Warum die Quarzdüsen vom Typ TQ6D-SP branchenführend sind

Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der Atomlagenabscheidung (ALD) und in Systemen zur Zufuhr hochreiner Gase sind Düsen entscheidende Komponenten zur Steuerung der Gasdynamik und der chemischen Reaktionsgeschwindigkeit. Diese Umgebungen zeichnen sich typischerweise durch hohe Temperaturen, stark korrosive Gase und strenge Reinheitsanforderungen aus – Bedingungen, unter denen Metalldüsen oft versagen.

Aufgrund ihrer überlegenen physikalisch-chemischen Eigenschaften sind TQ6D-SP-Quarzdüsen zur bevorzugten Wahl für Halbleiterlabore und High-End-Fertigungslinien geworden.

A. Metallische Verunreinigungen

In der Halbleiterfertigung können selbst Spuren von Metallverunreinigungen (wie Fe, Ni oder Cr) zum Ausfall von Bauelementen führen. Auch nach der Passivierung können Edelstahldüsen bei Kontakt mit sauren Gasströmen noch Metallionen freisetzen.

B. Dimensionsinstabilität aufgrund von Wärmeausdehnung

Metalle weisen hohe Wärmeausdehnungskoeffizienten auf; innerhalb eines 1000 °C heißen Ofenrohrs kann sich der Düsenöffnungsdurchmesser minimal verändern. Dies führt zu einer Drift des Gasströmungsfeldes und somit zu einer ungleichmäßigen Dünnschichtabscheidung.

C. Häufiger Austausch und Ausfallzeiten (Kurze Lebensdauer)

Keramische Düsen bieten zwar hohe Temperaturbeständigkeit, sind aber wenig zäh und neigen bei Temperaturschocks zu Sprödbrüchen. Häufige Anlagenstillstände zum Düsenwechsel beeinträchtigen die Produktionseffizienz erheblich.

Technische Vorteile der TQ6D-SP Quarzdüsen

A. Hochreines Quarzglas

TQ6D-SP-Düsen werden aus Quarzwerkstoff hergestellt. Ihr extrem niedriger Hydroxylgehalt (OH) gewährleistet eine geringe Ausgasungsrate in Vakuumumgebungen und verhindert so das Eindringen flüchtiger Verunreinigungen.

B. Thermische Exzellenz (extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient)

Quarz besitzt einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von ca. 5,5 × 10⁻⁷/°C – nur einen Bruchteil desjenigen von Edelstahl. Dies bedeutet, dass die Einspritzgeometrie des TQ6D-SP unabhängig davon, ob der Betrieb bei Raumtemperatur oder bei hohen Temperaturen bis zu 1100 °C erfolgt, konstant bleibt.

Diese Düse wurde speziell für Laborforschungsumgebungen entwickelt und bietet folgende wesentliche Vorteile:

Hochtemperaturbeständigkeit:Hergestellt aus hochreinem Quarz, hält es Betriebstemperaturen bis zu 1100 °C stand. Dies ermöglicht den direkten Einsatz in Hochtemperatur-Ofenrohren oder Reaktionskammern zum Sprühen – Bedingungen, unter denen herkömmliche Düsen aus Metall oder Kunststoff schmelzen oder versagen würden.

Chemische Reinheit:Quarz bietet eine außergewöhnliche chemische Stabilität und verhindert so wirksam die Kontamination mit Metallionen während des Sprühprozesses. Dies ist entscheidend für die Forschung an Materialien, die sehr empfindlich auf Verunreinigungen reagieren, wie beispielsweise Halbleiter und Batterieelektrodenmaterialien.

Feine Zerstäubung:Mit einem Düsendurchmesser von nur 0,3 mm erreicht es eine Zerstäubung im Mikrometerbereich. In Kombination mit einer Präzisionsspritzenpumpe ermöglicht es die exakte Steuerung von Tröpfchengröße und Sprührate und gewährleistet so gleichmäßige Beschichtungen oder Partikel.

Hohe Korrosionsbeständigkeit:Mit Ausnahme von Fluorwasserstoffsäure und heißer Phosphorsäure ist Quarz gegenüber den meisten Säuren, Basen und Salzlösungen chemisch inert und eignet sich daher zum Versprühen einer breiten Palette korrosiver chemischer Reagenzien.

Einfache Struktur und leichte Integration:Ausgestattet mit einem Standard-1/4"-Anschluss und PTFE-Schläuchen lässt es sich problemlos in verschiedene Labor-Gas- und Flüssigkeitshandhabungssysteme (wie z. B. Gas-Flüssigkeits-Mischtanks und Peristaltikpumpen) integrieren.

Empfehlungen zur Pflege und Langlebigkeit

Vermeiden Sie Flusssäure: Flusssäure (HF) ist der Hauptfeind von Quarz; vermeiden Sie unbedingt den Kontakt mit HF während der Reinigung.

Oberflächenkratzer vermeiden: Quarz ist zwar hart, aber auch spröde; selbst kleinste Oberflächenkratzer können zu Brennpunkten für thermische Spannungen führen. Wir empfehlen daher die Verwendung einer speziellen Pinzette mit weicher Spitze.

Entglasung verhindern: Reinigen Sie die Düse bei längerem Betrieb mit hohen Temperaturen regelmäßig, um Salzablagerungen auf der Oberfläche zu vermeiden, die zu einer Entglasung des Quarzes führen können.

Warum sollte man sich für die TQ6D-SP von Shenyang Kejing entscheiden?

Wir bieten Ihnen nicht nur Standardprodukte, sondern auch die individuelle Anpassung der Düsenwinkel an die spezifischen Abmessungen Ihrer Ofenrohre. Diese akribische Detailgenauigkeit gewährleistet die hohe Reproduzierbarkeit Ihrer experimentellen Daten.