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Vakuumfutter
1.Die rotierende Vakuumspannvorrichtung ist eine Präzisions Vakuumausrüstung zum Fixieren von dünnen Blechproben. 2.Durch Löcher auf dem rotierenden Vakuumspannfutter, wird Luft im inneren einem umschlossenen Raum abgesaugt oder verdünnt. 3.Die Druckdifferenz drückt die Probe und den Wafer Vakuumspanner fest zusammen, um die Probe zu adsorbieren und zu fixieren.
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