Vakuum-Thermoverdampfungsbeschichtungsanlage mit vier Heizquellen
Die Verdampfungsanlage GSL-1800X-ZF4 ist eine Hochvakuum-Verdampfungsanlage, die sich besonders für die Verdampfung und Beschichtung von sauerstoffempfindlichen Metallfilmen (wie Ti, Al, Au usw.) und niedermolekularen organischen Verbindungen eignet. Die Anlage ist mit vier Verdampfungsheizschiffchen ausgestattet, die jeweils unabhängig voneinander Verdampfungsprozesse durchführen können.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 22 Werktage
- 50 Sets
- Information
Produkteinführung
Die Verdampfungsanlage GSL-1800X-ZF4 ist ein Hochvakuum-Beschichtungssystem, das speziell für die Abscheidung sauerstoffempfindlicher Metallfilme (wie Ti, Al, Au) und niedermolekularer organischer Materialien entwickelt wurde. Das System verfügt über vier unabhängig voneinander betriebene, beheizte Verdampfungsschiffchen. Ein drehbarer Schutzschild über den Schiffchen schützt die anderen drei während der Verdampfung und verhindert so effektiv eine gegenseitige Kontamination der Materialien. Durch optionale Konfigurationsanpassungen können auch organische Materialien abgeschieden werden, wodurch die Forschungsanforderungen für Leuchtdioden und organische Solarzellen erfüllt werden. Dies macht die Anlage zu einem leistungsstarken und kostengünstigen Beschichtungssystem für Laboranwendungen.
Der Kammerboden ist mit fünf wassergekühlten Elektroden ausgestattet, um die Elektrodentemperatur während des Betriebs konstant zu halten und so Überhitzung, Schmelzen oder Beschädigung zu verhindern. Das Gerät verwendet eine Metallvakuumkammer, die ein maximales Vakuum von 5,0 × 10⁻⁵ mbar erreicht.-7 Der Probentisch wird von Raumtemperatur auf bis zu 500 °C erhitzt und eignet sich daher ideal für Beschichtungsexperimente mittels Hochvakuumverdampfung.
Hauptmerkmale
1. Die Vakuumsteuereinheiten sind alle in einem Steuerkasten montiert.
2. Es verfügt über einen unabhängigen Stromregler für die Verdampfungsbeschichtung, der eine bequeme und schnelle Bedienung ermöglicht.
3. Die Vakuumkammer ist ausgestattet mit einem seitlichen Pumpventil KF40 (direkt mit der vorgelagerten mechanischen Pumpe verbunden, um die Effizienz zu steigern), einem Absperrventil CF150 (direkt mit der Molekularpumpe verbunden), einem Flansch KF16 (zur Montage des Widerstandsmessgeräts), sechs Flanschen CF35 (einer zur Montage des Ionisationsmessgeräts, einer zur Montage der 2-Kern-Elektrode und einer zur Montage des Schichtdickenmessgeräts) sowie 3 Ersatzteilen.
4. Am Boden der Kammer befinden sich 5 wassergekühlte Elektroden, die 4 Verdampfungsheizboote tragen können.
5. Der Probentisch wird oben auf der Kammer installiert.
6. In der Kammer kann ein hochauflösendes Schichtdickenmessgerät installiert werden, dessen Auflösung bei der Schichtdickenmessung (Aluminium) 0,1 Å beträgt.
7. Ein Umwälzwasserkühler kann verwendet werden.
Technische Parameter
Produktname | GSL-1800X-ZF4 Verdampfungsbeschichter | |
Produktmodell | GSL-1800X-ZF4 | |
Installationsbedingungen | Dieses Gerät muss bei einer Temperatur von 25℃±15℃ und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 55%Rh±10%Rh betrieben werden. 1. Wasser: Das Gerät ist mit einem selbstzirkulierenden Wasserkühler ausgestattet (Befüllung mit reinem Wasser oder deionisiertem Wasser). 2. Stromversorgung: Wechselstrom 220 V, 50 Hz, muss gut geerdet sein 3. Werkbank: Standwerkbank mit einer Fläche von mehr als 2 m²2 5. Beatmungsgerät: erforderlich | |
Hauptparameter (Spezifikation) | 1. Eingang: einphasiger Wechselstrom 220 V, 50 Hz/60 Hz, Leistung < 2,16 kW (ohne Vakuumpumpe) 2. Verdampfungsleistung: Wechselspannung 0-8 V stufenlos einstellbar, maximaler Verdampfungsstrom 200 A, maximale Verdampfungsleistung <1,6 kW 3. Vakuumkammer: Ø 300 mm (Innendurchmesser) × 360 mm (Höhe), Edelstahl, elektropolierte Innenwand 4. Sichtfenster: Ø100 mm, abgedichtet mit speziellem Dichtungsring 5. Vakuumpumpe: Hochleistungs-Turbomolekularpumpe mit einer Förderleistung von 600 l/s 6. Vakuumgrad: 8,0 × 10-4Also 7. Vakuumgrenze: 8,0 × 10-5Also 8. Leckrate: 6,7 × 10-8Pa·L/s 9. Probenahmephase: φ120 10. Abstand zwischen Verdampfungsschiffchen und Probenträger: 140–200 mm 11. Erforderliche Kühlwassermenge: 15 l/min 12. Heiztemperatur des Probentisches: Raumtemperatur ~ 500 °C, automatische Temperaturregelung und Temperaturmessung | |
Produktabmessungen und Gewicht | 13. Produktspezifikationen: • Abmessungen: 900 mm × 1100 mm × 1800 mm • Gewicht: 230 kg |
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Garantie
Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslangem Support (ausgenommen sind durch unzureichende Lagerbedingungen verursachte Rostschäden).
Logistik
