Handschuhkasten-Vakuumbeschichtungs-Komplettmaschine für Solarzellen-Perowskit

a. Dreiphasiges Fünfleitersystem. Fünfleiter: 380 VAC (+/-5 %), 50 Hz, drei stromführende Leiter, ein Erdungsleiter und ein Neutralleiter. Maximale Leistung 8 kW, maximaler Strom 32 A.

b. Darüber hinaus ist ein unabhängiges Erdungskabel für das Gehäuse erforderlich.

2. Wasser:

Durchflussrate 15–20 Liter/Minute, 15 bis 25 Grad Celsius, Druckunterschied zwischen Wassereinlass und -auslass 1 bis 2 kg, Wassereinlassdruck 2 bis 3 kg, der Außendurchmesser von Wassereinlass und -auslass des Geräts beträgt 12 mm (es wird empfohlen, einen besseren Gummiwasserschlauch zu verwenden); es wird empfohlen, vor dem Wassereinlass des Geräts ein Kugelventil zu installieren, damit Wasserdruck und Wasserdurchfluss leicht eingestellt werden können.

3. Gas:

a. Druckluft: trockene, saubere, wasserfreie, ölfreie Druckluft, 8 mm Kunststoffluftrohr, Druck 5,5-6

kg (0,55–0,6 MPA).

b. Normaler Stickstoff: trockener Stickstoff, der zum Aufheben des Vakuums in der Gerätekammer verwendet wird. 8 mm Kunststoff-Luftrohr, Druck 1–2 kg (0,1–0,2 MPA).

1. Vakuumspezifische Kammer aus Edelstahl 304, innen elektropoliert, Vakuumkammerdurchmesser beträgt ca. 400 mm Breite, 400 mm Tiefe und 450 mm Höhe, mit vertikaler Vorder- und Hintertürstruktur.

2. Die vordere Türschiene weist ein importiertes Doppelschienendesign mit einem besser koordinierten Erscheinungsbild und manueller Verriegelung auf. Die hintere Tür weist eine manuelle Scharnierstruktur auf, die sich leicht festziehen und abdichten lässt. Das System verfügt über eine Edelstahlauskleidung mit einer mehrteiligen Struktur für eine einfache Demontage und Installation. Die Innen- und Außenflächen der Vakuumkammer sind poliert. Die Kammer ist mit Geräteschnittstellen wie Beleuchtung und Filmdickenmessgeräten ausgestattet.

3. Die linke Seite der Vakuumkammer ist mit dem Hauptventil und der Molekularpumpe sowie der Vakuummessschnittstelle verbunden. Die Oberseite ist mit einem rotierenden wassergekühlten Probentisch, einer Probentischblende und einer Schnittstelle für eine Filmdickenmesssonde ausgestattet; die Bodenplatte ist mit zwei Sätzen Metallverdampfungselektroden, vier Sätzen organischer Quellen und zwei Installationsanschlüssen für Filmdickenmesssonden ausgestattet;

4. Vorder- und Hintertüren mit Glasbeobachtungsfenstern: 1 Beobachtungsfenster mit 4 Zoll Durchmesser und Blende an der Vordertür der Vakuumkammer; ausgestattet mit Antifouling-Glas; 2 kleine Beobachtungsfenster an der Hintertür beobachten jeweils die Quelle und die Probe, ausgestattet mit Antifouling-Glas.

II. Verdampfungsquelle: ausgestattet mit einer Metallverdampfungsquelle und einer Nichtmetallverdampfungsquelle

III. Vollständiges Alarmsystem: Erkennung und Schutz bei Wassermangel und Unterspannung, Erkennung und Schutz bei Phasenfolge, Erkennung und Schutz bei Temperatur, Erkennung und Schutz des Vakuumsystems. Alarm bei anormalen Zuständen wie Wassermangel, Überstrom, Überspannung und Stromkreisunterbrechung von Pumpen und Elektroden und Ergreifen entsprechender Schutzmaßnahmen; vollständiges Schutzsystem mit logischem Programmverriegelungsmechanismus.

IV. Kontrollmethode:

Manuelle automatische Steuerung über Panasonic PLC+Touchscreen; Rate und Enddicke können eingegeben werden, die PID-Einstellung steuert automatisch die Verdampfungsleistung. Steuerungsinhalt: mechanische Pumpe, Molekularpumpe, pneumatisches, elektromagnetisches Ventil, Vakuummeter usw.; automatisches Staubsaugen, automatisches Beschichten, automatisches Absaugen usw.;

Vollständiger Verriegelungsschutz (Hardware-, Software-Verriegelung). Im manuellen und automatischen Modus ist das Gerät vollständig verriegelt, um die Sicherheit von Personal und Gerät zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das System mit einem Alarmgerät zur Erkennung von Wasserdurchfluss ausgestattet.

V. Strukturelle Merkmale: Das System verfügt über Universalräder und Füße für einfaches Bewegen. (Wie in der Abbildung gezeigt)

WIR. Details:

Vor der mechanischen Pumpe ist ein Molekularsieb installiert, und am Luftauslass sind Schutzteile wie Filter und Verschlüsse angebracht. Der Gasweg ist so ausgelegt, dass Staub vermieden wird. Die organische Quelle ist unabhängig im Inneren installiert.

Alle Probentische, Quellenblenden und Probentischrotationen sind mit magnetischer Flüssigkeit versiegelt, um die Langzeitstabilität des Systems sicherzustellen.

Relais, Klemmenblöcke, Wasser- und Gasleitungsverbindungen, Magnetventile und andere Kleinkomponenten sind allesamt hochwertige Originalprodukte.

1. Vakuumsystem:

Verwendung einer fettgeschmierten Molekularpumpe vom Kaliber FF-200/1300 von Zhongke Keyi, Pumpgeschwindigkeit: 1300 l/s + mechanisches Pumpenvakuumsystem Feiyue VRD-16, pneumatisches 8-Zoll-Klappenventil, Vakuummessung: ein Nieder- und ein Hochvakuummeter (Bereich von Atmosphäre bis 3E-9 Torr), automatische Steuerungsumschaltung zwischen Niedervakuum- und Hochvakuummessung. Vakuumwerte werden zur Prozesssteuerung in die SPS eingegeben.

Vakuumventil: Modell: 2 Sätze DN40mm-Klappenventile; 1 Satz pneumatisches Hauptventil Zhongke Keyi DN200.

Vakuumdichtung: Die abnehmbare statische Dichtung ist mit einem Fluorkautschukring abgedichtet; die selten demontierte statische Dichtung ist mit sauerstofffreiem Kupfer abgedichtet.

2. Vakuumgrenze:

Besser als 2,0 × 10-5 Pa. Leckagerate: Besser als 5 × 10-8 Pa*L/S (nationaler Standard). Nach 12-stündigem Herunterfahren beträgt der Vakuumgrad ≤ 5 Pa.

3. Pumpgeschwindigkeit: Pumpzeit: Atmosphärendruck ~ 5×10-4Pa weniger als 20min

1. Schubladenstruktur für eine maximale Probengröße von 150 x 150 mm, ausgestattet mit einer pneumatischen Substratblende.

2. Der Abstand zwischen dem Substrat und der Verdampfungsquelle ist elektrisch einstellbar und der maximale Abstand der elektrischen Hubeinstellung beträgt 60 mm.

3. Der Probentisch ist drehbar und verfügt über eine Wasserkühlungsfunktion: Die Rotationsgeschwindigkeit des Probentisches ist stufenlos von 0 bis 30 U/min einstellbar.

1. Die Hochvakuum-Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine ist mit zwei Sätzen von Verdampfungsquellen in Bootsform ausgestattet. Die Metallquelle verwendet eine wassergekühlte Kupferelektrode + Verdampfungsbootstruktur (maximale Temperatur 1500 Grad). Die Hochvakuum-Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine ist mit einer 2,4-kW-Verdampfungsstromversorgung ausgestattet. Die Stromversorgung der Verdampfungsquelle verfügt über zwei Antriebsmodi: Konstantstrom und Konstantspannung, die umgeschaltet werden können. Die Verdampfungsstromversorgung kann per Software oder manuell gesteuert werden. Die Verdampfungsstromversorgung kann die Verdampfungsrate auch automatisch über den Filmdickenmesser PID (Closed Loop Control) anpassen. Mit digitaler Anzeige.

2. Die Hochvakuum-Elektronenstrahlverdampfungs-Beschichtungsmaschine ist mit 4 Sätzen von organischen Verdampfungsstrahlquellenöfen, 4 organischen Verdampfungsstromversorgungen, organischen Verdampfungsquellen mit Temperaturanzeigefunktion ausgestattet, und die organischen Strahlquellenöfen verwenden japanische leitfähige Temperaturregler. Ausgestattet mit 4 Sätzen von Tiegeln, Heiztemperatur: 0-700 Grad Celsius; einstellbarer Winkelbereich: 0-15 Grad.

1. Stromversorgung: DC 5 V (±10 %), maximaler Strom 400 mA.

2. Frequenzauflösung: ±0,03 Hz.

3. Filmdickenauflösung: 0,0136 Å (Aluminium).

4. Genauigkeit der Filmdicke: ±0,5 %, abhängig von Prozessbedingungen, insbesondere Sensorposition, Materialspannung, Temperatur und Dichte.

5. Messgeschwindigkeit: 100 ms – 1 s/Zeit, einstellbar.

6. Messbereich: 500000Å (Aluminium).