Chemisch-mechanische Poliermaschine
marke Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte Shenyang, China
Die lieferzeit 22 Werktage
Die fähigkeit, 50 Sätze
Die chemisch-mechanische Schleif- und Poliermaschine UNIPOL-1203 ist für die CMP-Abflachungs- und Glättungstechnologie geeignet. Der Schleifteil der gesamten Maschine besteht aus korrosionsbeständigem Material, das gegen chemische Korrosion beständig ist, und ist mit einer automatischen Schlammzuführung und einer Präzisionsläppsteuerung sowie einem automatischen Touchscreen-Panel ausgestattet. Es kann die Anforderungen der Bearbeitung unterschiedlicher Oberflächen wie Wafer in Bezug auf Verarbeitungsleistung und -geschwindigkeit gleichzeitig erfüllen.
Haupteigenschaften
1. Ultraflache Polierplatte aus Edelstahl (Ebenheit beträgt weniger als 0,0025 mm pro 25 mm × 25 mm)
2. Hochpräzise rotierende Spindel (der Palettenendsprung beträgt weniger als 0,01 mm)
3. Ausgestattet mit zwei Bearbeitungsarbeitsplätzen, die separat gesteuert werden können
4. Ausgestattet mit einem vollautomatischen Touchscreen-Bedienfeld, mit dem die Spindeldrehzahl, die Schwingarmgeschwindigkeit und die Läppzeit eingestellt werden können
5. Ausgestattet mit einer automatischen Schlammzuführung, visueller Einstellung der Durchflussrate, automatischem Schleifen und Polieren
6. Ausgestattet mit der Präzisions-Läppsteuerung GPC-100A, die den Druck anpassen und die Oberflächenform trimmen kann, wodurch das Schleifen und Polieren bequemer und schneller wird
7. Das Schleifteil besteht aus korrosionsbeständigem Material und ist beständig gegen chemische Korrosion.
Technische Parameter
Produktname | UNIPOL-1203 Chemisch-mechanische Schleif- und Poliermaschine / Läppmaschine |
Produktmodell | UNIPOL-1203 |
Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss in einer Höhe von 1000 m oder weniger, einer Temperatur von 25 °C ± 15 °C und einer Luftfeuchtigkeit von 55 % rF ± 10 % rF verwendet werden. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einem Wassereinlass und einem Wasserauslass ausgestattet und muss vom Benutzer an das Leitungswasser und den Abfluss angeschlossen werden. 2. Strom: AC220V 50Hz, muss über eine gute Erdung verfügen 3. Gas: N/A 4. Werkbank: Größe 800 mm × 600 mm × 700 mm, Tragfähigkeit mehr als 200 kg 5. Belüftungsgerät: nicht erforderlich |
Hauptparameter (Spezifikation) | Hauptteil der Maschine |
1. Stromversorgung: 220 V 2. Leistung: 450 W 3.Läppplatte Geschwindigkeit: 10–240 U/min 4.läppen arbeitenStationen: 2 5. SchwingenverstellungGang: 1-15Getriebe 6.Palette Endsprung: 0,008/250 mm 7. EdelstahlLäppplatte: φ300mm 8. Probenhaltung Platte: φ105mm 9.Zustand Ring: φ127,5 mm | |
GPC-100A Präzisions-Läppsteuerung | |
1. Durchmesser der Probenplatte: Ø103 mm 2. Achselreisen Distanzder Probenplatte: 12 mm 3. Genauigkeit der Digitalanzeige: 0,001 mm 4. Einstellbarer Ladedruck der ProbePlatte: 0,1 kg-2,1 kg 5. Gültiger Bereich vonDruckbestätigungsinstrument: 1g-5000g 6. ProbeInstallation Methode: Vakuumadsorption 7. Probengröße: Durchmesser ≤103 mm, Dicke ≤12 mm 8. Größe: Außendurchmesser 146 mm, Höhe 266 mm | |
Automatischer Güllezuführer | |
Rollenschlammförderer SKZD-2 1. Volumen: 1,5 l 2. Durchflussrate: 0–35 ml/min 3. Größe: 170×290×350mm Gewicht: 3kg SKZD-4 AutomatikGüllezuführung 1. FlüssigkeitFütternPumpe: 4 2.Gülle Flasche: 600 ml/Flasche 3. Zeitbereich: 1–999 Minuten 4. Durchfluss: 0,1 ml/min-10 ml/min 5. Größe: 230×370×450mm Gewicht: 10 kg | |
Produktabmessungen und -gewichte | 1. Abmessung: 550 mm × 700 mm × 420 mm 2. INacht: 74kg
|
Standardzubehör
NEIN. | Name | Menge | Bild |
1 | Gusseisen-Schleifplatte (Ф300 mm) | 1 Stück | |
2 | Edelstahl-Schleifplatte (Ф300mm) | 1 Stück | |
3 | Probenhalteplatte (Keramik) | 1 Stück | |
4 | Zustandsring (Keramik) | 1 Stück |
|
5 | Polierpad (Nubukleder, Kunstleder, Polyurethan) | Je 1 Stück | |
6 | Magnetfolie (mit Kleber auf der Rückseite) | 2 Stk |
|
7 | (Stahl) Läpppufferblatt | 2 Stk |
|
8 | Korund-Schleifpulver | 0,5 kg | |
9 | Etwas lernen | 4 Stück |
|
10 | Silica Suspension Polierflüssigkeit 2040 W0,05 | 1 Flasche |
|
Optionales Zubehör
NEIN. | Name | Funktionstyp | Bild |
1 | YZXZ-12 Rührzirkulationspumpe | (Optional) |
|
2 | Präzisions-Dickenmessgerät | (Optional) | |
3 | Läppplatte aus Keramik | (Optional) | |
4 | Läppplatte aus Glas | (Optional) | |
5 | Magnetisches Harz-Diamant-Polierblatt | (Optional) |
|
Garantie
· Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support (ausgenommen verrostete Teile aufgrund unzureichender Lagerbedingungen)
Logistik
