Kontinuierliches Mehrkammer-Verdampfungsbeschichtungssystem
1. Unsere Vakuumverdampfungsanlage ermöglicht die kontinuierliche Probenzufuhr und eignet sich daher hervorragend für professionelle Experimente oder Projekte.
2. Unsere Vakuumverdampfungs-Beschichtungsanlage ist vollautomatisiert, wodurch Personal- und Schulungskosten gespart werden.
3. Die Vakuumverdampfungs-Beschichtungsanlage ist mit vier Arbeitszonen ausgestattet, was den Projektfortschritt beschleunigt und eine separate Erwärmung ermöglicht.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Werktage
- 50 Sets
- Information
Einführung der Verdampfungs-Vakuum-Beschichtungsanlage:
Die kontinuierliche Verdampfungsbeschichtungsanlage GSL-1800X-ZF-AM ist ein professionelles Hochvakuum-Gerät für die kontinuierliche Probeninjektion. Sie verfügt über eine Mehrkammerstruktur mit einer Transferkammer und einer Verdampfungskammer, die einen kontinuierlichen Probentransfer und automatisierte Beschichtungsvorgänge in einer stabilen Vakuumumgebung ermöglicht. Der Substrathalter bewegt sich zwischen den beiden Kammern hin und her und wird dabei von einem frequenzmodulierten Motor vollautomatisch synchron angetrieben. Position und Geschwindigkeit der Hin- und Herbewegung sind einstellbar. Die Anlage verfügt über eine Zweikammer-Positionierung und eine Nullpunkt-Rückstellungsfunktion, was die Effizienz der Experimente und die Reproduzierbarkeit der Beschichtung deutlich verbessert.
Die kontinuierliche Verdampfungsbeschichtungsanlage eignet sich besonders für die Verdampfungsbeschichtung sauerstoffempfindlicher Metalle (wie Ti, Al, Au usw.) und niedermolekularer organischer Materialien. Das thermische Verdampfungs-Vakuumbeschichtungssystem ist mit vier unabhängig voneinander steuerbaren Verdampfungsheizschiffchen ausgestattet, die jeweils einen unabhängigen Verdampfungsprozess durchführen können. Eine drehbare Leitblechstruktur über jedem Heizschiffchen schirmt die anderen Schiffe im Einzelbetrieb wirksam ab, verhindert so eine Kreuzkontamination des verdampften Materials und gewährleistet die Reinheit des Films.
Durch Anpassung einiger Konfigurationen kann das Vakuum-Beschichtungssystem mittels thermischer Verdampfung auch verschiedene organische Materialien beschichten und eignet sich daher ideal für die Forschung an fortschrittlichen Materialien wie OLED-Leuchtdioden und organischen Photovoltaikzellen (OPV). Fünf wassergekühlte Elektroden am Boden der Kammer schützen die Elektroden während der Hochtemperaturverdampfung kontinuierlich, um thermische Schmelzschäden zu verhindern und die Langlebigkeit und Stabilität des Systems zu verbessern.
Das thermische Verdampfungs-Vakuumbeschichtungssystem GSL-1800X-ZF-AM verfügt über eine hochzuverlässige Metallvakuumkammer und erreicht ein maximales Systemvakuum von 5,0 × 10⁻⁷ Torr. Der Probentisch kann Proben von Raumtemperatur bis 500 °C erhitzen und bietet so eine stabile und kontrollierbare thermische Umgebung für die hochwertige Dünnschichtabscheidung. Dank seiner hohen Vakuumleistung, der flexiblen Prozessgestaltung und der hervorragenden Kosteneffizienz ist das thermische Verdampfungs-Vakuumbeschichtungssystem die ideale Wahl für Forschungseinrichtungen und Labore, die im Bereich der Hochvakuum-Verdampfungsbeschichtung forschen.
Vorteile der Verdampfungs-Vakuum-Beschichtungsanlage:
• Mehrkammerkonstruktion der kontinuierlichen Verdampfungsbeschichtungsanlage: Bestehend aus einer Transferkammer und einer Verdampfungsbeschichtungskammer, ermöglicht dies eine schnelle und kontinuierliche Verdampfungsbeschichtung der Probe.
• Zentrale Steuerung des Vakuumsystems: Die Vakuumeinheit ist zur einfachen Bedienung in einen integrierten Steuerkasten integriert.
• Unabhängige Verdampfungsstromregelung: Ermöglicht die präzise Einstellung der Verdampfungsrate.
· Die Kammer ist ausgestattet mit einem KF40 Bypassventil (direkt mit der Vorpumpe verbunden, um die Pumpleistung zu verbessern), einem CF150 Absperrventil (direkt mit der Molekularpumpe verbunden), einem KF16 Flansch (zur Montage eines Widerstandsmessgeräts) und sechs CF35 Flanschen (einer für ein Ionisationsmessgerät, einer für eine 2-Pin-Elektrode, einer für ein Schichtdickenmessgerät und drei Ersatzschnittstellen).
· Hocheffizientes Wasserkühlsystem: Fünf wassergekühlte Elektroden befinden sich am Boden der Kammer und unterstützen gleichzeitig vier Heizkammern für die Dampfabscheidung.
· Die Probenbühne der Vakuumverdampfungs-Beschichtungsanlage ist zur einfachen Installation und Bedienung oben montiert.
· Optionales hochauflösendes Schichtdickenmessgerät: Messgenauigkeit der Aluminiumschichtdicke bis zu 0,1 Å.
· Die Vakuumverdampfungs-Beschichtungsanlage kann mit einem Umlaufwasserkühler ausgestattet werden, um eine langfristige Betriebsstabilität zu gewährleisten.
Technische Parameter der Vakuumverdampfungs-Beschichtungsanlage:
| Produktname | GSL-1800X-ZF-AM Kontinuierliche Verdampfungsbeschichtungsanlage |
| Produktmodell | GSL-1800X-ZF-AM |
Installationsanforderungen des Vakuumbeschichtungssystems | 1Dieses Vakuumbeschichtungssystem mit thermischer Verdampfung eignet sich für den Einsatz in Umgebungen mit einer Temperatur von 25℃±15℃ und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 55%RH±10%. 2. Wasserversorgung: Das Vakuum-Beschichtungssystem mit thermischer Verdampfung ist mit einem selbstzirkulierenden Kühlwassersystem ausgestattet, das die Zugabe von gereinigtem oder deionisiertem Wasser erfordert. 3. Stromversorgung der Vakuumbeschichtungsanlage: Einphasiger Wechselstrom 220 V, 50 Hz, zuverlässige Erdung erforderlich. 4. Werkbank für die Vakuumbeschichtungsanlage: Freistehend, empfohlene Stellfläche von mindestens 2 Quadratmetern, um einen stabilen Stand des Geräts zu gewährleisten. 5. Belüftung: Erfordert gute Belüftungs- oder Abluftsysteme, um die Betriebssicherheit und eine effektive Wärmeabfuhr zu gewährleisten. |
| Parameter des Vakuumbeschichtungssystems | 1. Stromversorgung: Einphasiger Wechselstrom 220 V, 50/60 Hz, pLeistung <2,16 kW (ohne Vakuumpumpe). 2. Verdampfungsausgang: Spannung AC 0–8V stufenlos einstellbar, maximaler Verdampfungsstrom 200A, maximale Verdampfungsleistung <1,6kW. 3. Vakuumkammer: Innendurchmesser Ø300mm × Höhe 360mm, Edelstahl, Innenwand elektropoliert. 4. Sichtfenster: Ø100 mm, mit einem speziellen Dichtungsring zur Gewährleistung der Luftdichtheit. 5. Vakuumpumpe: Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe, Förderleistung 600 l/s. 6. Arbeitsvakuum: 8,0×10⁻⁴Pa. 7. Ultimatives Vakuum: 8,0×10⁻⁵Pa. 8. Leckrate: 6,7×10⁻⁸Pa·L/s. 9. Probentisch: Durchmesser φ120mm. 10. Abstand zwischen Verdampfungsschiffchen und Probenbühne: Einstellbar 140–200 mm. 11. Kühlwasserbedarf: 15 l/min. 12. Heiztemperatur der Probenstufe: Raumtemperatur ～500℃, unterstützt automatische Temperaturregelung und Temperaturmessung. |
| Einhaltung | CE-Zertifizierung, UL- oder CSA-Zertifizierung sind gegen Aufpreis erhältlich. |
Über uns:
Als Unternehmen mit Fokus auf den Markt der wissenschaftlichen Forschung stammen unsere Kunden hauptsächlich aus Hochschulen, Universitäten, Forschungseinrichtungen und Laboren. Wir engagieren uns für die Gesellschaft durch innovative Technologien, stellen unsere Kunden in den Mittelpunkt und bieten professionelle und effiziente Dienstleistungen für die wissenschaftliche Forschung. Unser Ziel ist es, ein führender Anbieter von wissenschaftlichen Forschungsinstrumenten zu werden, der vertrauenswürdig, angesehen und international wettbewerbsfähig ist.
