Vakuum-Heiz-Schleuderbeschichtungsanlage

Vorstellung der Vakuum-Heizbeschichtungsanlage VTC-100PAD:

Die Vakuum-Heizbeschichtungsanlage VTC-100PAD ist für Oberflächenbeschichtungs- und Dünnschichtherstellungsprozesse bei Materialien wie Halbleitern, Kristallen, optischen Komponenten und Druckplatten konzipiert.

Diese Anlage zur Dünnschichtpräparation ist mit korrosiven Beschichtungslösungen – einschließlich starker Säuren und Basen – kompatibel und erfüllt somit die Anforderungen einer Vielzahl komplexer Prozesse. Die Anlage ist standardmäßig mit einem 3-Zoll-Vakuumspannfutter aus Aluminium mit integrierter Heizfunktion ausgestattet; Spannfutter in verschiedenen Ausführungen sind zudem für unterschiedliche Probengrößen erhältlich.

Während des Betriebs werden die Proben mittels Vakuumadsorption am Probenhalter fixiert, was Betriebsstabilität und präzise Positionierung gewährleistet. Das System unterstützt eine mehrsegmentige programmierbare Steuerung, wobei jedes Programm aus sechs separaten Betriebsphasen besteht. Dies ermöglicht die segmentierte Anpassung der Rotationsgeschwindigkeit und eine stufenlose Beschleunigung, wodurch die Gleichmäßigkeit des Dünnfilms auf der Probenoberfläche effektiv verbessert und gleichzeitig der Materialverbrauch minimiert wird.

Dieses Gerät zeichnet sich durch seine kompakte Bauweise, einfache Bedienung sowie bequeme Reinigung und Wartung aus und wird daher in Universitäten, Forschungsinstituten und verwandten Laboren für Anwendungen in der Dünnschichtherstellung und Materialforschung weit verbreitet eingesetzt.

Technische Spezifikationen des kleinen Spin-Coaters:

Produktname	VTC-100PAD Vakuum-Heizbeschichtungsanlage (Labor-Schleuderbeschichtungsanlage)
Produktmodell	VTC-100PAD
Installationsanforderungen für Dünnschichtpräparationsanlagen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C, nicht kondensierend); Temperatur: 0–45 °C. 2. Der Bereich um das Gerät muss frei von starken Vibrationsquellen und korrosiven Gasen sein. 3. Wasser: Das Gerät ist mit einem Abfluss ausgestattet. 4. Stromversorgung: Einphasiger Wechselstrom 220 V, 50 Hz; Standard-3-polige Steckdose (10 A); Muss ordnungsgemäß geerdet sein. 5. Gas: Vakuum (mittels Vakuumpumpe) mit einer Pumpleistung von mindestens 70 l/min (Das Gerät unterstützt auch die Zufuhr von Schutzgasen wie z. B. Ar oder N2). 6. Werkbank: Empfohlene Abmessungen: 800 × 600 × 700 mm; Tragfähigkeit: >50 kg (Eine massive Betonwerkbank wird bevorzugt). 7. Belüftung: Keine besonderen Anforderungen.
Hauptparameter von Anlagen zur Dünnschichtpräparation	1. Stromversorgung der Vakuum-Heizbeschichtungsanlage: Wechselstrom 220 V, 50 Hz
	2. Beschichtungskammer (Material): PTFE (Polytetrafluorethylen)
	3. Probenhalter (Vakuumfutter): 1 x 3-Zoll-Vakuumfutter aus Aluminium (Andere Größen auf Anfrage erhältlich)
	4. Betriebsmodus: Enthält 1 Programmsatz; jeder Satz umfasst 6 verschiedene Betriebsphasen.
	5. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500 U/min – 10.000 U/min (effektiver Bereich); Drehzahlschrittweite: 100 U/min.
	6. Beschichtungsdauer: Zeitbereich pro Stufe: 1 – 9999 Sekunden.
	7. Geschwindigkeitsstabilität: ±1 %
	8. Steuerungssystem: SPS-Programmiergerät + Touchscreen-Schnittstelle
	9. Heizmethode: Widerstandsdrahtheizung; die Heizungssteuerung ist in das Steuerungssystem des Hauptgeräts integriert.
	10. Heiztemperatur: RT (Raumtemperatur) – 100 °C; maximale Heizdauer bis zu 9999 Sekunden einstellbar. Die Temperaturregelung kann entweder in Verbindung mit der programmierten Sequenz oder unabhängig (über eine separate Temperatur-Aktivierungstaste) erfolgen.
	11. Heizleistung: AC 220V, 150W; Temperaturregelungsgenauigkeit: ±5°C.
	12. Spezifikationen der Dünnschichtpräparationsanlagen: • Abmessungen: 450 mm × 280 mm × 340 mm; • Gewicht: 20 kg
Einhaltung	CE-Zertifizierung, UL- oder CSA-Zertifizierung sind gegen Aufpreis erhältlich.

Standardzubehör der Vakuum-Heizbeschichtungsanlage:

NEIN.	Name	Menge	Bildlink
1	3-Zoll-Vakuumfutter (Imperial Standard)	1 Einheit
2	Zentrierachse (mit 4 Ausrichtungsstiften)	1 Einheit
3	Tropfer	1 Einheit
4	Ölfreie Vakuumpumpe	1 Einheit

Optionales Zubehör für die Vakuum-Heizbeschichtungsanlage:

NEIN.	Name	Funktionskategorie	Bildlink
1	Importierte Pipetten	(Optional)
2	Haushaltspipetten	(Optional)
3	Vakuumsaugnäpfe (andere Größen)	(Optional)

Hauptmerkmale der Dünnschichtpräparationsanlage:

Der Labor-Spin-Coater nutzt Vakuumadsorption zur Fixierung der Proben und bietet eine einfache Bedienung und zuverlässige Positionierung bei einem Vakuumniveau von bis zu -0,08 MPa.

• Der Labor-Spin-Coater ist mit einem Probenpositionierungswerkzeug ausgestattet, das ein schnelles Zentrieren der Probe ermöglicht und dadurch Vibrationen oder Probleme beim Probenauswurf aufgrund von Exzentrizität verringert.

• Der kleine Spin-Coater kann mit Vakuumspannfuttern verschiedener Spezifikationen ausgestattet werden, um unterschiedlichen Probengrößen gerecht zu werden; diese Spannfutter verfügen über eine integrierte Heizfunktion und sind leicht austauschbar.

• Es verwendet einen bürstenlosen 24-V-Gleichstrommotor, der für einen ruhigen Lauf, geringe Geräuschentwicklung und minimale Vibrationen sorgt. Sein stabiles Anlauf- und Beschleunigungsverhalten gewährleistet die Gleichmäßigkeit und Konsistenz der aufgetragenen Schichtdicke.

• Der Labor-Spin-Coater ist mit einer ölfreien Zweizylinder-Vakuumpumpe ausgestattet, die sich durch eine einfache Konstruktion, einen kompakten Platzbedarf, Wartungsfreundlichkeit und die Abwesenheit von Ölverunreinigungen auszeichnet.

Die Beschichtungskammer besteht aus Polytetrafluorethylen (PTFE) und bietet hervorragende Beständigkeit gegenüber starken Säuren und Basen, überlegene Beständigkeit gegen Spannungsrisskorrosion und eine lange Lebensdauer. Das Gehäuse der Vakuum-Beschichtungsanlage ist aus Aluminiumguss gefertigt und gewährleistet so Robustheit bei gleichzeitig geringem Gewicht.

• Das System des Labor-Spin-Coaters unterstützt Dünnschichtpräparationsprozesse, die in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Ar oder N₂) durchgeführt werden.

Der Labor-Spin-Coater verfügt über eine SPS-Steuerung mit Touchscreen-Oberfläche für intuitive Parameteranzeige und komfortable, zuverlässige Bedienung. Das Gerät zur Dünnschichtpräparation ist mit einer Deckelöffnungs-Sicherheitsfunktion ausgestattet: Wird der Deckel während des Betriebs geöffnet, bremst das Gerät automatisch bis zum Stillstand ab und erhöht so die Betriebssicherheit.

Anwendungsgebiete von Labor-Spin-Coatern:

Perowskit-Solarzellen: Optimierung der Kristallisation durch In-situ-Erhitzung.

Halbleiterwafer: Fotolackbeschichtung und Oberflächenbehandlung.

Optische Beschichtungen: Mehrschichtfilter und Antireflexbeschichtungen.

Biomaterialien: Funktionelle Dünnschichtbeschichtungen für Biosensoren.

Mikrofluidik: Kanalbeschichtung und PDMS-Verarbeitung.

Häufig gestellte Fragen zu Geräten zur Dünnschichtpräparation:

F: Kann diese Vakuum-Heizbeschichtungsanlage in einer Glovebox verwendet werden?

A: Ja, dank seiner kompakten Abmessungen und der Konstruktion der Vakuum-/Gasanschlüsse ist es perfekt mit Ar/N2-Handschuhkastenumgebungen kompatibel.

F: Was ist die maximale Substratgröße, die es verarbeiten kann?

A: Das Standardgerät wird mit einem 3-Zoll-Spannfutter geliefert, wir bieten aber auch kundenspezifische Vakuumspannfutter für verschiedene Formen und Größen an.

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