Detaillierte Verwendung des Plasma-Sputter-Beschichters mit drei Zielen

14-02-2025

Plasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielenist ein Hightech-Gerät, das in der Materialwissenschaft, der physikalischen Forschung und anderen Bereichen weit verbreitet ist. Um sicherzustellen, dass Benutzer dieses Gerät richtig und effektiv verwenden können, folgt eine detaillierte Verwendungsmethode:


I. Vorbereitung der Ausrüstung:

1. Stellen Sie vor dem Gebrauch sicher, dass diePlasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielenwurde ordnungsgemäß installiert und geerdet, um statische Störungen zu vermeiden.

2. Überprüfen Sie alle Anschlüsse des Gerätes auf festen Sitz und Beschädigungen.

3. Schalten Sie das Gerät ein und heizen Sie es vor. Dies dauert normalerweise etwa 10–15 Minuten.

Three Target Plasma Sputtering Coater

II. Betriebsablauf:

1. Platzieren Sie die Probe: Platzieren Sie die zu verarbeitende Probe an der dafür vorgesehenen Position des Geräts, um sicherzustellen, dass die Probe fest fixiert ist.

2. Parameter einstellen: Stellen Sie die geeignete Sputterleistung, Zeit, Gasströmung und andere Parameter entsprechend den experimentellen Anforderungen ein.

3. Sputtern starten: Drücken Sie die Starttaste und das Gerät beginnt zu sputtern. Achten Sie während dieses Vorgangs genau auf den Status des Geräts, um sicherzustellen, dass alles normal ist.

4. Ende des Sputterns: Wenn die eingestellte Sputterzeit erreicht ist, stoppt das Gerät automatisch. Zu diesem Zeitpunkt kann die Probe zur weiteren Verarbeitung entnommen werden.

III. Vorsichtsmaßnahmen:

1. Tragen Sie während der Anwendung unbedingt eine professionelle Schutzbrille und Handschuhe, um mögliche Spritzverletzungen zu vermeiden.

2. Wenn während des Sputtervorgangs eine ungewöhnliche Situation auftritt, z. B. ein Geräteausfall oder Sicherheitsprobleme, drücken Sie bitte sofort den Not-Aus-Schalter und wenden Sie sich zur Inspektion und Reparatur an einen Fachmann.

3. Führen Sie regelmäßige Wartung und Instandhaltung der Geräte durch, um einen langfristig stabilen Betrieb zu gewährleisten.

Durch Befolgen der oben genannten Schritte und Vorsichtsmaßnahmen können Benutzer dasPlasma-Sputter-Beschichter mit drei Zielenfür Experimente und Forschung. Die Beherrschung der richtigen Verwendungsmethode kann nicht nur die Ausrüstung schützen, sondern auch die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Versuchsergebnisse sicherstellen.

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