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Sphärisches gepulstes Laserabscheidungssystem
Bei diesem System handelt es sich um ein Forschungs- und Entwicklungsgerät für sphärische gepulste Laserabscheidungssysteme (PLD). Die gepulste Laserabscheidungstechnologie wird häufig eingesetzt und kann zur Herstellung dünner Filme aus verschiedenen Substanzen wie Metallen, Halbleitern, Oxiden, Nitriden, Carbiden, Boriden, Siliziden, Sulfiden und Fluoriden verwendet werden. Sie wird sogar zur Herstellung einiger schwer zu synthetisierender Materialfilme wie Diamant- und kubischer Nitridfilme verwendet.
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