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Spin Coater (8.000 U/min, max. 4 Zoll Wafer) mit 3 Vakuumspannfuttern
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-100 ist mit 3 Vakuumspannfuttern (Standard) unterschiedlicher Größe ausgestattet, und je nach Probengröße können unterschiedliche Vakuumspannfutter verwendet werden. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spin-Coater VTC-100 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
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Programmierbarer Vakuum-Chuck-Spin-Coater (500–6000 U/min, max. 20,3 cm)
Der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 bietet die Vorteile einer einfachen Bedienung, einer bequemen Reinigung und einer geringen Größe. Es wird hauptsächlich im Filmzüchtungsprozess in Labors von Hochschulen und Universitäten sowie wissenschaftlichen Forschungsinstituten eingesetzt. Während des Betriebs verwendet der Vakuum-Spin-Coater VTC-200 die Vakuumplattenadsorptionsmethode, um die Probe auf der Probenplatte zu fixieren. Das Gerät verwendet ein zweistufiges Programm zur Geschwindigkeitsregelung.
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Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und max. 5 Zoll) mit UV-Abdeckung
Der UV-Spin Coater VTC-100PA-UV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die obere Abdeckung nimmt eine UV-Lichtquelle auf und eignet sich besonders für Materialien, die gegenüber UV-Licht empfindlich sind und sich schnell verfestigen können beschichtete Folie. Darüber hinaus verfügt die UV-Lampe auch über eine Polymerisationsfunktion, die das Monomer zu einem Polymerfilm polymerisieren kann.
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Vakuumierbarer und atmosphärengesteuerter Spin Coater
Der Vakuum-Schleuderbeschichter VTC-200PV eignet sich für Halbleiterprozesse, Kristalle, optische Datenträger, Plattenherstellung und Oberflächenbeschichtung usw. Die Kammer des Vakuum-Schleuderbeschichters VTC-200PV kann vakuumiert werden, um die Probe unter vollständig vakuumierten Bedingungen zu beschichten, was für geeignet ist Filmmaterialien, die an der Luft leicht oxidieren und sich zersetzen. Beim Vakuumieren der Kammer wird die Probe mit einer Klemme fixiert. Das Gerät kann 12 Programmsätze speichern, und jeder Satz enthält 6 Laufstufen.
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