unterdruck (Vakuumpumpe): 0,06–0,09 MPa 6. Werkbank: 800 mm × 600mm×700 mm, empfohlenes Traggewicht von mehr als 50 kg (feste Zementplattform ist besser) 7. Lüftungsgerät: keine besonderen Anforderungen | |
| Die wichtigsten Parameter | 1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220V 50Hz, Versicherungsröhrenspezifikation ist 10A, φ5×20mm 2. Gesamtleistung: ≤150 W (ohne externe Vakuumpumpe) 3. Beschichtungsaufnahmehohlraum (Material): Polypropylen 4. Probenschale (Saugnapf): Polypropylen-Vakuum-Saugnapf: jeweils 1 Zoll (gilt für φ25-Proben), 3 Zoll (gilt für φ76-Proben) 5. Betriebsmodus: Es können 6 Programmsätze gespeichert werden, jeder Programmsatz enthält 9 Betriebsstufen 6. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500-10000 U/min effektiv 7. Beschleunigungs- und Verzögerungsrate: Jeder Abschnitt des Einstellbereichs für die Erhöhung und Verringerung der Geschwindigkeit: 100-2000 U/min 8. Beschichtungszeit: Jeder Abschnitt Zeitbereich: 0-999s 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1% 10. Steuermodus: PCB-Einzelchip-Mikrocomputer-Tastensteuerung LMC-LCD-Display | |
Produktabmessungen und -gewicht | 11. Produktspezifikationen · Abmessungen: 270 mm (Breite) × 430 mm (Tiefe) × 400 mm (Höhe) · Gewicht: 12kg |
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Garantie
Ein Jahr eingeschränkter Support mit lebenslanger Garantie (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
