Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und max. 5 Zoll) mit UV-Abdeckung

Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater (10.000 U/min und max. 5 Zoll) mit UV-Abdeckung

Der UV-Spincoater VTC-100PA-UV eignet sich für die Halbleiterverarbeitung, Kristall-, optische Datenträger- und Plattenherstellung sowie Oberflächenbeschichtungen. Die obere Abdeckung ist mit einer UV-Lichtquelle ausgestattet und eignet sich besonders für UV-empfindliche Materialien, da die Beschichtung dadurch schnell verfestigt wird. Darüber hinaus verfügt die UV-Lampe über eine Polymerisationsfunktion, die das Monomer zu einem Polymerfilm polymerisieren kann.

marke: Shenyang Kejing
Die HERKUNFT der Produkte: Shenyang, China
Die lieferzeit: 10 Arbeitstage
Die fähigkeit,: 50 Sätze

Information

Produkteinführung

Der VTC-100PA-UV Spin Coater (auch bekannt als Photoresist Coater, Spin Coater oder Spin Coating System) ist für Prozesse wie die Herstellung von Halbleitern, Kristallen, optischen Datenträgern, Lithografie und Oberflächenbeschichtung konzipiert.

Die Kammer besteht aus Polypropylen, bietet hervorragende Korrosionsbeständigkeit und lange Lebensdauer und eignet sich für Beschichtungsanwendungen mit starken Säuren und Laugen. Die obere Abdeckung ist mit einer UV-Lampe ausgestattet und eignet sich daher besonders für UV-empfindliche Resists. Sie ermöglicht eine schnelle Aushärtung beschichteter Resists und unterstützt zudem die Polymerisation, bei der Monomere in Polymerfilme umgewandelt werden.

In der Mitte der oberen Abdeckung befindet sich eine mit einem Stopfen ausgestattete Flüssigkeitseinspritzöffnung. Wenn eine abgedichtete Kammerumgebung erforderlich ist, sollte der Stopfen eingesetzt werden. Die Kammer verfügt außerdem über einen Gaseinlass, der die Zufuhr von Schutzgas während des Spin-Coating-Prozesses ermöglicht.

Die Proben werden mittels Vakuumadsorption fixiert, was eine einfache Bedienung und bequemes Be- und Entladen gewährleistet. Mit dem speziellen Zentrierwerkzeug können Proben präzise in der Mitte des Chucks platziert werden, wodurch exzentrische Vibrationen reduziert und Waferbrüche verhindert werden. Je nach Probengröße können verschiedene Chucks ausgewählt werden, und der Austausch ist einfach und bequem.

Das System wird von einem präzisen bürstenlosen Gleichstrommotor angetrieben, der einen schnellen Start und eine stabile Geschwindigkeit ermöglicht und für eine gleichbleibende und gleichmäßige Beschichtungsdicke sorgt.

Hauptmerkmale

1. Die Probe wird mittels Vakuumadsorption fixiert, was eine einfache Handhabung und bequeme Entnahme und Platzierung der Proben ermöglicht und nach Bedarf angepasst werden kann.

2. Die obere Abdeckung verfügt über eine UV-Lichtquelle, deren Stärke in einem bestimmten Bereich eingestellt werden kann.

3. Die Einspritzöffnung befindet sich in der Mitte der oberen Abdeckung und ist mit einem Gummistopfen ausgestattet, der verwendet wird, wenn für die Kammer eine abgedichtete Umgebung erforderlich ist.

4. Die Gaseinlassöffnung in der Kammer dient zum Anschluss an Schutzgas.

5. Der Motorteil und der UV-Licht-Steuerteil werden unabhängig voneinander gesteuert. Die Motordrehzahlregelung wird von einem Einplatinencomputer und einem LCD-Bildschirm gesteuert. Die numerische Anzeige ist intuitiver und zuverlässiger. Das UV-Licht wird von einer SPS-Steuerung mit starker Entstörung gesteuert.

6. Die Beschichtungsgeschwindigkeit dieser Maschine beträgt 500 bis 1000 U/min. Es können 12 Programmgruppen gespeichert werden, jede Programmgruppe enthält 6 Betriebsstufen, und die Betriebsparameter jeder Stufe können unabhängig voneinander eingestellt werden, um die Geschwindigkeit langsam bis zum Limit zu erhöhen, was der Bildung eines gleichmäßigen Films auf der Probenoberfläche förderlich ist und nicht zu viel verschwendet.

7. Der UV-Vakuum-Spin-Coater startet schnell und verfügt über eine stabile Rotationsgeschwindigkeit, die die Gleichmäßigkeit und Konsistenz der Filmdicke gewährleisten kann.

8. In der Installationsstruktur werden Stoßdämpfungsmaßnahmen ergriffen, um die Geräuschentwicklung während des Betriebs zu reduzieren.

9. Die Kammer besteht aus PP-Material mit längerer Lebensdauer, um die Widerstandsfähigkeit gegen chemische Korrosion und Spannungsrisse zu verbessern, und der Maschinenkörper besteht aus einer Aluminiumgussstruktur, die langlebig und leicht ist.

TTechnische Parameter

Produktname	VTC-100PA-UV UV-Spin-Coater
Produktmodell	VTC-100PA-UV
Installationsbedingungen	1. Temperatur und Luftfeuchtigkeit: 10–85 % relative Luftfeuchtigkeit (bei 25 °C ohne Kondensation). Temperatur: 0–45 °C. 2. In der Umgebung des Geräts gibt es keine starken Vibrationsquellen und kein ätzendes Gas. 3. Wasser: Nicht erforderlich. 4. Strom: Einphasig: AC220V 50Hz 10A. 5. Gas: Vakuum-Unterdruck (Vakuumpumpe). Die Luftdurchflussrate beträgt nicht weniger als 70 l/min (das Gerät kann Schutzgas durchlassen). 6. Werkbank: Es wird empfohlen, 800 mm × 600 zu seinmm×700 mm und kann einer Last von mehr als 50 kg standhalten (eine solide Zementplattform ist besser). 7. Belüftungsgerät: Keine besonderen Anforderungen.
Die wichtigsten Parameter	1. Stromversorgungsschnittstelle: Steckdose mit Versicherung: AC220V 50Hz, Versicherungsröhrenspezifikation ist 10A, φ5×20mm (dieses Gerät unterstützt AC110V 50/60Hz-Produktanpassung). 2. Gesamtleistung: ≤180 W (ohne externe Vakuumpumpe). 3. Beschichtungsaufnahmehohlraum (Material): Polypropylen. 4. Probenschale (Saugnapf): Saugnapf aus Polypropylen, jeweils Φ19 mm, Φ60 mm. 5. Betriebsmodus: Es können 12 Programmsätze gespeichert werden, jeder Programmsatz enthält 6 Betriebsstufen. 6. Beschichtungsgeschwindigkeit: 500 U/min – 10.000 U/min sind effektiv. 7. Beschleunigungs- und Verzögerungsrate: Der Einstellbereich jeder Beschleunigungs- und Verzögerungsrate beträgt 100 U/min – 2000 U/min. 8. Beschichtungszeit: Jeder Zeitbereich: 0–60 s. 9. Geschwindigkeitsstabilität: ±1 %. 10. Host-Steuerungsmodus: PCB-Einzelchip-Mikrocomputer-Tastensteuerung LMC-LCD-Display. 11. Aushärtungsmethode: 16 violette LED-Lichtperlen. 12. Aushärtezeit: Einstellbereich für die violette Lichtzeit: 1–800 s. 13. Aushärtungsleistung: Leistungsbereich des violetten Lichts: 5–30 W, einstellbar. 14. Aushärtungssteuerungsmethode: Touchscreen (unabhängige Steuerung des violetten Lichtsystems, nicht mit der Hoststeuerung verbunden).
	15. Produktspezifikationen · Abmessungen: 450 mm × 280 mm × 340 mm · Gewicht: 18kg