Hochvakuum-Dünnschicht-Herstellungsausrüstung
1. Das Instrument zur Dünnschichtvorbereitung wurde mit der Technologie von Shenyang Kejing entwickelt und ist langlebig und stabil.
2. Die firmeneigene Fabrik produziert und testet Geräte zur Dünnschichtvorbereitung, um Qualität und Beschichtungsniveau sicherzustellen.
3. Wir bieten einen Rundum-Service, damit Sie ihn vertrauensvoll nutzen und die Rolle des Instruments zur Dünnschichtvorbereitung optimal nutzen können.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 Arbeitstage
- 50 Sätze
- Information
Einführung eines Vakuumbeschichtungsgeräts für die Forschung:
Das Magnetron-Sputter-Beschichtungsgerät VTC-600GD ist ein neu entwickeltes Beschichtungsgerät zur Herstellung von ein- und mehrschichtigen ferroelektrischen Dünnschichten, leitfähigen Dünnschichten, Legierungs-Dünnschichten, Halbleiter-Dünnschichten, keramischen Dünnschichten, dielektrischen Dünnschichten, optischen Dünnschichten, Oxid-Dünnschichten, Hartstoff-Dünnschichten, Polytetrafluorethylen-Dünnschichten usw. Das Magnetron-Sputter-Beschichtungsgerät VTC-600GD kann mit bis zu vier Target-Kanonen ausgestattet werden und verfügt über eine HF-Stromversorgung zum Sputtern nichtleitender Targetmaterialien und eine Gleichstromversorgung zum Sputtern leitfähiger Materialien. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist das Magnetron-Sputter-Beschichtungsgerät nicht nur weit verbreitet, sondern auch kompakt und einfach zu bedienen. Es ist das ideale Gerät zur Herstellung von Materialfilmen im Labor und eignet sich besonders für die Laborforschung zu Festelektrolyten und OLEDs.
Hauptmerkmale des Vakuumbeschichtungsgeräts für die Forschung:
1. Bis zu vier Zielpistolen können ausgewählt werden. Die passende HF-Stromversorgung wird zum Sputtern der Beschichtung nichtleitender Zielmaterialien verwendet, und die passende Gleichstromversorgung wird zum Sputtern der Beschichtung leitender Materialien verwendet (die Zielpistolen können je nach Kundenbedarf nach Belieben ausgetauscht werden).
2. Es kann eine Vielzahl von dünnen Filmen herstellen und hat ein breites Anwendungsspektrum.
3. Das Vakuumbeschichtungsgerät für die Forschung ist klein und einfach zu bedienen.
4. Das Dünnschichtvorbereitungsgerät weist einen modularen Aufbau der gesamten Maschine auf, und die Vakuumkammer, die Vakuumpumpengruppe und die Steuerstromversorgung sind geteilte Designs, die entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen der Benutzer angepasst werden können.
5. Das Dünnschichtvorbereitungsgerät kann die Stromversorgung entsprechend den tatsächlichen Anforderungen der Benutzer auswählen. Eine Stromversorgung kann mehrere Zielpistolen steuern, oder mehrere Stromversorgungen können eine einzelne Zielpistole steuern.
Technische Parameter des Vakuumbeschichtungsgeräts für die Forschung:
Produktname | VTC-600GD Magnetron-Sputter-Beschichtungsgerät |
Produktmodell | VTC-600GD |
Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss bei einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % RH ± 10 % RH verwendet werden. 1. Wasser: Das Vakuumbeschichtungsgerät für die Forschung ist mit einer selbstzirkulierenden Kühlwassermaschine ausgestattet (gefüllt mit reinem Wasser oder deionisiertem Wasser). 2. Strom: AC220V 50Hz, muss gut geerdet sein 3. Gas: Die Gerätekammer muss mit Argon (Reinheit über 99,99 %) gefüllt werden, und Sie müssen Ihre eigene Argon-Gasflasche (mit Ø6mm Doppelklemmring-Anschluss) und ein Druckminderventil vorbereiten 4. Werkbank: Größe 1500 mm × 600 mm × 700 mm, Tragfähigkeit über 200 kg 5. Lüftungsgerät: erforderlich |
Hauptparameter | 1. Versorgungsspannung: 220 V 50 Hz. |
2. Gesamtleistung: <3,5 kW. | |
3. Innendurchmesser der Kammer: Ø300mm. | |
4. Endvakuum 8,0 x 10-5 Pa. | |
5. Arbeitstemperatur: RT-500 °C, Genauigkeit ± 1 °C (die Temperatur kann je nach Bedarf erhöht werden). | |
6. Anzahl der Zielkanonen: 4. | |
7. Kühlmethode der Zielkanone: Wasserkühlung. | |
8. Zielgröße: Ø2″, Dicke 0,1–5 mm (Dicke variiert aufgrund unterschiedlicher Zielmaterialien). | |
9. DC-Sputterleistung: 500 W (optional). | |
10. HF-Sputterleistung: 300 W. | |
11. Probentisch: Ø140mm. | |
12. Probenstufengeschwindigkeit: einstellbar zwischen 1 und 20 U/min. | |
13. Schutzgas: Ar, N2 und andere Inertgase. | |
14. Einlassgaspfad: Der Massendurchflussmesser steuert 2 Einlasspfade, 1 Durchflussrate beträgt 100 SCCM, 1 Durchflussrate beträgt 200 SCCM. | |
15. Produktspezifikationen: · Abmessungen: Hostgröße: 800 mm × 1000 mm × 1300 mm; · Gewicht: 190kg |
Standardzubehör des Magnetron-Sputter-Beschichtungsgeräts:
| NEIN. | Name | Menge | Bild |
| 1 | Gleichstrom-Leistungssteuerungssystem | (Optional) Set | - |
| 2 | HF-Leistungssteuerungssystem | 1 Satz | - |
| 3 | Schichtdickenüberwachungssystem | 1 Satz | - |
| 4 | Molekularpumpe | 1 Einheit | - |
| 5 | Kühler | 1 Einheit | - |
| 6 | Polyester-PU-Schlauch (Ø6mm) | 4 m | - |
Optionales Zubehör des Dünnschichtvorbereitungsgeräts:
| NEIN. | Name | Funktion | Bild |
| 1 | Verschiedene Ziele wie Gold, Indium, Silber, Platin usw. | (optional) | - |
| 2 | Optional können starke magnetische Targets zum Sputtern von Beschichtungen ferromagnetischer Materialien verwendet werden. | (optional) | - |
Garantie:
Ein Jahr eingeschränkter Support mit lebenslanger Garantie (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik:
Über uns:
Wir sind ein Hightech-Unternehmen mit Fokus auf Forschung, Entwicklung und Produktion von Beschichtungsanlagen und führend in der Branche. Jedes unserer Produkte wurde sorgfältig von unseren Designern entwickelt und streng geprüft und zeichnet sich durch hohe Leistung und Genauigkeit aus. Wir konzentrieren uns nicht nur auf das Produkt selbst, sondern legen auch Wert auf technologische Innovation und Kundenbeziehungen und sind bestrebt, unseren Kunden weltweit hochwertige experimentelle Instrumente anzubieten.
Von der Beratung bis zum After-Sales-Service bieten wir jedem Kunden erstklassigen Service. Unser professionelles Team empfiehlt Ihnen passende Geräte, bietet technischen Support bei der Produktnutzung, beantwortet Ihre Fragen und unterstützt Sie bei der reibungslosen Projektabwicklung. Wir sind überzeugt, dass wir mit unserer langjährigen Erfahrung mehr Unternehmen dabei unterstützen können, ihre Ziele zu erreichen.
Shenyang Kejing verfolgt das Motto „praktisch, engagiert, fleißig, teamfähig, glaubwürdig, innovativ, verantwortungsbewusst, kundenorientiert, qualitativ hochwertige Produkte, fortschrittlicher Service“ und ist bestrebt, Kunden im In- und Ausland hervorragende Produkte und Dienstleistungen zu bieten.
Um engen Kontakt zu Branchenkollegen und Kunden zu pflegen, nehmen wir aktiv an großen Branchenmessen im In- und Ausland teil. Jedes Jahr präsentieren wir unsere neuesten Technologien und Produkte auf mehreren wichtigen Branchenmessen. Durch diese Plattformen, auf denen wir Kunden persönlich treffen können, können mehr Menschen uns verstehen und unterstützen. Im Laufe der Jahre haben wir über diese Plattformen auch viele Kunden und Kooperationsaufträge gewonnen. Dies ist nicht nur eine Demonstration unserer Erfolge, sondern auch eine wichtige Möglichkeit für uns, näher an die Branche heranzukommen.
