1100℃ Großrohrofen (6″/8,5″/11″)
1. Verarbeitungskammer mit großem Durchmesser:
Für große Proben, Pilotversuche und die Bearbeitung von Halbleiterwafern ist ein elektrischer Röhrenofen mit 6", 8,5" und 11" Quarzrohren erhältlich.
2. Unabhängige Mehrzonen-Temperaturregelung:
Der elektrische Rohrofen bietet optional eine Ein-, Zwei- oder Dreizonenheizung und sorgt für eine hervorragende Temperaturhomogenität bei anspruchsvollen thermischen Prozessen.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, China
- 10 Werktage
- 50 Sets
- Information
Übersicht über Hochtemperatur-Laboröfen
Dieser großvolumige Rohrofen ist für Labore und Forschungsteams im Pilotmaßstab konzipiert, die ein größeres Innenvolumen benötigen, als ein Standardrohrofen mit 50 mm oder 80 mm Durchmesser bieten kann. Er ermöglicht das Sintern, Glühen, Diffusionsglühen und die thermische Behandlung unter kontrollierter Atmosphäre in einem Quarzrohr.Hochtemperatur-LaborofenJe nach gewünschter Temperaturhomogenität und Prozessprofil kann das System als Ein-, Zwei- oder Drei-Zonen-System konfiguriert werden.
Der Hochtemperatur-Laborofen mit großem Durchmesser eignet sich besonders für größere Proben, Quarzschiffchen, waferbezogene Forschung, Keramikteile, Pulverchargen, Metallkomponenten und Scale-up-Experimente, bei denen die Probengröße und die Heizlänge wichtige Auswahlkriterien sind.
Vorteile des Hochtemperatur-Laborofenkerns
Optionen für große Rohre: Φ6 Zoll × 1020 mm, Φ8,5 Zoll × 1020 mm oder Φ11 Zoll × 1020 mm.
Klappbare Edelstahl-Dichtungsflansche an beiden Rohrenden für bequeme Bedienung.
Rechtsseitiger wassergekühlter Flansch mit KF40-Vakuumanschluss zum Anschluss an Balg, Pumpe und KF40-Baffle-Ventil.
Kammer aus hochreinem Aluminiumoxidfasermaterial mit Hochtemperatur-Aluminiumoxidbeschichtung zur Verbesserung der Heizeffizienz und Lebensdauer.
Unabhängige Temperaturregelung für jede Zone in Mehrzonenmodellen.
Empfohlene Anwendungen für Hochtemperatur-Laboröfen
Wafer-Temperungs- und Diffusionsexperimente
Sinterung großer Keramikproben
Forschung zur Maßstabsvergrößerung von Batteriematerialien
Pulvermetallurgie-Wärmebehandlung
Glühen unter Schutzatmosphäre
Vakuumthermische Behandlung größerer Proben
Ofenkörper- und Großrohrkonstruktion
Der Ofen verfügt über eine doppelwandige Gehäusekonstruktion mit Luftkühlung. Zwei Aluminiumoxid-Rohrstopfen sind im Lieferumfang enthalten und müssen während des Betriebs an beiden Rohrenden eingesetzt werden, um die konstante Temperaturzone aufrechtzuerhalten und die Dichtigkeit zu gewährleisten. Die Kammer aus hochreinem Aluminiumoxidfasermaterial trägt zur Reduzierung von Energieverlusten bei, während die beschichtete Ofenauskleidung die Heizleistung verbessert und die Lebensdauer der Kammer verlängert.
Gemäß der ursprünglichen Spezifikation kann der Ofen als Glüh- oder Diffusionsofen verwendet werden und kann bis zu 8 Zoll große Wafer aufnehmen, die auf einem passenden Quarzschiffchen platziert sind, wenn die richtige Rohr- und Quarzschiffchenkonfiguration ausgewählt wird.
Dichtflansch und Vakuumanschluss
Der rechtsseitige, wassergekühlte Flansch verfügt über einen KF40-Vakuumanschluss und ermöglicht so den einfachen Anschluss von KF40-Bälgen, -Pumpen und -Baffle-Ventilen. Bei Pumpen mit KF25-Schnittstelle ist ein KF40-zu-KF25-Adapter erforderlich. Optional kann ein Temperaturmessset mit gepanzertem Thermoelement, Kompensationsdraht und Temperaturmessgerät zur Messung der Innentemperatur des Rohrs hinzugefügt werden.
Temperaturregelungssystem
Der Ofen verfügt über einen Temperaturregler YD858 mit PID-Regelung und 30-segmentiger Prozessprogrammierung. Die Regelgenauigkeit beträgt ±1 °C. Jede Heizzone besitzt ein unabhängiges Temperaturregelungssystem, sodass je nach Prozessprofil Ein-, Zwei- oder Dreizonenmodelle ausgewählt werden können.
Technische Spezifikationen
| Produktname | Rohrofen GSL-1100X-I/II/III-6”/8,5”/11”-S |
|---|---|
| Modell | GSL-1100X-I/II/III-6”/8,5”/11”-S |
| Stromversorgung | Wechselstrom 220 V, 50 Hz |
| Leistung | 8 kW |
| Temperatur | 1000 °C Betriebstemperatur; 1100 °C für weniger als 1 Stunde |
| Empfohlene Heizrate | ≤10°C/min |
| Thermoelement | Dual-K-Typ; einer dient als Temperaturscanner |
| Heizkörper | Molybdän-dotierte Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung |
| Heizzonenlänge | Einzonen-Klimaanlage: 900 mm; Zweizonen-Klimaanlage: 450 + 450 mm; Dreizonen-Klimaanlage: 200 + 200 + 200 mm |
| Rohrgröße | Φ6 Zoll × 1020 mm / Φ8,5 Zoll × 1020 mm / Φ11 Zoll × 1020 mm |
| Dichtflansch | Rechtsseitiger wassergekühlter Flansch mit KF40-Vakuumanschluss |
| Temperaturregler | YD858-Regler, PID-Regelung, 30-Segment-Programmierbare Steuerung |
| Kontrollgenauigkeit | ±1°C |
| PC-Verbindung | Standardmäßiger DB9-PC-Kommunikationsanschluss |
| Zertifizierungsvermerk | MET-zertifizierte Controller-/Systemreferenz gemäß Spezifikation |
| Vakuumsystem | Eine optionale mechanische Doppel-Drehschieberpumpe kann 10 erreichen.-2Torr; ein optionales inländisches oder importiertes Hochvakuumsystem kann 10 erreichen-5Torr oder besser. Mehrere Staubsauger |
| Optionaler Wasserkühler | CW-5000; Kompressorleistung 0,3 kW; Fördermenge 16 l/min; Tankinhalt 6 l; Temperaturregelung 5–30 °C |
| Abmessungen | 1880 mm (L) × 700 mm (B) × 930 mm (H) |
| Gewicht | ca. 200 kg |
| Garantie | Ein Jahr Garantie und lebenslange Wartung; Verbrauchsmaterialien wie Heizelemente, Quarzrohre und Probentiegel sind nicht im Lieferumfang enthalten. |
| Einhaltung | CE-Zertifizierung, UL- oder CSA-Zertifizierung sind gegen Aufpreis erhältlich. |
Optionale Vakuum- und Kühlsysteme
Für Standard-Vakuumanwendungen kann eine mechanische Doppel-Drehschieberpumpe etwa 10 erreichen.-2Für höhere Vakuumanforderungen können inländische oder importierte Hochvakuumsysteme ausgewählt werden, die 10 Torr erreichen.-5Torr oder besser. Ein CW-5000-Wasserkühlsystem ist verfügbar, wenn ein Betrieb mit wassergekühltem Flansch erforderlich ist.
Auswahlhilfe: 6-Zoll-, 8,5-Zoll- oder 11-Zoll-Rohrofen
| Rohrgröße | Empfohlene Verwendung |
|---|---|
| 6-Zoll-Rohrofen | Große Laborproben, Quarzschiffchenverarbeitung, Sintern unter kontrollierter Atmosphäre und Forschungschargen mittleren Volumens. |
| 8,5-Zoll-Rohrofen | Wafer-bezogene Experimente, größere Keramiken, breitere Boote und Forschungsprozesse, die mehr Innenraum benötigen. |
| 11-Zoll-Rohrofen | Großprobenverarbeitung, thermische Forschung im Pilotmaßstab und Experimente, bei denen der Rohrdurchmesser der wichtigste Auswahlfaktor ist. |
Sicherheitshinweise
Der Druck im Quarzrohr darf 0,02 MPa relativ nicht überschreiten. Beim Einleiten von Gas aus einer Gasflasche in das Quarzrohr muss ein Druckminderungsventil installiert werden. Für einen sichereren Betrieb wird ein Druck unter 0,02 MPa empfohlen.
Die ursprüngliche Spezifikation empfiehlt nicht, Einlass- und Auslassventil während der Probenerhitzung gleichzeitig zu schließen. Ist für einen Prozess das Schließen der Ventile erforderlich, muss das Manometer permanent überwacht werden. Überschreitet der angezeigte Druck 0,02 MPa, muss das Entlüftungsventil unverzüglich geöffnet werden, um Unfälle wie Rohrbruch oder Flanschabwurf zu verhindern.
Häufig gestellte Fragen
Welche Schlauchgrößen sind erhältlich?
Der Ofen ist mit Rohroptionen von Φ6 Zoll × 1020 mm, Φ8,5 Zoll × 1020 mm und Φ11 Zoll × 1020 mm erhältlich.
Was ist die maximale Temperatur?
Die Betriebstemperatur beträgt 1000°C, und der Ofen kann in weniger als einer Stunde 1100°C erreichen.
Lässt es sich mit mehreren Heizzonen konfigurieren?
Ja. Es sind Heizsysteme mit einer, zwei oder drei Zonen verfügbar. Die Längen der Heizzonen betragen 900 mm, 450 + 450 mm bzw. 200 + 200 + 200 mm.
Welche Vakuumschnittstelle verwendet es?
Der wassergekühlte Flansch auf der rechten Seite verfügt über einen KF40-Vakuumanschluss. Für den Anschluss an eine KF25-Pumpenschnittstelle wird ein KF40-zu-KF25-Adapter benötigt.
Ist Wasserkühlung optional?
Ja. Der optionale Kühler CW-5000 verfügt über einen 0,3 kW Kompressor, eine Fördermenge von 16 l/min, ein Tankvolumen von 6 l und einen Temperaturregelbereich von 5–30 °C.
Wir verfügen über ein eigenes Labor, in dem wir für Sie Probenanalysen durchführen können; Sie können den Kauf nur dann abschließen, wenn die Endergebnisse Ihren Erwartungen entsprechen – wir sind jedoch zu 99 % zuversichtlich, dass dies der Fall sein wird.
