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Plasma-Sputter-Beschichter mit 3 Sputterquellen und Handschuhbox
Das VGB-600-3HD-System zur Vorbereitung von Dünnschichtbatterien kann experimentelle Vorgänge in einer Handschuhbox durchführen und wird zur Vorbereitung von ein- oder mehrschichtigen ferroelektrischen Filmen, leitfähigen Filmen, Legierungsfilmen, Halbleiterfilmen, Keramikfilmen, dielektrischen Filmen, optischen Filmen, Oxidfilmen, Hartfilmen, PTFE-Filmen usw. verwendet. Das System ist mit drei Zielpistolen und einer HF-Stromversorgung für die Sputterbeschichtung verschiedener Zielmaterialien ausgestattet. Die HF-Stromversorgung kann über einen Transferschalter an jeden Zielkopf angeschlossen werden.
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