EQ-TM106 Schichtdickenmonitor
1. Dieses Laborgerät zur Beschichtungsinspektion ist ein hochpräzises QCM-Schichtdickenmessgerät für MBE, OLED und Sputtern. Es stellt sicher, dass die Schichtdicke den experimentellen Anforderungen entspricht.
2. Das Gerät verfügt außerdem über eine Echtzeit-Ratensteuerung, eine Auflösung von 0,0136Å und einen PC-Datenexport.
3. Für das Gerät wird ein umfassender Vor- und Nachverkaufssupport angeboten. Sollten Funktionsstörungen oder Beschädigungen an Komponenten auftreten, kontaktieren Sie uns bitte umgehend. Wir bieten eine einjährige Garantie (ausgenommen Schäden, die nicht durch unsachgemäße Behandlung verursacht wurden).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Werktage
- 50 Sets
- Information
Einführung des Filmpräparationsdickenmonitors:
Der Schichtdickenmonitor EQ-TM106 nutzt das Quarzoszillatorprinzip in Kombination mit fortschrittlicher Frequenzmesstechnik zur Echtzeit- und In-situ-Überwachung der Schichtdicke. Er wird primär bei Dünnschichtabscheidungsprozessen eingesetzt – beispielsweise bei MBE, thermischer Verdampfung von OLEDs und Magnetron-Sputtern –, um sowohl die Schichtdicke als auch die Abscheidungsrate kontinuierlich zu überwachen.
Basierend auf der Echtzeit-Abscheidungsrate des Dünnfilms erzeugt der EQ-TM106-Monitor ein analoges PWM-Ausgangssignal (Pulsweitenmodulation). Als dedizierter Dickensensor ermöglicht er die Integration mit externen Steuerungen und Verdampfungsnetzteilen zur Regelung der Verdampfungsrate im geschlossenen Regelkreis und damit die präzise Messung der Dicke des abgeschiedenen Films.
Der Filmdickenmonitor EQ-TM106 zeichnet sich durch ein kompaktes Design aus, das Platz im Labor spart; darüber hinaus machen ihn sein einfaches Funktionsprinzip und seine benutzerfreundliche Oberfläche besonders gut geeignet für den Einsatz bei Dünnschichtabscheidungsanwendungen im Labormaßstab.
Technische Produktspezifikationen:
| Produktname | EQ-TM106 Schichtdickenmonitor | ||
| Produktmodell | EQ-TM106 | ||
| Technische Spezifikationen | EQ-TM106-1 Überwachungsmodul 1. Stromversorgung: Gleichstrom 5 V (±10 %), max. Stromstärke 400 mA 2. Frequenzauflösung: ±0,03 Hz 3. Filmdickenauflösung: 0,0136 Å (Aluminium) 4. Genauigkeit der Schichtdickenmessung: ±0,5 % (abhängig von den Prozessbedingungen, insbesondere der Sensorposition, der Materialspannung, der Temperatur und der Dichte) 5. Messgeschwindigkeit: 100 ms – 1 s pro Messung (konfigurierbar) 6. Messbereich: 500.000 Å (Aluminium) 7. Standard-Sensorquarz: 6 MHz 8. Computerschnittstelle: Serielle RS-232/485-Schnittstelle (Konfigurierbare Baudraten: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Datenbits: 8; Stoppbits: 1; Parität: Keine) 9. Analogausgang: 8-Bit-Auflösung, PWM-Ausgang (Pulsweitenmodulation) (Open Collector oder interner 5V-Ausgang) 10. Betriebsumgebung: Temperatur 0–50 °C; Luftfeuchtigkeit 5–85 % rF (nicht kondensierend) 11. Abmessungen: 90 mm × 50 mm × 18 mm | ||
EQ-TM106-2 Anzeigeeinheit 1. Eingangsleistung: Wechselstrom 220 V ±10 % 2. Ausgangsleistung: DC 5V 3A 3. Anzeige: 12×2 Digitalröhren und LEDs 4. Kommunikationsschnittstelle: RS-485 (Wählbare Baudraten: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Datenbits: 8; Stoppbits: 1; Parität: Keine) 5. Abmessungen: 182 mm × 65 mm × 160 mm | |||
EQ-TM106-3 Sonde 1. Kompatible Quarzfrequenz: 6 MHz 2. Kompatible Kristallgröße: Ø14 mm 3. Montageflansch: CF35 4. Kühlwasserschläuche: Ø 3 mm; Längen: 300 mm, 500 mm, 1000 mm 5. Kühlwasserdruck: <0,3 MPa 6. Pneumatischer Verschlussschlauch: Ø 3 mm 7. Druckluftdruck: <0,8 MPa, >0,5 MPa 8. Ausheiztemperatur: <200 °C (mit Wasserdurchfluss); Flansch <100 °C (ohne Wasserdurchfluss) 9. Elektrische Schnittstelle: BNC-Buchse | |||
| Standardzubehör | 1 | EQ-TM106-1 Überwachungsmodul | 1 Einheit |
| 2 | EQ-TM106-2 Anzeigeeinheit | 1 Einheit | |
| 3 | EQ-TM106-3 Sonde | 1 Einheit | |
Hauptmerkmale des Dünnschichtabscheidungsmonitors:
1. Dieses Gerät kann an einen Computer angeschlossen werden.
2. Das Anzeigegerät verfügt über eine übersichtliche, intuitive und gut strukturierte Benutzeroberfläche, die eine komfortable und schnelle Bedienung ermöglicht. Es bietet eine visuelle Echtzeit-Anzeige der Betriebsparameter, darunter die gemessene Schichtdicke, die Abscheidungsrate, die Frequenz und der prozentuale Anteil des PWM-Steuerausgangs.
3. Über die Software oder das Anzeigegerät können die Benutzer verschiedene Einstellungen konfigurieren – wie Gate-Zeit, Ausgabemodus, Ratenalgorithmus, Materialparameter, Ausgabebereich und Kommunikationsparameter – und die entsprechenden Messdaten direkt in eine Excel-Datei exportieren.
4. Das Gerät zeichnet sich durch seine kompakte Bauweise, hohe Messgenauigkeit, einfache Bedienung und benutzerfreundlichen Komfort aus.
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