Plasma-Drei-Ziel-Sputtergerät

1. Der Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Beschichter ist mit einem Vakuummeter und einem Sputterstrommeter ausgestattet, mit denen der Betrieb des Geräts jederzeit überwacht werden kann, um eine stabile und zuverlässige Beschichtungswirkung zu erzielen. 2. Der Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Beschichter kann den Vakuumkammerdruck und den Ionisierungsstrom einstellen und über den Sputterstromregler und das Mikrovakuum-Luftventil das geeignete Ionisierungsgas auswählen, um den Beschichtungseffekt zu optimieren. 3. Die speziell entwickelte Gummidichtung am Rand der Glasglocke verhindert, dass die Glasglocke auch bei längerem Gebrauch reißt, und verbessert so die Haltbarkeit des Drei-Ziel-Plasma-Sputter-Beschichters.